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[发明专利]一种择优取向的电极薄膜及其制备方法-CN202310833485.1在审
发明人：孙旭东;俞凤至;邹斌;安德烈·保罗·米哈伊;简·泽曼 -专利权人：洛玛瑞芯片技术常州有限公司;洛玛瑞科技有限公司
申请日： 2023-07-07 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种择优取向的电极薄膜及其制备方法，涉及薄膜制备技术领域，包括硅基衬底及依次生长在所述衬底上第一种子层、第二种子层和底电极层；所述第一种子层为AxB1‑xN薄膜，其中A＝Cu，Fe；B＝Pd，Pt；0x1；所述第二种子层采用以下一种或多种薄膜：氮化铬薄膜、氮化钛薄膜、氮化钽薄膜、氧化镁薄膜；所述底电极层采用以下一种或多种薄膜：铂薄膜、氮化钛薄膜、金薄膜、钌酸锶薄膜或铌掺杂钛酸锶薄膜，其具有在(00l)晶体方向上的择优取向，解决现有在硅基衬底上无法获得(00l)择优取向的薄膜的问题。
一种择优取向电极薄膜及其制备方法

[发明专利]一种定向金属电极单元及其制备方法和应用-CN202310834710.3在审
发明人： 俞凤至;孙旭东;安德烈·保罗·米哈伊;邹斌;简·泽曼 -专利权人：洛玛瑞芯片技术常州有限公司;洛玛瑞科技有限公司
申请日： 2023-07-07 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：本发明提供了一种定向金属电极单元及其制备方法和应用，涉及半导体器件技术领域，包括：Si衬底，其上覆盖有非晶态SiO2层；缓冲层，覆盖在所述SiO2层上，包括Ta、Cr、TiN、TaN或MgO；种子层，覆盖在所述缓冲层上，包括A3BN，其中A＝Cu或Fe；B＝Pd或Pt；或MnxN1‑x，其中0x1；金属电极层，基于所述种子层上制备，具有(00l)晶向；所述缓冲层、种子层以及所述金属电极层具有一致的晶格常数，解决现有半导体器件在非晶态SiO2层上获得结晶金属电极性能不佳的问题。
一种定向金属电极单元及其制备方法应用

[发明专利]显示面板及其制造方法和电子设备-CN201910880470.4有效
发明人：马应海;俞凤至;刘少伟;候旭 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2019-09-18 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： H01L21/84 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种显示面板及其制造方法和电子设备，显示面板制造方法包括，提供基底以及位于所述基底上的第一介质层，在所述第一介质层上形成第二介质层，所述第二介质层内具有贯穿所述第二介质层的开口，所述第二介质层的相对介电常数大于所述第一介质层的相对介电常数，以所述第二介质层为掩模，沿所述开口刻蚀所述第一介质层，在所述第一介质层内形成沟槽。利用第二介质层相对于第一介质层具有较高的刻蚀选择比的特性，在获得具有高深宽比的沟槽的同时，降低了工艺难度，提升了显示面板的良品率。
显示面板及其制造方法电子设备

[发明专利]显示面板及其制作方法及电子设备-CN201910916342.0有效
发明人： 俞凤至;王冠贵;张子建;马应海;张明福 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L27/12 文献下载
摘要：本发明实施例涉及一种显示面板及其制作方法及电子设备，显示面板包括：基底，基底包括晶体管区以及电容区，晶体管区的基底的一侧具有依次堆叠设置的有源层、栅介质层以及第一导电层，有源层包括掺杂区，且掺杂区位于第一导电层相对两侧；层间介质层，层间介质层位于晶体管区且覆盖第一导电层；第二导电层，第二导电层位于层间介质层远离基底的一侧，且第二导电层位于电容区；电容介质层，电容介质层位于电容区，且覆盖第二导电层；第三导电层，第三导电层位于电容介质层远离基底的一侧，第三导电层位于电容区，且第三导电层在基底上的正投影与第二导电层在基底上的正投影至少部分重合。本发明有利于改善对有源层的补氢效果，提高显示面板的性能。
显示面板及其制作方法电子设备

[发明专利]一种电容器和显示面板-CN201910893551.8有效
发明人： 俞凤至;王冠贵;张子建;马应海;张明福 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2019-09-20 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H10N97/00 文献下载
摘要：本发明实施例涉及移动设备技术领域，公开了一种电容器和显示面板，所述电容器包括：依次层叠设置的第一电极板、第一介电层、第二电极板、第二介电层和第三电极板，所述第一电极板、所述第一介电层和所述第二电极板共同形成第一电容，所述第二电极板、所述第二介电层和所述第三电极板共同形成第二电容，所述第一电容的电容值大于所述第二电容的电容值，所述第一电容的击穿电压小于所述第二电容的击穿电压。本发明提供的电容器和显示面板能够在提高电容容量的同时，提高击穿电压。
一种电容器显示面板

[发明专利]一种高结晶钛酸钡薄膜、制备方法及应用-CN202211164144.1在审
发明人： 俞凤至;安德烈·保罗·米哈伊;邹斌;孙旭东;简·泽曼;卡皮尔德布·多鲁伊 -专利权人：洛玛瑞芯片技术常州有限公司;洛玛瑞科技有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种高结晶钛酸钡薄膜、制备方法及应用，涉及材料与器件领域，包括基材、钛酸钡层以及顶部电极层；所述钛酸钡层置于所述基材上，所述顶部电极层位于所述钛酸钡层背离基材一侧；所述基材设置为硅板、蓝宝石、具有(001)或(110)晶向的氧化镁或具有(0001)晶向的碳化硅；所述钛酸钡层具有(001)或(111)晶向，通过原子层沉积在450℃以下低温下生长；所述钛酸钡层在真空下进行等离子退火；所述钛酸钡层中的Ba/Ti比值为0.9～1.5；所述顶部电极层设置为Pt、Ta、TaN、TiN、Au或Ag形成的导电层；解决现有结晶BTO薄膜的方法不适用于生产线后端(BEOL)集成工艺的问题。
一种结晶钛酸钡薄膜制备方法应用

[发明专利]触控面板、触控显示面板及触控显示装置-CN201910809339.9有效
发明人：纪卢芳月;刘超;汪建平;张明福;俞凤至;王冠贵 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司
申请日： 2019-08-29 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：本发明公开了一种触控面板、触控显示面板及触控显示装置。该触控面板包括：感应层，包括第一感应部和第二感应部，第一感应部设置于基板的异形区域，第二感应部设置于基板的非异形区域；其中，第一感应部包括沿第一方向分布且相互绝缘设置的多个第一触控电极块、沿第二方向分布且相互绝缘设置的多个第二触控电极块，第一方向与第二方向相互交叉，第二感应部包括第一导电层和第二导电层；绝缘层，在第一感应部覆盖多个第一触控电极块及多个第二触控电极块，在第二感应部位于第一导电层与第二导电层之间，第一触控电极块及第二触控电极块与第一导电层位于同一层。根据本发明实施例提供的触控面板，能够提高触控面板的触控准确度。
面板显示显示装置

[发明专利]一种显示面板及其制备方法-CN201911189227.4有效
发明人：马应海;俞凤至;候旭;刘少伟;顾维杰;张振宇 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H01L27/32 文献下载
摘要：本发明实施例涉及显示技术领域，公开了一种显示面板及其制备方法。本发明中的显示面板，包括：堆叠设置的基板、第一介质层、功能层、第二介质层以及层间介质层，第二介质层包括第一阻挡膜，在第一条件下，第一阻挡膜的刻蚀速率大于层间介质层的刻蚀速率以及第二介质层的刻蚀速率，在第二条件下，第一阻挡膜的刻蚀速率小于层间介质层的刻蚀速率以及第二介质层的刻蚀速率；第一通孔，第一通孔自层间介质层延伸至功能层，且第一通孔贯穿层间介质层以及第一阻挡膜；第二通孔，第二通孔自层间介质层延伸至第一介质层，且第二通孔贯穿层间介质层以及第一阻挡膜。本发明提供的显示面板及其制备方法，能够提高生产效率，降低生产成本。
一种显示面板及其制备方法

[发明专利]一种柔性显示面板以及显示装置-CN202010130770.3有效
发明人： 俞凤至;张明福;周涛;赵文艺 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： G09F9/30 文献下载
摘要：本发明提供了一种柔性显示面板，解决了现有技术中柔性显示面板在经过多次弯折后，容易出现显示不良的技术问题。本发明实施例提供的柔性显示面板，在柔性显示屏体与模组结构之间设置支撑结构，支撑结构包括层叠设置的至少两层硬质层以及设置在每相邻两个硬质层之间的柔性层；其中所述至少两层硬质层中的至少一层硬质层与柔性显示屏体的显示面的夹角α大于零度且小于九十度，该支撑结构的内部结构形成了类似弹簧的结构，硬质层相当支架，柔性层相当间隙结构，当柔性显示面板在弯折的时候，支撑结构起到了支撑的作用，还可以释放应力，降低了柔性显示面板经过多次弯折后各膜层之间脱落或者剥离的概率，降低了柔性显示面板出现显示不良的概率。
一种柔性显示面板以及显示装置

[发明专利]触感反馈装置和柔性显示器-CN201710516681.0有效
发明人： 俞凤至 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2017-06-29 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： G06F3/01 文献下载
摘要：本发明公开了触感反馈装置和柔性显示器，其中，触感反馈装置包括触控板，和填充在触控板与柔性面板之间的空间内的第一颗粒物，第一颗粒物不阻挡柔性面板中发光区域的发光。或者，触感反馈装置包括触控板，和填充在柔性面板中的非发光区域内的第二颗粒物。柔性显示器包括上述的触感反馈装置。此结构的触感反馈装置，用户在按压触控板时，由于颗粒物的设置，用户能很直观和及时感觉到凹凸不平的触感，从而提升用户体验；另一方面，触感反馈装置的设置不影响柔性面板中发光区域的发光，使柔性显示器通过触感反馈装置提供高质量的触感反馈的同时不影响柔性显示器的正常使用。
触感反馈装置柔性显示器

[发明专利]显示面板和显示装置-CN201811457830.1有效
发明人：张旭阳;刘玉成;刘晓佳;顾维杰;俞凤至 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2018-11-30 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本申请涉及一种显示面板和显示装置。所述显示面板包括基底、有机发光层、保护层和封装层。所述基底包括显示区和非显示区。所述非显示区围绕所述显示区设置。所述有机发光层设置于所述显示区。所述封装层包括设置在所述显示区的第一吸水层以及设置在所述非显示区且与所述第一吸水层接触的第二吸水层。所述第二吸水层的吸水能力大于所述第一吸水层的吸水能力。通过所述第二吸水层可以将所述第一吸水层的水氧汇流到所述非显示区，因而可以有效保护所述有机发光层不被破坏。在外界水氧已经入侵所述显示区的情况下，通过所述第一吸水层和所述第二吸水层仍可以及时吸收水氧，降低水氧影响所述有机发层的程度，防止所述有机发光层中水氧的积累。
显示面板显示装置

[发明专利]一种拼接显示面板及显示装置-CN201910086865.7有效
发明人：李林钢;顾维杰;陈闯;张旭阳;李锦;俞凤至 -专利权人：云谷(固安)科技有限公司
申请日： 2019-01-29 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： G09F9/30 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种拼接显示面板及显示装置，涉及显示技术领域，消除了拼接显示面板的拼接缝，避免了拼接缝对显示的不良影响。拼接显示面板包括至少两块拼接的柔性显示基板，每个柔性显示基板包括画面显示区和围绕画面显示区的非画面显示区；每个柔性显示基板还包括平整区域和弯曲区域，弯曲区域沿着背向出光方向的方向弯曲，且弯曲区域包括部分画面显示区和部分非画面显示区；相邻的两个柔性显示基板的弯曲区域拼接，其中，弯曲区域内的画面显示区位于两个弯曲区域的拼接线朝向出光方向的一侧。上述拼接显示面板用于实现画面显示。
一种拼接显示面板显示装置

[发明专利]显示面板及其制造方法和显示终端-CN201810453312.6有效
发明人：陈闯;顾维杰;俞凤至;李锦 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本发明公开了一种显示面板及其制造方法和显示终端。该显示面板设有凹槽，显示面板包括显示区，凹槽位于显示区外侧；显示面板还包括薄膜封装结构及隔热膜层，薄膜封装结构至少覆盖设于显示区上，隔热膜层设于含有薄膜封装结构的显示面板上且靠近凹槽的位置。该显示面板在薄膜封装结构上靠近凹槽的位置设置隔热膜层，因此在其激光切割形成凹槽的过程中，隔热膜层可以阻挡激光的热量向薄膜封装结构及显示区传递，进而降低了激光切割热量对薄膜封装结构及显示区像素的损伤，避免了因此带来的封装失效问题，进而避免了膜材及基板受损伤的问题，提高了封装的可靠性及显示面板的生产良率。
显示面板及其制造方法终端

[发明专利]阵列基板、阵列基板的制作方法以及显示面板-CN202010299660.X在审
发明人：李勃;张明福;俞凤至;纪卢芳月;汪建平 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： H01L27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种阵列基板、阵列基板的制作方法以及显示面板。阵列基板包括第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管；第一薄膜晶体管为顶栅型晶体管，第二薄膜晶体管为底栅型晶体管，第一薄膜晶体管的栅极与第二薄膜晶体管的栅极同层设置。可以在一道mask中同时形成第一薄膜晶体管的栅极和第二薄膜晶体管的栅极，从而可以减少制作薄膜晶体管混合型的阵列基板时所需要的工艺流程，进而降低了制作阵列基板的生产成本。另外，第二薄膜晶体管的栅极设置于第一薄膜晶体管的栅极绝缘层上，从而可以节省第二薄膜晶体管的缓冲层，进一步地减少制作薄膜晶体管混合型的阵列基板时所需要的工艺流程，进而降低了制作阵列基板的生产成本。
阵列制作方法以及显示面板

[发明专利]显示面板、装置及显示面板的制备方法-CN201911192479.2在审
发明人：马应海;俞凤至;刘少伟;候旭;顾维杰;张振宇 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： H01L27/32 文献下载
摘要：本发明实施例涉及显示技术领域，公开了一种显示面板、装置及显示面板的制备方法，显示面板包括依次堆叠设置的基板、功能层、第一介质层、阻挡膜以及层间介质膜，阻挡膜在第一刻蚀条件下的刻蚀速率小于层间介质膜的刻蚀速率，功能层在第一刻蚀条件下的刻蚀速率小于第一介质层的刻蚀速率，阻挡膜在第二刻蚀条件下的刻蚀速率大于第一介质层的刻蚀速率；第一通孔，第一通孔自层间介质膜延伸至功能层，且第一通孔贯穿层间介质膜以及阻挡膜；第二通孔，第二通孔自层间介质膜延伸至阻挡膜，且第二通孔贯穿层间介质膜；第一金属膜，第一金属膜设置在第二通孔内。本发明提供的显示面板、装置及显示面板的制备方法能够确保显示面板具有均一的电容值。
显示面板装置制备方法

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