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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]决定方法、光学装置、投影光学系统、曝光装置-CN201711263246.8有效
  • 井本浩平;堆浩太郎 - 佳能株式会社
  • 2017-12-05 - 2020-10-27 - G03F7/20
  • 本发明提供一种决定方法、光学装置、投影光学系统、曝光装置。该决定方法决定矩阵，该矩阵表示对光学元件施加力而使该光学元件变形的多个致动器各自的推力和设置有所述多个致动器的各个致动器的部位处的所述光学元件的位移之间的关系，该决定方法具有：第一工序，在以单位电流驱动所述多个致动器中的一个致动器时，取得分别在所述多个致动器中产生的电流的值和设置有所述多个致动器中的至少一个致动器的第一部位处的所述光学元件的位移；第二工序，根据在所述第一工序中取得的分别在所述多个致动器中产生的电流的值及所述第一部位处的所述光学元件的位移来决定所述矩阵。
  • 决定方法光学装置投影光学系统曝光
  • [发明专利]光学装置、投影光学系统、曝光装置及物品的制造方法-CN201410497939.3有效
  • 崔长植;井本浩平 - 佳能株式会社
  • 2014-09-25 - 2017-06-30 - G03F7/20
  • 本发明提供一种光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法。该光学装置用于使镜的反射面变形，所述光学装置包括底板；多个第一致动器，其各自被构造为向与所述反射面相背对的面施加力；多个第二致动器，其各自具有比所述第一致动器低的刚度，并且被构造为向与所述反射面相背对的面施加力；传感器，其被构造为检测表示所述多个第一致动器中的各个的驱动状态的信息；以及控制单元，其被构造为基于所述传感器的输出，以将所述反射面的形状改变为目标形状的方式对所述多个第一致动器中的各个的驱动以及所述多个第二致动器中的各个的驱动进行控制。
  • 光学装置投影光学系统曝光物品制造方法
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  • 共 3 条
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