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[发明专利]一种气浮运动平台-CN202310981650.8在审
发明人：杨鹏程;程伟林;王振;任冰强;曾爱军;黄惠杰 -专利权人：上海镭望光学科技有限公司
申请日： 2023-08-04 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：一种气浮运动平台，包括：基座、直线运动驱动装置、气浮装置和供气装置；气浮装置活动支撑于基座上，供气装置贯穿气浮装置设置于基座上；直线运动驱动装置驱动气浮装置在基座的支撑面上往复直线运动；供气装置正对气浮装置所在的位置处于打开状态，向气浮装置供气，气浮装置与基座的支撑面之间形成气膜，使气浮装置悬浮于基座的支撑面上，供气装置在偏离直至离开气浮装置的过程中逐渐关闭。通过磁预载增大了气膜刚度，通过气浮装置和供气装置配合形成的机械开关功能，实现了运动中的无气管扰动供气，较于静止导轨气浮，降低了耗气量；本发明提供的气浮运动平台有效的解决了现有气浮运动平台耗气量大、气膜刚度较低及运动平台有气管扰动等问题。
一种运动平台

[发明专利]一种适用于音圈电机线圈浸漆烘干工艺的模具及使用方法-CN202310973269.7在审
发明人：杨鹏程;程伟林;王振;任冰强;曾爱军;黄惠杰 -专利权人：上海镭望光学科技有限公司
申请日： 2023-08-03 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H02K15/12 文献下载
摘要：一种适用于音圈电机线圈浸漆烘干工艺的模具及使用方法，包括：盖板、上纸膜、底纸膜和底板；其中，盖板用于紧压音圈电机线圈，使浸漆烘干后音圈电机线圈的表面尽可能地平整；上纸膜和底纸膜将音圈电机线圈包夹在中间，可防止浸漆后线圈上所带的液态绝缘漆与模具粘连，同时由于上纸膜与底纸膜具有防粘特性，使得线圈烘干后易脱模的同时保护线圈表面；音圈电机线圈的引出线在浸漆前套上绝缘套线管，可防止烘干后的音圈电机线圈的引出线直接互相粘接，提高了音圈电机线圈引出线的抗弯折性能。本发明可保证音圈电机线圈浸漆后的平面度，增强音圈电机线圈的机械与电气性能，提高音圈电机线圈生产过程中的良品率，进而节省成本。
一种适用于电机线圈烘干工艺模具使用方法

[发明专利]一种气浮导轨-CN202310350750.0在审
发明人：程伟林;任冰强;曾爱军;黄惠杰 -专利权人：上海镭望光学科技有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： F16C32/04 文献下载
摘要：一种气浮导轨，包括：滑块、导轨和供气系统；滑块呈L型结构，滑块通过L型结构吸附于导轨上，导轨内部开设有与供气系统连接的进气通道，供气系统通过导轨向滑块提供气体，以使滑块相对导轨的两内侧面形成预设刚度的气膜；滑块相对导轨的两内侧面分别开设有进气槽、进气孔、第一出气孔、均压槽和磁体槽；进气槽内均匀设置有进气孔；磁体槽内安装的磁体用于提供滑块与导轨之间的磁预载力；均压槽均匀设置于磁体槽远离进气槽的一侧；各均压槽内分别设置有第一出气孔；导轨相对进气槽的一面开设有第二出气孔，第二出气孔与进气通道之间连通。采用导轨进气，滑块面出气，滑块在运动过程中保证气管不动，气浮导轨系统具有可靠性高、空间布置方便。
一种导轨

[发明专利]一种光刻机照明系统的均匀性校正装置-CN202310350752.X在审
发明人：程伟林;王振;任冰强;曾爱军;黄惠杰 -专利权人：上海镭望光学科技有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻机照明系统的均匀性校正装置，包括校正板，校正板上分布有若干个透过率可独立控制的微晶单元，校正板沿扫描方向插入光刻机照明系统的照明光场，并基于照明光场积分光强非均匀性调节校正板上对应区域的微晶单元的透过率，以使照明光场积分均匀性分布。本发明提供的均匀性校正装置，采用由若干个透过率可编程控制的微晶单元组成的校正板，通过电信号直接编程控制每个微晶单元的透过率，实现快速均匀性校正，且该均匀性校正装置无需复杂的执行器以及控制器，降低了硬件复杂度。
一种光刻照明系统均匀校正装置

[发明专利]一种光瞳校正装置-CN202211102706.X在审
发明人：王振;程伟林;张学成;任冰强;曾爱军;黄惠杰 -专利权人：上海镭望光学科技有限公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请提供一种光瞳校正装置，包括：基座，呈圆形结构；若干个光瞳校正手指沿基座的圆周方向排布并设置于基座上；驱动机构用于驱动光瞳校正手指伸入或者抽出光场；柔性机构设置于光瞳校正手指与基座之间，在驱动机构驱动所述光瞳校正手指伸入或者抽出光场的过程中，柔性机构用于使光瞳校正手指相对于所述基座的高度保持不变。由于设计的柔性机构呈四连杆结构，基于四连杆结构的双平行四边行原理，通过控制柔性机构不同点的位移来产生变形，使光瞳校正手指相对于基座的高度保持不变，能够保证所有光瞳校正手指的运动面始终在同一平面内，同时柔性机构的挠曲变形是线性的，能够实现光瞳校正装置的校正能力更强，校正精度更高。
一种校正装置

[发明专利]光刻机照明均匀性校正装置的校正方法-CN202211102741.1在审
发明人：程伟林;王振;张学成;任冰强;曾爱军;黄惠杰 -专利权人：上海镭望光学科技有限公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻机照明均匀性校正装置的校正方法，该方法将传统遗传算法应用于光刻机照明均匀性校正装置中，通过校正单元对照明积分均匀性标定、相邻校正单元对光瞳均匀性的标定以及相对校正单元对光瞳均匀性的标定找到校正单元位置信息与照明积分均匀性以及光瞳均匀性的相互关系，并以此为适应度函数，并且通过照明积分均匀性波形校正找到的校正单元位置解能大大缩小传统遗传算法中的随机初解群，使得照明积分均匀性校正优化能更快速、更高效地找到最优解。
光刻照明均匀校正装置方法

[发明专利]一种适用于均匀性校正的阵列式音圈电机-CN202211099270.3在审
发明人：张学成;程伟林;王振;任冰强;曾爱军;黄惠杰 -专利权人：上海镭望光学科技有限公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H02K33/18 文献下载
摘要：一种适用于均匀性校正的阵列式音圈电机，包括：永磁体组件、线圈组件、导轨组件；永磁体组件包括：磁轭、顶部固定板、底部固定板、边缘永磁体和若干个中间永磁体；磁轭相对顶部固定板和底部固定板的两端部设置；边缘永磁体相对磁轭的内侧设置；若干个中间永磁体间隔设置于顶部固定板和底部固定板之间；线圈组件包括若干线圈和若干线圈支架；顶部固定板和底部固定板分别开设有供线圈贯穿的通孔，以使相邻线圈之间复用中间永磁体；导轨组件包括导轨固定支架，还包括与线圈支架匹配的滑块、导轨、导轨支架；线圈在通电的情况下相对中间永磁体运动，并带动线圈支架、导轨支架、导轨相对滑块滑动。阵列式音圈电机具有结构紧凑、体积小的特点。
一种适用于均匀校正阵列式音圈电机

[发明专利]一种光刻机照明系统均匀性校正装置-CN202211102733.7在审
发明人：王振;程伟林;张学成;任冰强;曾爱军;黄惠杰 -专利权人：上海镭望光学科技有限公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请提供一种光刻机照明系统均匀性校正装置，包括：校正组件，所述校正组件包括若干个校正手指和用于支撑所述校正手指的手指支架；调节机构，所述调节机构用于对所述若干个校正手指的共面度进行调节，使所有校正手指背向所述手指支架的一面共面。本申请创新性的在手指支架上切割呈双连杆结构的柔性调节件，配合匚型结构的基准工装，能够便捷且又有效的调节阵列式校正手指的共面度，同时双连杆结构的柔性调节件的挠曲变形是线性的，能够实现更高精度共面度的需求。
一种光刻照明系统均匀校正装置

[发明专利]一种基于整体式装配的阵列式音圈电机装配工艺-CN202211087824.8在审
发明人：张学成;程伟林;王振;任冰强;曾爱军;黄惠杰 -专利权人：上海镭望光学科技有限公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H02K15/00 文献下载
摘要：一种基于整体式装配的阵列式音圈电机装配工艺，阵列式音圈电机包括磁体组件、线圈组件和导轨组件，装配工艺包括步骤：采用整体式装配法对所述磁体组件进行装配，形成阵列式音圈电机的定子组件；对线圈组件进行装配，形成阵列式音圈电机的动子组件；将动子组件安装至导轨组件上，及将已安装动子组件的导轨组件放入定子组件内；判断动子组件在定子组件上是否平滑移动，若是，完成阵列式音圈电机的装配。由于采用整体式装配方法对磁体组件进行装配，形成阵列式音圈电机的定子组件，可避免定子组件中的磁体发生退磁的现象。
一种基于整体装配阵列式音圈电机工艺

[发明专利]一种阵列式音圈电机线圈设计方法-CN202211087827.1在审
发明人：张学成;程伟林;王振;任冰强;曾爱军;黄惠杰 -专利权人：上海镭望光学科技有限公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H02K3/04 文献下载
摘要：一种阵列式音圈电机线圈设计方法，阵列式音圈电机的同轴气隙中至少包括两序列极性为异性的磁体，且同一序列中各磁体的极性朝向同一个方向，线圈被插入气隙中，线圈设计方法包括步骤：根据阵列式音圈电机输出力矩最大且具有最大运动行程的需求设计线圈内孔长度和单边宽度之间的约束关系；根据线圈运行平稳无波动的需求设计线圈宽度的约束关系；根据约束关系设计合适的线圈尺寸。设计的线圈不仅能够满足阵列式音圈电机输出力矩最大且具有最大的运动行程，还能够使线圈运行平稳无波动，也即是，线圈上下两个非有效边不受力或所受合力为零。
一种阵列式音圈电机线圈设计方法

[发明专利]一种阵列式音圈电机线圈浸漆工艺-CN202211087838.X在审
发明人：张学成;程伟林;王振;任冰强;曾爱军;黄惠杰 -专利权人：上海镭望光学科技有限公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H02K15/12 文献下载
摘要：一种阵列式音圈电机线圈浸漆工艺，包括步骤：采用双组份绝缘漆调制线圈的绝缘漆；将线圈完全浸没于绝缘漆中，浸没若干分钟，直至绝缘漆充分浸透线圈；将线圈从绝缘漆中取出，挂起并晾晒若干分钟；将浸漆后的线圈上端面和下端面分别铺设硅油纸，并将压块压至线圈的上端面铺设的硅油纸上；将铺设有硅油纸的线圈放置于恒温箱中热烘数个小时，恒温箱中的温度为80℃～120℃；将热烘的线圈自然冷却至50℃以下；从恒温箱中取出线圈，并去除硅油纸，线圈浸漆工艺结束。在该浸漆工艺中，影响线圈漆膜成型厚度及线圈平整度的关键因素包括绝缘漆型号、恒温箱的热烘温度及保温时间、纸材的选择，线圈浸漆工艺过程中通过控制这些关键因素，提高线圈浸漆的性能。
一种阵列式音圈电机线圈漆工

[发明专利]一种阵列式音圈电机装配工艺-CN202211087820.X在审
发明人：张学成;程伟林;王振;任冰强;曾爱军;黄惠杰 -专利权人：上海镭望光学科技有限公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： H02K15/00 文献下载
摘要：一种阵列式音圈电机装配工艺，阵列式音圈电机包括磁体组件、线圈组件和导轨组件；包括步骤：根据阵列式音圈电机的宽度尺寸约束关系装配磁轭、底部固定板和顶部固定板，并按照预设磁体安装方式装配边缘永磁体和中间永磁体；装配线圈组件形成阵列式音圈电机的动子组件；根据阵列式音圈电机的高度尺寸约束关系将导轨装配于导轨支架上，及将装配导轨后的导轨支架装配于固定基架上，装配后的各个导轨支架的顶部相对于固定基架处于同一水平高度；将动子组件安装至导轨组件上，及将已安装动子组件的导轨组件放入定子组件内，完成阵列式音圈电机的装配。该装配工艺不仅能够防止磁体发生不可逆退磁，还能确保装配的阵列式音圈电机符合尺寸要求。
一种阵列式音圈电机装配工艺

[发明专利]步进扫描光刻机的自消除振动力的扫描狭缝装置-CN201510428824.3有效
发明人：林栋梁;马兴华;任冰强;陈明;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2015-07-20 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种步进扫描光刻机的自消除振动力的扫描狭缝装置，特点在于该装置包括狭缝基框、上组件、下组件、Y向平衡质量系统、右组件、左组件和X向平衡质量系统，本发明在不影响刀口的运动和定位的同时，可完全消除振动力。
步进扫描光刻消除振动狭缝装置

[发明专利]自动挂靠及简易解锁的对接装置-CN201410336496.X有效
发明人：杨增辉;钱珍梅;任冰强;程伟林;王振;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2014-07-16 - 公布日： 2014-12-10 - 主分类号： F16B1/04 文献下载
摘要：一种自动挂靠及简易解锁的对接装置，其特点在于：由部件挂钩、防撞装置和主机挂钩组成。本发明具有结构简单、对接方便、定位准确并且安装牢固的自动挂靠及简易解锁的特点。
自动挂靠简易解锁对接装置

[发明专利]六自由度调整安装机构-CN201410014815.5有效
发明人：杨增辉;钱珍梅;任冰强;王振;程伟林;孙征宇;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2014-01-14 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：一种六自由度调整安装机构，包括一安装座板、一调整板、三个竖直调整子单元和三个水平调整子单元，在所述的安装座板与所述调整板之间设置所述的三个竖直调整子单元和三个水平调整子单元：两个水平调整子单元分布在安装座板长边同一侧面的两端，第三个水平调整子单元分布在安装座板一个短边侧面的中间，所述的2个竖直调整子单元分布在所述的调整板短边侧面的两端，该短边侧面与安装第三个水平调整子单元的安装座板的短边侧面相应，第三个竖直调整子单元分布在所述的调整板另一短边侧面的中间。本发明适用于大型机械设备分段建造、分段装配时的精密调整和对接，而且结构简单，操作方便，可精密调整安装大载荷机构的六自由度调整安装装置。
自由度调整安装机构

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