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[发明专利]用于检查透明物体的表面的装置及相应方法-CN202180084194.6在审
发明人：约瑟夫·德罗斯特;于尔根·雷科 -专利权人： 伊斯拉视像有限责任公司
申请日： 2021-12-13 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G01N21/896 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于检查箔片型透明物体(10)以分别确定物体顶侧或底侧上颗粒的分布和尺寸的装置，箔片型透明物体具有在透明物体的顶侧的第一表面(11)和在透明物体的底侧的第二表面(12)。为此，装置包括相机(40)和至少一个光源(20)，其中光源(20)被设计为使得由光源发射的电磁辐射从上方照射物体的第一表面(11)的线形区域(15)或从下方照射物体的第二表面(12)的线形区域(15)，其中照射以与相应照射表面(11)成预定角度(α)地进行，其中相机(40)被设计为检测线形区域(15)的至少一部分中反射回来的电磁辐射的强度。预定角度(α)小于或等于15°，由光源(20)发射的电磁辐射主要是线性偏振和s偏振的。本发明还涉及一种检查方法。
用于检查透明物体表面装置相应方法

[发明专利]用于光学检测表面的方法和检测装置-CN202180026475.6在审
发明人： S·卢特;K·原田 -专利权人： 伊斯拉视像有限责任公司
申请日： 2021-03-22 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：描述了用于光学检测物体(1)的表面(10)的方法和检测装置(9)。使用该方法，在图像记录序列期间，通过检测装置(9)的照明装置(8)在表面(10)上生成具有不同的照明图案(130)的时间周期性的图案(13)，并且在图像记录序列中，通过检测装置(9)的图像记录装置(7)记录表面(10)上的图案(13)的多个图像，其中，不同的照明图案(130)之一的生成分别与图案(13)的图像之一的图像记录同步，由至少一个图像点中记录的已知的照明图案(130)的序列来确定图案(13)的相位，并且从记录的照明图案(130)与生成的已知的照明图案(130)之间的偏差中检测表面(10)的缺陷(4、5)。照明装置(8)和图像的记录装置(7)以反射角(α)布置，其中，物体(1)相对于检测装置(9)移动，并且选择图像记录序列的持续时间，使得序列反射区(17)可视为恒定(图4b)。
用于光学检测表面方法装置