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[发明专利]基板处理方法和基板处理装置-CN202110347755.9在审
发明人： 井上雅喜;塞德里克·托马斯 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理方法和基板处理装置，能够以高选择比且高蚀刻速率来蚀刻硅。基板处理方法是基板处理装置中的基板处理方法，并且包括以下工序：提供具有仅由硅构成的第一膜和含硅的第二膜的基板；以及通过由混合气体生成的等离子体来对第一膜进行蚀刻，所述混合气体包含含卤素气体和含硅气体而不包含含氧气体。
处理方法装置

[发明专利]氨基酸系农药用效力增强剂组合物-CN201580011984.6有效
发明人：田村辰仙;井上雅喜;森雅弘 -专利权人：花王株式会社
申请日： 2015-04-06 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： A01N25/00 文献下载
摘要：本发明为以特定的质量比含有具有酯基的3种特定的季铵盐的氨基酸系农药用效力增强剂组合物。
氨基酸农药效力增强组合

[发明专利]被处理基体的处理方法-CN201280066942.9有效
发明人： 井上雅喜;小津俊久;谷川雄洋;吉川润 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-11-09 - 公布日： 2014-09-17 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：在一实施方式中，提供一种对在表面上暴露有含有Ni和Si的第1层和含有Si和N的第2层的被处理基体中的第2层进行蚀刻的方法。一实施方式的方法包括：(a)在处理容器内准备被处理基体的工序；以及(b)向处理容器内供给不含有氧而含有碳和氟的第1处理气体并在该处理容器内产生等离子体的工序。
处理基体方法

[发明专利]增稠增泡剂-CN201210137901.6有效
发明人：土井康裕;井上雅喜;大前薰;田村辰仙 -专利权人：花王株式会社
申请日： 2006-10-31 - 公布日： 2012-12-26 - 主分类号： A61K8/39 文献下载
摘要：本发明提供一种具有增泡、增稠性能的低臭的增稠增泡剂，和含有该增稠增泡剂的洗净剂组合物。该增稠增泡剂包括下述组分（A），（A）为通式（1）所示的化合物，式中，R1表示碳原子数8～10的直链烷基或烯基，PO表示丙烯氧基，EO表示乙烯氧基，平均加成摩尔数n表示1.5～3.0的数，平均加成摩尔数m表示0～1.0的数，R2表示氢原子或甲基。式（1）中，n＝0、m＝0、R2为氢原子的醇的含量为3000ppm以下。本发明的洗净剂组合物含有上述组分（A）和（B）表面活性剂。R1O－(PO)n／(EO)m－R2 （1）。
增稠增泡剂

[发明专利]表面活性剂组合物-CN200980152186.X有效
发明人： 井上雅喜;土井康裕 -专利权人：花王株式会社
申请日： 2009-12-24 - 公布日： 2011-11-30 - 主分类号： C11D1/29 文献下载
摘要：本发明提供一种低温下(5℃)长期保存后的流动性和稀释时的起泡性优异的表面活性剂组合物。该表面活性剂组合物含有以下成分(A)、(B)以及(C)，并且成分(A)的含量为40～75重量％。(A)：以下述通式(1)表示的硫酸盐型表面活性剂R1O-(PO)m(EO)nSO3M (1)，(式中，R1表示碳原子数为8～18的烃基，PO表示氧化丙烯基，EO表示氧化乙烯基，m、n表示平均加成摩尔数，m、n相同或不同，并且0＜m＜1、0＜n＜5，M表示阳离子)。(B)：选自下述(B-1)和(B-2)的一种以上的化合物(B-1)：以下述通式(2)表示的醇的环氧烷烃加成物R2O-(AO)t-R3 (2)，(式中，R2表示碳原子数为8～10的烷基或烯基，AO表示碳原子数为2～4的氧化烯基，t表示AO的平均加成摩尔数，其为0.5～4.0的数，R3表示氢原子或甲基)。(B-2)：单烷基甘油醚或单烯基甘油醚，(C)：水溶性盐类。
表面活性剂组合

[发明专利]清洁剂用组合物-CN200780048032.7有效
发明人：土井康裕;井上雅喜 -专利权人：花王株式会社
申请日： 2007-12-27 - 公布日： 2009-10-28 - 主分类号： C11D3/37 文献下载
摘要：本发明提供一种能够高浓度且容易地配合阳离子聚合物、保存稳定性良好、赋予优良的起泡性和使用感的清洁剂用组合物。该清洁剂用组合物含有以下成分(A)、(B)和(C)，成分(A)的含量是5～40重量％，成分(B)和成分(C)的重量比率为(B)/(C)＝0.5～2.5，成分(A)为选自阳离子聚合物和两性聚合物的一种以上的物质；成分(B)为通式(1)R¹O-(AO)_n-R²所示的化合物，式中，R¹表示碳原子数为8～10的直链或支链的烷基或烯基，AO表示碳原子数为2～4的氧化烯基，平均加成摩尔数n表示0.5～4的数，R²表示氢原子或甲基；成分(C)为选自两性表面活性剂和阳离子表面活性剂的一种以上的物质。
清洁剂组合

[发明专利]皮肤或毛发用清洁剂组合物-CN200780033127.1有效
发明人： 井上雅喜;土井康裕 -专利权人：花王株式会社
申请日： 2007-09-07 - 公布日： 2009-08-19 - 主分类号： A61K8/39 文献下载
摘要：本发明提供一种皮肤或毛发用清洁剂组合物，其具有出色的起泡性和从清洁到干燥后的良好使用感。所述皮肤或毛发用清洁剂组合物含有以下成分(A)、(B)和(C)：(A)通式(1)所示的化合物，其含量为0.2～20重量％。R¹O-(AO)_n-R² (1)；(式中，R¹表示碳原子数为8～10的直链或支链的烷基或烯基，AO表示碳原子数为2～4的氧化烯，n表示氧化烯的个数、是平均为0.5～3.5的数，R²表示氢原子或者甲基。)；(B)(A)成分以外的表面活性剂，其含量为5～60重量％；以及(C)从硅酮类及碳原子数为15～28的一元醇中选出的一种以上的物质，其含量为0.1～10重量％。
皮肤毛发清洁剂组合

[发明专利]皮肤或毛发用洗净剂组合物-CN200680049094.5有效
发明人：土井康裕;井上雅喜 -专利权人：花王株式会社
申请日： 2006-10-31 - 公布日： 2009-01-14 - 主分类号： A61K8/39 文献下载
摘要：本发明提供一种皮肤或毛发用洗净剂组合物，其具有优异的起泡性和从洗净时到干燥后的良好的使用感。本发明的皮肤或毛发用洗净剂组合物含有下述成分(A)、(B)和(C)并且成分(A)和成分(C)的重量比是(A)/(C)＝0.5～60，(A)以通式(1)表示的化合物，R¹O－(AO)n－R² (1)，(B)成分(A)以外的表面活性剂，(C)阳离子性聚合物。
皮肤毛发洗净组合

[发明专利]增稠增泡剂-CN200680040359.5无效
发明人：土井康裕;井上雅喜;大前薰;田村辰仙 -专利权人：花王株式会社
申请日： 2006-10-31 - 公布日： 2008-10-29 - 主分类号： C09K3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种具有增泡、增稠性能的低臭的增稠增泡剂，和含有该增稠增泡剂的洗净剂组合物。该增稠增泡剂包括下述组分(A)，(A)为通式(1)所示的化合物，式中，R¹表示碳原子数8～10的直链烷基或烯基，PO表示丙烯氧基，EO表示乙烯氧基，平均加成摩尔数n表示1.5～3.0的数，平均加成摩尔数m表示0～1.0的数，R²表示氢原子或甲基。式(1)中，n＝0、m＝0、R²为氢原子的醇的含量为3000ppm以下。本发明的洗净剂组合物含有上述组分(A)和(B)表面活性剂。
增稠增泡剂

[发明专利]表面活性剂组合物-CN200610091706.9有效
发明人： 井上雅喜;土井康裕 -专利权人：花王株式会社
申请日： 2006-06-08 - 公布日： 2007-01-10 - 主分类号： A61K8/86 文献下载
摘要：本发明提供可用于制造洗发水、沐浴液等皮肤洗涤剂或毛发洗涤剂的表面活性剂组合物，其即使高浓度地含有聚氧乙烯烷基醚硫酸盐或烷基硫酸盐，也能在较宽范围的温度下具有良好的流动性，稀释时不会发生粘度上升和凝胶化，且不会降低表面活性剂原本的性能。所述表面活性剂组合物含有成分(A)以通式(1)表示的聚氧乙烯烷基醚硫酸盐或烷基硫酸盐、(B)以通式(2)表示的醇的环氧烷加成物和(C)水溶性盐类，且成分(A)的含量为40重量％或以上。R¹O(CH₂CH₂O)_nSO₃M (1)，R²O－(AO)_m－R³ (2)。
表面活性剂组合

[发明专利]表面活性剂组合物-CN200610058058.7有效
发明人： 井上雅喜;土井康裕 -专利权人：花王株式会社
申请日： 2006-02-28 - 公布日： 2006-09-06 - 主分类号： C11D1/83 文献下载
摘要：本发明提供一种即使含有高浓度的聚氧乙烯烷基醚硫酸盐或烷基硫酸盐，在宽范围的温度下也具有良好的流动性，在稀释时不发生粘度上升或凝胶化，不会使表面活性剂本来的性能下降的，用于制造皮肤洗净剂或毛发洗净剂的表面活性剂组合物。本发明的表面活性剂组合物含有以下成分(A)、(B)及(C)，(A)以通式R¹O(CH₂CH₂O)_nSO₃M表示的是聚氧乙烯烷基醚硫酸盐或烷基硫酸盐，式中，R1表示碳原子数为8～18的饱和或不饱和的烃基，平均加成摩尔数n表示0～5的数，M表示碱金属原子、链烷醇胺或铵；(B)1种以上的具有碳原子数为4～24的烷基或链烯基的甘油醚或二甘油醚；(C)水溶性盐类，成分(A)的含量为40重量％以上。
表面活性剂组合

[发明专利]两性类脂分散体-CN99126565.3有效
发明人：长谷部惠子;佐多珠里;土井康裕;田村辰仙;井上雅喜;园原浩史 -专利权人：花王株式会社
申请日： 1999-12-24 - 公布日： 2004-09-15 - 主分类号： A61K7/06 文献下载
摘要：描述了一种分散体，包括：(a)5-40％重量的作为分散质的两性类脂，在其分子中含有至少一个羟基和酰胺基；和(b)2-55％重量的表面活性剂；一种洗去型化妆品组合物，包括：(A)0.01-10％的两性类脂，在该两性类脂的分子中具有至少一个羟基和酰胺基并且其熔点不低于30℃；和(B)5-95％重量的表面活性剂。
两性类脂分散体

[发明专利]洗净剂组合物-CN03119380.3有效
发明人： 井上雅喜;田村辰仙 -专利权人：花王株式会社
申请日： 2003-03-14 - 公布日： 2003-10-29 - 主分类号： C11D1/78 文献下载
摘要：一种洗净剂组合物，含有如下的成分(A)、(B)和(C)：(A)磷酸酯系表面活性剂，其为(a1)用通式(1)表示的磷酸单酯；和(a2)用通式(2)表示的磷酸二酯的混合物，其含有比率为重量比(a1)/(a2)＝100/0～50/50,(B)用通式(3)表示的磺基甜菜碱,(C)用通式(4)表示的烷基糖系表面活性剂,该洗净剂组合物对皮肤等的刺激性小，低温稳定性、起泡性优异，且使用感良好。
洗净组合

[发明专利]洗净剂组合物-CN03119455.9有效
发明人： 井上雅喜;田村辰仙 -专利权人：花王株式会社
申请日： 2003-03-12 - 公布日： 2003-09-24 - 主分类号： C11D1/94 文献下载
摘要：一种含有下述成份(A)、(B)及(C)的洗净剂组合物。(A)是磷酸酯类表面活性剂，是(a1)用通式(1)表示的磷酸单酯和(a2)用通式(2)表示的磷酸二酯的混合物，其含有比率的重量比为(a1)/(a2)＝85/15～50/50，(B)用通式(3)表示的高级脂肪酸或它的盐；(C)用通式(4)表示磺基甜菜碱。所述洗净剂组合物对皮肤等的刺激性小、起泡性好、泡质滑腻且洗净时的使用感良好、低温稳定性好、制造时易于调配。
洗净组合

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