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[发明专利]一种石墨烯高灵敏度光电探测器及其制备方法-CN202011554686.0有效
发明人：陈长鑫;周庆萍;陈志刚;李欣悦;何卓洋;贺志岩 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： H01L31/0352 文献下载
摘要：本发明属于光电器件技术领域，公开了一种石墨烯高灵敏度光电探测器及其制备方法，所述石墨烯高灵敏度光电探测器包括：复合衬底、隔离层、石墨烯接触电极、碳量子点、石墨烯薄膜及抗反射层；所述隔离层位于复合衬底；所述电极位于隔离层；所述碳量子点位于电极；所述石墨烯薄膜位于电极；所述石墨烯薄膜表面覆盖有抗反射层；所述复合衬底由硬质衬底和脆性衬底通过键合形成；所述硬质衬底为由二氧化硅构成，所述脆性衬底由InP或Ge构成；所述抗反射层为由二氧化硅组成的透明薄膜。本发明制备的光电探测器超薄、易于大面积集成，灵敏度高，能提高光电探测器的响应速度，在射线测量和探测、工业自动控制、光度量计等领域有着广泛的应用前景。
一种石墨灵敏度光电探测器及其制备方法

[发明专利]一种石墨烯纳米带器件阵列及其制备系统和制备方法-CN202011453412.2在审
发明人：陈长鑫;江圣昊;何卓洋;李欣悦;王广鹏;吴登祺 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： C01B32/194 文献下载
摘要：本发明属于无机纳米材料技术领域，公开了一种石墨烯纳米带器件阵列及其制备系统和制备方法，所述石墨烯纳米带器件阵列的制备系统包括：基底晶体种子形成模块、反应前躯体制备模块、中央控制模块、石墨烯纳米阵列制备模块、器件陈列合成模块、清洗浸润模块、分离干燥模块、更新显示模块。本发明提供的石墨烯纳米带器件阵列的制备方法，借助晶种导向技术在生长基底表面形成晶种层，其中采用还原氧化石墨烯这种导电性、化学敏感性及稳定性优异的材料作为生长基底，通过调控晶种性质诱导水热体系晶体定向生长，制备得到的石墨烯纳米带器件阵列具有较大的比表面积、较强的化学敏感性和较丰富的电子传输通道，应用广泛。
一种石墨纳米器件阵列及其制备系统方法