“伊藤俊树”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果64个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]膜形成方法和物品制造方法-CN202180086616.3在审
发明人：伊藤祐斗;伊藤俊树;河田功 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B29C59/02 文献下载
摘要：一种形成由固化性组合物制成的膜的膜形成方法包括：布置步骤，将固化性组合物布置在基板的底层上，所述基板包括基底构件和布置在基底构件上的底层；接触步骤，在布置步骤之后，使固化性组合物与模具相互接触；固化步骤，在接触步骤之后，使固化性组合物固化；以及分离步骤，在固化步骤之后，将固化性组合物与模具分离，其中，在接触步骤中存在填充在底层与模具之间的空间的气体，且气体对底层的溶解系数为0.5kg/m3·atm以上且10kg/m3·atm以下。
形成方法物品制造

[发明专利]图案形成方法、加工基板的制造方法、光学部件的制造方法、电路板的制造方法、电子部件的制造方法和压印模具的制造方法-CN201780022065.8有效
发明人：千叶启子;伊藤俊树;布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克;尼亚兹·科斯纳蒂诺夫;刘卫军 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2017-03-23 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：包括含有聚合性化合物(a1)的固化性组合物(A1)的层形成于基板的表面上，包括含有聚合性化合物(a2)的固化性组合物(A2)的液滴以离散的方式滴落至包括固化性组合物(A1)的层上，将由固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)部分地混合形成的混合层夹持在模具与基板之间，将混合层通过从模具侧用光照射混合层来固化，并且使模具与固化后的混合层脱离，由此在基板上形成固化材料的图案。通过固化性组合物(A1)的除了溶剂之外的组合物的25℃下的粘度设定为40mPa·s以上且小于500mPa·s且通过固化性组合物(A2)的除了溶剂之外的组合物的25℃下的粘度设定为1mPa·s以上且小于40mPa·s，在基板上在多轮区域中以均匀的精度借助上述方法形成了固化材料的图案。
图案形成方法加工制造光学部件电路板电子压印模具

[发明专利]图案形成方法、加工基板的生产方法、光学部件的生产方法、电路板的生产方法、电子部件的生产方法和压印模具的生产方法-CN201780022094.4有效
发明人： 伊藤俊树 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2017-03-29 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：将包含聚合性化合物组分(a1)的固化性组合物(A1)的层配置在基板的表面上。将至少包含聚合性化合物组分(a2)的固化性组合物(A2)的液滴离散地滴落在固化性组合物(A1)的层上。将固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)的混合层夹持在基板与具有图案的模具之间。该混合层通过用光照射而固化。将模具与固化后的混合层脱离，并且图案形成于基板上。除了溶剂以外的固化性组合物(A1)的各组分的组合物对于模具的表面的接触角不超过10°。
图案形成方法加工生产光学部件电路板电子压印模具

[发明专利]固化物图案的形成方法和压印预处理涂布用材料-CN201780022394.2有效
发明人：加藤顺;本间猛;伊藤俊树;都筑英寿 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2017-03-31 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：一种固化物图案的制造方法，所述方法包括：第一步骤(配置步骤)，将包含固化性组合物(α1)的层配置于基板上；和第二步骤(施加步骤)，将固化性组合物(α2)的液滴离散地施加在包含固化性组合物(α1′)的层上，所述固化性组合物(α1′)包含除了溶剂组分(D)以外的所述固化性组合物(α1)中的组分；其中所述固化性组合物(α1)的粒径为0.07μm以上的颗粒的个数浓度为小于2021个/mL，并且所述固化性组合物(α1′)具有比所述固化性组合物(α2)大的表面张力。
固化图案形成方法压印预处理用材

[发明专利]图案形成方法、加工基板的生产方法、光学部件的生产方法、电路板的生产方法、电子部件的生产方法和压印模具的生产方法-CN201780022176.9有效
发明人：饭村晶子;伊藤俊树 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2017-03-29 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：提供在基板上形成图案的方法，该方法包括：在基板的表面上层叠包含作为聚合性化合物的组分(a1)的固化性组合物(A1)的层；在固化性组合物(A1)的层上离散地滴落至少包含作为聚合性化合物的组分(a2)和作为光聚合引发剂的组分(b2)的固化性组合物(A2)的液滴；将固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)的混合层夹持在具有图案的模具和基板之间；用光照射混合层以使混合层固化；和使模具与固化后的混合层脱离，其中固化性组合物(A1)中的作为聚合性化合物的组分(a1)和固化性组合物(A2)之间的汉森距离Ra((a1)‑(A2))为6以下。
图案形成方法加工生产光学部件电路板电子压印模具

[发明专利]光固化性组合物、使用其的固化产物图案的制造方法、光学组件的制造方法和电路板的制造方法-CN201580041479.6有效
发明人： 伊藤俊树;本间猛;米泽诗织;大谷智教;岩下和美 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2015-07-22 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： C08F20/20 文献下载
摘要：一种光固化性组合物，其包括聚合性化合物；和光聚合引发剂，其中所述光固化性组合物包括由以下示出的通式(1)表示的化合物作为所述聚合性化合物，其中通式(1)中，Ar表示可具有取代基的单价芳香族基团，R1表示可具有取代基的烷基或氢原子，R2表示可具有取代基的具有(m+n)价的烷基，m为2以上的整数，和n为1以上的整数。
光固化组合使用固化产物图案制造方法光学组件电路板

[发明专利]平坦化方法和光可固化组合物-CN202180036724.X在审
发明人： 伊藤俊树;清原直树;千叶启子;布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克;山下敬司 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：一种基板表面平坦化方法，其依次包括：布置步骤，将液体可固化组合物布置到具有不平度的基板上；等待步骤，进行等待，直到液体可固化组合物的层的表面变得平滑；曝光步骤，施加光以固化液体可固化组合物的层。布置步骤包括：第一布置步骤，布置由至少含有可聚合化合物(a1)的第一液体可固化组合物(A1)制成的层；以及第二布置步骤，将至少含有可聚合化合物(a2)的第二液体可固化组合物(A2)的液滴通过分散地滴下滴液的方式布置到由第一液体可固化组合物(A1)制成的层上。
平坦方法固化组合

[发明专利]固化性组合物、固化产物及其生产方法、以及光学组件、电路板和电子组件的制造方法-CN201910396457.1有效
发明人：加藤顺;川崎阳司;米泽诗织;伊藤俊树 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2015-04-28 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G03F7/027 文献下载
摘要：本发明涉及固化性组合物、固化产物及其生产方法、以及光学组件、电路板和电子组件的制造方法。提供一种纳米压印用固化性组合物，其即使当在低曝光量下通过光纳米压印方法使所述固化性组合物固化时，也能够形成具有充分固化的表面且图案倒塌缺陷倾向较小的固化产物。提供形成此类固化产物的纳米压印方法。提供即使在低曝光量下固化时图案倒塌缺陷倾向也较小的固化产物，此类固化产物的制造方法，光学组件的制造方法，电路板的制造方法和电子组件的制造方法。一种固化性组合物，其在固化状态下满足式(1)：Er1/Er2≧1.10(1)，其中，Er1表示所述固化性组合物的固化产物的表面折减弹性模量(GPa)，和Er2表示所述固化产物的内部折减弹性模量(GPa)。
固化组合产物及其生产方法以及光学组件电路板电子制造

[发明专利]膜形成设备、膜形成方法和物品制造方法-CN202180015996.1在审
发明人：黑泽博史;伊藤俊树 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：[问题]为了提供一种用于将基板的曝光区域保持在曝光设备的焦深(DOF)内的有利技术。[解决方案]该膜形成设备，用光照射基板上的组成物以在基板上形成组成物的膜，包括：在基板上形成光的积分光量的分布的光调制单元；以及用于控制光调制单元的控制单元。控制单元基于组成物的残膜率特点以及在后续步骤中使用的模板的成像平面的弯曲形状和形成在基板上的基膜的表面形状中的至少一个来控制光调制单元的积分光量的分布。
形成设备方法物品制造

[发明专利]纳米压印液体材料及其制造方法、固化产物图案的制造方法和电路板的制造方法-CN202210677002.9在审
发明人：加藤顺;本间猛;伊藤俊树 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2016-02-23 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H01L21/266 文献下载
摘要：本发明涉及纳米压印液体材料及其制造方法、固化产物图案的制造方法和电路板的制造方法。提供一种纳米压印液体材料，其中粒径为0.07μm以上的颗粒的粒子数浓度小于310个/mL。
纳米压印液体材料及其制造方法固化产物图案电路板

[发明专利]纳米压印液体材料、纳米压印液体材料的制造方法、固化产物图案的制造方法、光学组件的制造方法和电路板的制造方法-CN201680012435.5有效
发明人：加藤顺;本间猛;伊藤俊树 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2016-02-23 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：提供一种纳米压印液体材料，其中粒径为0.07μm以上的颗粒的粒子数浓度小于310个/mL。
纳米压印液体材料制造方法固化产物图案光学组件电路板

[发明专利]压印装置以及物品制造方法-CN201710070872.9有效
发明人：饭村晶子;伊藤俊树 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2017-02-09 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明提供压印装置以及物品制造方法。所述压印装置通过在使模具与自由基聚合性压印材料接触的状态下用光照射压印材料使压印材料固化，来形成图案。所述压印装置包括被构造为用光照射压印材料的照射器、以及被构造为控制所述照射器的控制器。令Ic为照射压印材料的光的照度，tc为用光照射压印材料的时间，k为系数，并且PD为经受光的照射的压印材料的目标光聚合度，控制器根据下式来确定照射时间：
压印装置以及物品制造方法

[发明专利]在纳米压印光刻中除去基材预处理组合物-CN201780022031.9有效
发明人：蒂莫西·布赖恩·斯塔霍维亚克;刘卫军;尼亚兹·科斯纳蒂诺夫;叶正茂;伊藤俊树 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2017-03-17 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：一种从压印的纳米压印光刻基材除去未固化的预处理组合物的纳米压印光刻方法。该方法包括将预处理组合物配置在纳米压印光刻基材上以形成预处理涂层，和将压印抗蚀剂的离散部分配置在预处理涂层上，压印抗蚀剂的各离散部分覆盖纳米压印光刻基材的目标区域。随着压印抗蚀剂的各离散部分铺展超出其目标区域，在纳米压印光刻基材上形成复合聚合性涂层，并且使复合聚合性涂层与纳米压印光刻模板接触。使复合聚合性涂层聚合以在纳米压印光刻基材上产生复合聚合物层和预处理涂层的未固化部分，并且从纳米压印光刻基材除去预处理涂层的未固化部分。
纳米压印光刻除去基材预处理组合

[发明专利]医疗控制设备、控制方法、程序以及医疗控制系统-CN202110496002.4在审
发明人： 伊藤俊树;三谷哲也;木户千佳子;吉冈圭一 -专利权人：索尼公司
申请日： 2016-08-16 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： A61B90/00 文献下载
摘要：本发明公开了医疗控制设备、控制方法、程序以及医疗控制系统。该医疗控制设备具备处理单元，其在一个画面中显示：第一显示区域，其中，显示与图像的输入源有关的对象；和/或第二显示区域，其中，显示与图像的输出目的地有关的对象；以及第三显示区域，其中，显示用于控制输入源或输出目的地的对象。
医疗控制设备方法程序以及控制系统

[发明专利]医疗控制设备、控制方法、程序以及医疗控制系统-CN202110496598.8在审
发明人： 伊藤俊树;三谷哲也;木户千佳子;吉冈圭一 -专利权人：索尼公司
申请日： 2016-08-16 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： A61B90/00 文献下载
摘要：本发明公开了医疗控制设备、控制方法、程序以及医疗控制系统。该医疗控制设备具备处理单元，其在一个画面中显示：第一显示区域，其中，显示与图像的输入源有关的对象；和/或第二显示区域，其中，显示与图像的输出目的地有关的对象；以及第三显示区域，其中，显示用于控制输入源或输出目的地的对象。
医疗控制设备方法程序以及控制系统

1
2
3
4
5
下一页»
尾页
共 64 条