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[发明专利]一种载物台位置的测量装置及光刻机-CN201911174653.0有效
发明人：郑弘毅;黄逊志;党宝生 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2019-11-26 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种载物台位置的测量装置及光刻机，测量装置包括：载物台，包括顶面和多个侧面，顶面与侧面相连接，载物台的顶面用于承载光刻元件；载物台沿X方向、Y方向和Z方向移动，X方向、Y方向和Z方向构成笛卡尔坐标系；至少一个反射组件，反射组件固定于载物台的侧面上；至少一个干涉仪，干涉仪位于反射组件远离载物台一侧，用于发射测量光束至反射组件并根据反射组件反射回的测量光束进行载物台位置的测量；其中，载物台的顶面的边缘与X方向以及Y方向的夹角均为45°。本发明以实现在测量范围相同的情况下缩短反射组件的长度，降低安装成本，且在X方向和Y方向上均可实现加权补偿测量，提升测量精度。
一种载物台位置测量装置光刻

[发明专利]一种干涉测量装置、测量方法及光刻设备-CN201811141969.5有效
发明人：王倩倩;黄逊志;党宝生 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种干涉测量装置、测量方法及光刻设备。待测物体沿第一方向运动，垂直于第一方向且位于待测物体的相对的两侧设有第一反射单元和第二反射单元，该干涉测量装置包括：偏振分光单元，用于将光源发出的光线分为测量光和参考光；测量光路单元，测量光经过时在第一反射单元的反射面至少反射一次；参考光路单元，参考光经过时在第二反射单元至少反射一次；合束单元，用于将测量光和参考光合为一束产生干涉。本发明的技术方案，将参考光引入到待测物体的另一侧，使之携带与测量光相反的频率变化信息，使得光细分加倍，实现待测物体精确位移测量，且测量光和参考光在干涉前没有共路部分，有效避免偏振频率混叠引起的误差，提高测量精度。
一种干涉测量装置测量方法光刻设备

[发明专利]一种光栅测量系统及光刻机-CN201811385338.8有效
发明人：黄逊志;王倩倩;党宝生 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种光栅测量系统及光刻机，所述光栅测量系统包括测量装置、光栅尺及运动台，所述测量装置用于测量所述光栅尺的位置信息，所述光栅尺连接于所述运动台上，所述光栅尺所在的平面与所述运动台的测量平面之间的夹角为θ，且0°＜θ＜90°。使得所述测量装置在所述运动台运动相同距离时可以扫过更多的光栅周期数，从而提高了所述光栅测量系统的位置测量分辨率。本发明还提供了一种光刻机，提高了所述光栅测量系统的位置测量分辨率，从而提高了光刻机的测量精度。
一种光栅测量系统光刻

[发明专利]一种用于测量运动台六自由度的装置及方法-CN201810337864.0有效
发明人：张文涛;杜浩;熊显名;党宝生;张玉婷 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2018-04-16 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种用于测量运动台六自由度的装置，包括第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜，第一反射镜与第二反射镜分别设置于运动台相邻的两个侧面，第三反射镜设置于第二反射镜所在侧面的下部且第三反射镜的反射面与第二反射镜的反射面呈钝角设置；还包括设置于运动台上的三个二维光栅尺测量读头；其中一个二维光栅测量读头沿第二反射镜所在侧面的边沿设置，另外两个二维光栅测量读头沿与第二反射镜面所在侧面相对的侧面的边沿设置；每个二维光栅尺测量读头对应一个平面光栅，二维光栅尺测量读头用于测量运动台与平面光栅间的相对位移。本发明满足使用激光干涉仪与平面光栅尺两套测量系统同时测量运动台六自由度的需求。
一种用于测量运动自由度装置方法

[发明专利]紧凑型立体显示系统及其显示方法-CN201410644389.3有效
发明人：魏功祥;党宝生;姜清华 -专利权人：山东理工大学
申请日： 2014-11-14 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： G02B27/22 文献下载
摘要：紧凑型立体显示系统及其显示方法，属于三维显示技术领域。包括图像处理装置（2）、投影仪（3）和立体成像装置，投影仪（3）与图像处理装置（2）连接，在投影仪（3）与立体成像装置之间设有反光镜组件，投影仪（3）的光线经过反光镜组件折射后投影在立体成像装置上。显示方法，包括以下步骤：提取待成像物品（9）四个方位的四幅图像；裁剪四幅图像进行裁剪，并拼接为组合图像；投影仪（3）将组合图像经过反光镜组件反射到立体成像装置上。通过反光镜组件对投影仪的光线进行反射，缩小了投影仪到立体成像装置之间的光程要求，能够使该紧凑型立体显示系统结构紧凑，体积小，能够满足在教室、实验室或会议室等空间很小的地方使用。
紧凑型立体显示系统及其方法

[发明专利]幻影立体实时显示系统及其显示方法-CN201410644219.5有效
发明人：魏功祥;党宝生;姜清华 -专利权人：山东理工大学
申请日： 2014-11-14 - 公布日： 2015-01-28 - 主分类号： G02B27/22 文献下载
摘要：本发明属于三维显示技术领域。包括图像采集箱（1）、灯光组件、图像采集装置和立体成像装置，待成像物品（9）放置在图像采集箱（1）内；灯光组件固定在图像采集箱（1）内，为待成像物品（9）提供照明；图像采集装置包括四个摄像头（7），投影仪（3）与计算机图形信息处理装置（2）的输出端口连接，立体成像装置接收投影仪（3）的投影。显示方法，包括以下步骤：四个摄像头（7）分别提取待成像物品（9）四个方位的四幅图像；利用LABVIEW将四幅图像裁剪，得到四幅子图像，拼接四幅子图像为一个正方形的组合图像；投影仪（3）将组合图像投影到立体成像装置上。具有实时动态显示待成像物品、结构简单、能够放大显示等优点。
幻影立体实时显示系统及其方法