专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]臭氧水输送系统及其使用方法-CN201980054540.9在审
  • 海恩利希·赛威特;克里斯提恩·勒提克;乌尔利希·布拉莫 - MKS仪器公司
  • 2019-08-27 - 2021-04-02 - C02F1/78
  • 本申请公开了一种臭氧水输送系统,所述臭氧水输送系统包含:至少一个接触装置,所述至少一个接触装置与被配置成提供超纯水的至少一个超纯水源连通;至少一个超纯水导管,所述至少一个超纯水导管耦接到所述超纯水源;至少一种溶液,所述至少一种溶液通过所述超纯水导管与所述接触装置和所述超纯水源连通;一个或多个气体源,所述一个或多个气体源含有至少一种气体、与所述超纯水源、所述超纯水导管和溶液导管中的至少一个连通;至少一个混合气体导管,所述至少一个混合气体导管与所述气体源和所述接触装置连通并且被配置成向所述接触装置提供至少一种混合气体;以及至少一个臭氧水输出导管,所述至少一个臭氧水输出管可以与所述接触装置连通。
  • 臭氧输送系统及其使用方法

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