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[发明专利]波长可变干涉滤波器-CN202310296812.4在审
发明人： 佐野朗 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G02B26/00 文献下载
摘要：本发明提供一种能够高精度地输出所期望的目标波长的光的波长可变干涉滤波器。该波长可变干涉滤波器具备：第一基板；第二基板，其隔着预定的间隔而与第一基板对置；第一反射膜，其被设置在第一基板上；第二反射膜，其被设置在第二基板上，并隔着第一间隔而与第一反射膜对置；连结部，其被配置在第一基板与第二基板之间；驱动部，其对第一间隔进行变更，连结部的与第一基板对置的第一对置面的一部分与第一基板连接，连结部的第一对置面中的未与第一基板连接的部分构成隔着第二间隔而与第一基板对置的位移部，位移部的与第二基板对置的第二对置面的一部分与第二基板连接，驱动部通过使位移部挠曲而使第二间隔变化，从而变更第一间隔。
波长可变干涉滤波器

[发明专利]分光滤光器模块、分光相机以及电子机器-CN201911310183.6有效
发明人： 佐野朗;笠原秀明 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G02F1/21 文献下载
摘要：提供了一种分光滤光器模块、分光相机以及电子机器，可以高速地切换分光波长。该分光滤光器模块具备：分光滤光器，将与输入的驱动电压相应的波长的光从入射光进行分光并输出；驱动部，基于输入的波长指令值输出所述驱动电压；以及驱动控制部，输出所述波长指令值，并且每次被从外部输入触发信号时变更所述波长指令值。
分光滤光模块相机以及电子机器

[发明专利]波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备-CN201811379050.X有效
发明人： 佐野朗 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-11-19 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G02B26/00 文献下载
摘要：一种波长可变干涉滤波器、光学器件、光学模块及电子设备，可提高波长可变干涉滤波器的可动部的形状的自由度且可抑制精度下降。该波长可变干涉滤波器包括：可动部，具有在第一方向上与第一反射镜相对的反射镜区域；以及电极，在从所述第一方向观察的俯视下，配置于所述反射镜区域的外侧，沿周向包围所述反射镜区域，并通过被施加电压来使所述可动部在所述第一方向上位移，所述电极在所述俯视下的宽度在所述周向上不同。
波长可变干涉滤波器光学器件模块电子设备

[发明专利]波长可变干涉滤波器及光学模块-CN201810156107.3有效
发明人： 佐野朗 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-02-23 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G02B26/00 文献下载
摘要：本发明涉及波长可变干涉滤波器及光学模块。波长可变干涉滤波器的特征在于，包括：第一基板，设置有第一反射膜；以及第二基板，具备可动部和保持部，与所述第一反射膜相对的第二反射膜设置于可动部，保持部包围所述可动部的外周，并将所述可动部保持为能够在所述第二反射膜的厚度方向上位移，所述可动部在俯视观察时具有长边及短边，所述保持部包括沿所述长边设置的长边侧保持部和沿所述短边设置的短边侧保持部，所述短边侧保持部的刚度低于所述长边侧保持部的刚度。
波长可变干涉滤波器光学模块

[发明专利]分光图像拍摄装置、分光图像拍摄方法-CN201510364469.8有效
发明人： 佐野朗;广久保望 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2015-06-26 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： G02B26/00 文献下载
摘要：本发明提供能够低成本且小型化的分光图像拍摄装置以及分光图像拍摄方法。分光相机具备：波长可变干涉滤波器(5)，其具有一对反射膜(54、55)以及能够变更一对反射膜(54、55)的间隙尺寸的静电致动器；拍摄部(122)，其具有配置成二维阵列结构的多个像素(123)，接收透过波长可变干涉滤波器(5)的光；以及接收光波长获取部，其针对拍摄部(122)的各像素(123)，获取入射至该像素的光的中心波长，接收光波长获取部获取由各像素接收的光的基于射向一对反射膜的入射位置处的入射角的中心波长。
分光图像拍摄装置方法

[发明专利]光滤波器以及使用其的分析设备和光设备-CN201610034338.8有效
发明人： 佐野朗 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2011-03-08 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： G02B26/00 文献下载
摘要：本发明涉及光滤波器以及使用其的分析设备和光设备。该光滤波器具有：第一基板、第二基板、被设于第一基板的第一对置面中的第一反射膜、被设于第二基板的第二对置面中的第二反射膜、在俯视时在第一反射膜的周围的位置设于第一基板中的第一电极、被设于第二基板中而与第一电极对置的第二电极，在第一对置面及第二对置面的至少一方中形成阶梯部，将第一反射膜与第二反射膜之间的初始间隙制成比第一电极与第二电极之间的初始间隙小，精度优良地控制反射膜间的间隙。
滤波器以及使用分析设备

[发明专利]干涉滤光器、光学器件、光学模块及电子设备-CN201811377966.1在审
发明人： 佐野朗 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-11-19 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： G02B5/28 文献下载
摘要：本发明提供一种对应于光接收部的小型的干涉滤光器、光学器件、光学模块和电子设备。上述干涉滤光器具备第一镜以及与所述第一镜相对的第二镜，将所述第二镜的垂直方向作为第一方向，在从所述第一方向观察的俯视观察中，所述第二镜是具有长边方向的形状。
干涉滤光器电子设备光学模块光学器件方向观察俯视观察光接收部小型的长边

[发明专利]致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备-CN201410488590.7有效
发明人：广久保望;佐野朗 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-09-23 - 公布日： 2019-05-17 - 主分类号： G02B26/00 文献下载
摘要：本发明提供致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备。致动器的驱动系统具备：各静电致动器(55)、(56)、以及将驱动电压(V1)、(V2)分别施加于各静电致动器(55)、(56)的电压控制部(15)，电压控制部(15)具备：数字控制器(17)，其将对应于各静电致动器(55)、(56)的总驱动量的8比特的驱动用变量P分割为4比特的各单独驱动用变量(p1)、(p2)；第一DAC(181)，其产生基于第一单独驱动用变量(p1)的第一驱动电压信号(s1)；以及第二DAC(182)，其产生基于第二单独驱动用变量(p2)的第二驱动电压信号(s2)。
致动器驱动系统光学模块以及电子设备

[发明专利]光学模块、电子设备以及分光照相机-CN201410043550.1有效
发明人： 佐野朗 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-01-29 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： G02B5/28 文献下载
摘要：本发明提供具有高分辨率的光学模块、电子设备以及分光照相机。其中，光学模块（10）具备：固定反射膜（541），可动反射膜（542），具有在俯视观察中通过施加电压可分别独立驱动的多个部分驱动部的第一驱动单元，使固定反射膜（541）与可动反射膜（542）之间的间隙尺寸变化的第二驱动单元，以及向部分驱动部施加第一驱动电压、向上述第二驱动单元施加第二驱动电压的电压控制部（15），电压控制部（15）施加根据改变间隙尺寸时的固定反射膜（541）和可动反射膜（542）的平行度、按每个部分驱动部设定的第一驱动电压。
光学模块电子设备以及分光照相机

[发明专利]干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及电子设备-CN201410097629.2有效
发明人： 佐野朗 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-03-14 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： G02B5/28 文献下载
摘要：本发明涉及干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及电子设备。波长可变干涉滤波器（5），具备：固定基板（51）；设置于固定基板（51）、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的固定反射膜（54）；与固定反射膜（54）对置、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的可动反射膜（55）；设置于固定反射膜（54）的周围，具备光吸收层（571）和金属层（572）的固定电极（561），光吸收层（571）相比金属层（572）设置于距离固定基板（51）近的位置。
干涉滤波器光学装置模块电子设备

[发明专利]分光测定装置、颜色管理系统以及配置文件制作方法-CN201310723530.4有效
发明人： 佐野朗 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2013-12-24 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： G01J3/46 文献下载
摘要：本发明涉及分光测定装置、颜色管理系统以及配置文件制作方法。其中，分光测定装置具备波长可变干涉滤波器（5）、拍摄由波长可变干涉滤波器（5）分光的光而取得分光图像的摄像部（摄像元件（32）以及光量取得部（63））、输出用于制作图像显示装置（8）的配置文件的配置文件制作用数据的数据输出部（存储部（61）以及通信部（69）），在利用摄像部对包含从图像显示装置（8）输出的多色色标的色彩图案取得多个分光图像的情况下，数据输出部将使各分光图像的各像素中的光量与该像素的坐标值相对应的测定数据作为配置文件制作用数据进行输出。
分光测定装置颜色管理系统以及配置文件制作方法

[发明专利]干涉滤波器、光学滤波器装置、光模块以及电子设备-CN201410505073.6有效
发明人：新东晋;佐野朗 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-09-26 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： G02B5/28 文献下载
摘要：本发明涉及干涉滤波器、光学滤波器装置、光模块以及电子设备。波长可变干涉滤波器(5)具备：固定基板；固定反射膜，设置于固定基板的与可动基板相对的整个面上，由多层膜构成；可动反射膜，与固定反射膜相对；以及第一镜电极，设置在固定反射膜上。
干涉滤波器光学装置模块以及电子设备

[发明专利]波长可变干涉滤波器、光模块以及电子设备-CN201510783816.0有效
发明人： 佐野朗;松野靖史 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2012-04-11 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： G02B5/28 文献下载
摘要：本发明提供一种波长可变干涉滤波器、光模块以及电子设备。该波长可变干涉滤波器包括：第一基板；第二基板，以与第一基板相对的方式配置；第一反射膜，配置在第一基板和第二基板之间；第二反射膜，配置在第二基板和第一反射膜之间；以及第一电极，用于除去第一反射膜的带电，在从第二基板侧看第一基板侧时，具有第一反射膜和第二反射膜重合的第一区域以及第一反射膜和第一电极的至少一部分重合的第二区域，第二区域的第一基板和第二基板之间的距离比第一区域的第一基板和第二基板之间的距离大。
反射膜第二基板第一基板干涉滤波器波长可变第二区域第一电极第一区域电子设备光模块重合方式配置距离比带电配置

[发明专利]波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备-CN201510487456.X有效
发明人： 佐野朗;广久保望 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2012-02-15 - 公布日： 2018-04-27 - 主分类号： G02B26/00 文献下载
摘要：提供了波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备。该波长可变干涉滤波器包括第一基板；与第一基板相对配置的第二基板；配置在第一、第二基板之间的第一反射镜；配置在第一反射镜和第二基板之间的第二反射镜；配置在第一、第二基板之间的第一电极；以及配置在第一电极和第二基板之间的第二电极，其中，第一基板具有与第二基板相对配置的第一电极面、与第一电极面交叉配置的第一面和第二面、与第二面交叉并朝向第一基板的外周配置的第三面，第二基板具有与第一电极面相对配置的第二电极面，第一电极配置在第一、第二电极面之间，并覆盖第二面的至少一部分和第三面的至少一部分，第二电极在第一、第二电极面之间与第一电极通过接触而电连接。
波长可变干涉滤波器模块以及分析设备

[发明专利]波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置-CN201210033130.6有效
发明人：西村晃幸;佐野朗 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2012-02-14 - 公布日： 2018-02-13 - 主分类号： G02B5/28 文献下载
摘要：本发明涉及波长可变干涉滤波器、光模块和光分析装置。该波长可变干涉滤波器具备第一反射膜，设置在第一基板的与第二基板相对的面上；第二反射膜，设置在第二基板的与第一基板相对的面上；第一电极，设置在第一基板的与第二基板相对的面上；以及第二电极，设置在第二基板的与第一基板相对的面上；并且第二基板具备设置了第二反射膜的可动部、以及保持可动部并允许可动部在基板的厚度方向移动的连接保持部，连接保持部围绕可动部连续地形成且其厚度尺寸小于可动部的厚度尺寸，第二电极设置在第二基板的厚度尺寸比连接保持部大的部分。
波长可变干涉滤波器模块以及分析装置

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