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- [发明专利]将一流体流分成多个分流的流体分配单元-CN02803437.6无效
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奥利弗·施塔德尔;于尔根·施密特;乌尔里希·克劳泽
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卡罗洛－威廉敏娜不伦瑞克工业大学
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2002-01-08
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2004-10-06
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C23C16/455
- 本发明涉及一种将一个流体流分成多个分流的流体分配单元（10、20），它包括至少一个用于供给的流体流的流体进口（13、23）、多个用于分流的流体出口（14、24）以及多个连接流体进口（13、23）与流体出口（14、24）的通道。这种单元的特征在于，通道（15、25）分别在分叉点（16、26）对称地分成下游通道（15a、15b、15c、15d、15e；25a、25b、25c、25d、25e）；以及，每个从流体进口（13；23）到其中一个流体出口（14；24）的连接均有相同的通道（15、25）和相同的分叉点（16、26）。一种用于独立分配两种或多种不同流体的流体分配装置包括多个平面地上下层叠的这种流体分配单元（10、20），其中，在这些流体分配单元（10、20）中分别分配其中一种流体，以及另外一种或多种流体不分配地通过与之分开的通道（17、27）导引。这种流体分配装置可尤其设计为CVD镀层设备用的气体的供给装置。在这种情况下至少一个流体分配单元（10）规定用于一种必要时包括一种气体载体的母体气体，以及至少另一个流体分配单元（20）规定用于一种反应气体。
- 流体分成分流分配单元
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