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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]焊接装置、焊接系统以及加工装置-CN202180073564.6在审
发明人：细见幸司;佐藤真路;宫川智树;长谷川智志;三村晃平;平田纯也;清水飒 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B25J13/00 文献下载
摘要：照射使配置于电路基板的焊料熔融的加工光的焊接装置包括：光照射装置，具有检流镜，经由所述检流镜来照射加工光；检测装置，对来自电路基板的光进行检测，生成图像数据与形状数据中的至少一个数据；机械臂，设有光照射装置与检测装置，且具有使光照射装置与检测装置移动的驱动部；以及控制装置，基于伴随检测装置的位移而变化的至少一个数据来控制检流镜的方向，以使来自与检测装置一同位移的光照射装置的加工光照射至同一位置。
焊接装置系统以及加工

[发明专利]加工系统-CN202080104817.7在审
发明人： 佐藤真路 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2020-07-29 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B23K26/02 文献下载
摘要：一种加工系统，经由照射光学系统将加工光照射至物体以对物体进行加工，所述加工系统包括：照射装置，具有照射光学系统中的至少末端光学元件；移动装置，使照射装置移动；第一测量装置，配置于照射装置且测量物体的位置；第二测量装置，经由末端光学元件来测量物体的位置；以及第三测量装置，从离开照射装置的位置朝向照射装置照射测量光，检测测量光以测量照射装置的位置。
加工系统

[发明专利]叶片、加工系统以及加工方法-CN202080100058.7在审
发明人： 佐藤真路 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2020-04-22 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： F01D5/14 文献下载
摘要：叶片(BL)是在流体中使用的叶片，包括：基材(BM)、以及形成在基材上的覆膜层(TBC)，在覆膜层的表面，形成有多个第一槽(9)与多个第二槽(7)，多个第一槽的间距(P9)与所述多个第二槽的间距(P7)不同。
叶片加工系统以及方法

[发明专利]处理系统-CN202080057800.0在审
发明人： 佐藤真路 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：一种处理系统，其是将来自加工光源的加工光照射至物体的至少一部分而对所述物体进行加工处理的处理系统，包括：合成光学系统，将来自测量光源的测量光的光路与来自所述加工光源的所述加工光的光路合成；照射光学系统，将来自所述合成光学系统的所述加工光及所述测量光照射至所述物体；位置变更装置，变更所述物体与来自所述照射光学系统的所述加工光的聚光位置之间的相对位置关系；光接收装置，经由所述照射光学系统来接收通过照射至所述物体的表面的所述测量光而产生的光；及控制装置，使用来自所述光接收装置的输出，来控制所述位置变更装置。
处理系统

[发明专利]加工装置-CN202080056385.7在审
发明人： 佐藤真路 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2020-08-06 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：加工装置是通过将来自加工光源的加工光照射至物体来加工物体的加工装置，包括：合成光学系统，将来自加工光源的加工光的光路与来自测量光源的第一测量光的光路合成；照射光学系统，将经由合成光学系统的加工光及第一测量光照射至物体；位置变更装置，变更照射光学系统相对于物体的位置；拍摄装置，其位置与照射光学系统一起变更，拍摄物体；以及检测装置，经由照射光学系统及合成光学系统，来检测第二测量光，所述第二测量光通过经由照射光学系统照射至物体的第一测量光而自物体产生。
加工装置

[发明专利]机器人系统、终端效应器系统、终端效应器单元及配接器-CN201980096123.0在审
发明人： 佐藤真路 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2019-04-12 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： B25J13/08 文献下载
摘要：一种机器人系统，包括：终端效应器，可对工件进行作业；支撑部，在终端效应器可位移的状态下支撑所述终端效应器；第一驱动部，可经由支撑部而以第一冲程来驱动终端效应器；检测部，检测终端效应器的位置；以及第二驱动部，配置于支撑部与终端效应器之间，可基于由检测部所检测到的终端效应器的位置信息，以比第一冲程小的第二冲程，相对于支撑部来驱动终端效应器。
机器人系统终端效应器单元配接器

[发明专利]加工系统、加工方法、机器人系统、连接装置以及终端效果器装置-CN201980095238.8在审
发明人： 佐藤真路 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2019-04-12 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B23K26/08 文献下载
摘要：加工系统包括：可动构件，与物体的一部分的相对位置关系能变更；照射装置，朝向物体照射加工光；以及连接装置，以可动构件与照射装置的相对位置关系能变更的方式，来连接可动构件与照射装置，连接装置包括：驱动构件，使可动构件及照射装置中的至少一者移动；以及弹性构件，将可动构件与照射装置予以结合。
加工系统方法机器人连接装置以及终端效果器

[发明专利]液浸部件及曝光装置-CN201811255979.1有效
发明人： 佐藤真路 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-12-25 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：液浸部件在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间。液浸部件具有：第1部件，其包含配置在曝光用光的光路周围的第1部分，在第1部分上设有能够供曝光用光通过的第1开口部、及配置在第1开口部的周围的至少一部分上且能够与物体的表面相对的第1液体供给部；和第2部件，其具有能够与物体的表面相对的第1液体回收部，能够相对于光路在第1部分的外侧相对于第1部件移动。
部件曝光装置

[发明专利]曝光装置、曝光方法、器件制造方法、程序及记录介质-CN201810132545.6有效
发明人： 佐藤真路 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-10-08 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：曝光装置具有：包括配置在光学部件周围的至少一部分中的第1部件、和配置在光学部件周围的一部分中的第2部件，并能够形成液体的液浸空间的液浸部件；能够使第2部件相对于第1部件移动的驱动装置；和控制驱动装置的控制装置。控制装置以使得第2部件的第1动作与第2部件的第2动作不同的方式控制驱动装置，所述第2部件的第1动作是从包含在同一列中的第1曝光区域的曝光结束起到第2曝光区域的曝光开始为止的、在衬底的第1移动期间中的第2部件的第1动作，所述第2部件的第2动作是从某列的第3曝光区域的曝光结束起到另一列的第4曝光区域的曝光开始为止的、在衬底的第2移动期间中的第2部件的第2动作。
曝光装置方法器件制造程序记录介质

[发明专利]液浸构件、曝光装置、液浸曝光装置、液浸曝光方法及元件制造方法-CN201710675381.7有效
发明人： 佐藤真路 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-07-16 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明的液浸构件(5)用于液浸曝光装置(EX)，在能于光学构件(13)的下方移动的物体(P)上形成液浸空间(LS)。液浸构件具备配置在光学构件周围的至少一部分的第1构件(21)、与配置在曝光用光(EL)的光路(K)周围的至少一部分而能相对第1构件移动的第2构件(22)。第2构件具有通过间隙与第1构件的第1下面(23)相对的第2上面(25)、与物体可相对的第2下面(26)、以及配置在第2下面周围的至少一部分的流体回收部(27)。
构件曝光装置方法元件制造

[发明专利]具备防振装置的曝光装置-CN201810948194.6在审
发明人： 佐藤真路 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-10-08 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种曝光装置，经由光学部件(13)与基板(P)之间的液体(LQ)以曝光用光对基板进行曝光，该曝光装置具备装置框架(8B)、包括光学部件的光学系统、包括配置于光学部件周围的至少一部分的第1部件(21)和配置于光学部件周围的至少一部分的第2部件(22)并且能够形成液浸空间的液浸部件(5)、能够使第2部件相对于第1部件移动的驱动装置(56)，和防振装置(55)，经由防振装置(55)将第1部件支承于装置框架。
光学部件防振装置曝光装置装置框架部件移动光学系统曝光用光驱动装置液浸空间对基板基板液浸支承配置曝光

[发明专利]液浸部件及曝光装置-CN201380073365.0有效
发明人： 佐藤真路 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-12-25 - 公布日： 2018-12-04 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：液浸部件在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间。液浸部件具有：第1部件，其包含配置在曝光用光的光路周围的第1部分，在第1部分上设有能够供曝光用光通过的第1开口部、及配置在第1开口部的周围的至少一部分上且能够与物体的表面相对的第1液体供给部；和第2部件，其具有能够与物体的表面相对的第1液体回收部，能够相对于光路在第1部分的外侧相对于第1部件移动。
部件曝光装置

[发明专利]液浸构件和曝光装置-CN201810590028.3在审
发明人： 佐藤真路;小田中健洋 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-12-26 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：液浸构件用在隔着光学构件的射出面(12)和基板(P)之间的第一液体通过曝光用光对基板进行曝光的液浸曝光装置中，能够在能够于光学构件的下方移动的物体之上形成液浸空间。液浸构件包括配置于光学构件的周围的至少一部分的第一构件(21)、能够与物体相对且能够在曝光用光的光路的外侧移动的第二构件(22)以及保护光学构件的保护部(部分211、壁部50)。保护部减小光学构件承受的来自液浸空间的液体的压力的波动。
光学构件液浸曝光用光液浸空间保护部液浸曝光装置第二构件曝光装置液体通过对基板射出面移动壁部光路基板减小曝光配置

[发明专利]液浸构件及曝光装置-CN201810331789.7在审
发明人： 佐藤真路 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-03-22 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明的液浸构件(5)，是以从光学构件的射出面(12)射出的曝光用光(EL)的光路(K)被液体(LQ)充满的方式，在能于光学构件(13)下方移动的物体(P)上形成液浸空间(15)。液浸构件，具备：具有第1下面(24)的第1构件(21)，具有通过间隙与第1下面对向的第2上面(25)与物体可对向的第2下面(26)、相对第1构件为可动的第2构件(22)，以及相对光路在第2下面的外侧回收来自第2下面与物体之间的第2空间(SP2)的液体的至少一部分的回收部(23)。
液浸光学构件对向光路曝光用光曝光装置液浸空间回收射出面可动射出移动

[发明专利]具备防振装置的曝光装置-CN201380063011.8有效
发明人： 佐藤真路 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-10-08 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：一种曝光装置，经由光学部件(13)与基板(P)之间的液体(LQ)以曝光用光对基板进行曝光，该曝光装置具备装置框架(8B)、包括光学部件的光学系统、包括配置于光学部件周围的至少一部分的第1部件(21)和配置于光学部件周围的至少一部分的第2部件(22)并且能够形成液浸空间的液浸部件(5)、能够使第2部件相对于第1部件移动的驱动装置(56)，和防振装置(55)，经由防振装置(55)将第1部件支承于装置框架。
具备装置曝光

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