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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

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2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]晶圆载具驱动装置及其操作方法-CN200880127775.8有效
发明人：阿诺德·克罗登科;安瓦尔·侯赛因;乔治·海特 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2008-12-17 - 公布日： 2011-02-09 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：驱动轨道包括密封的内部空腔和沿着该驱动轨道的长度延伸的外部驱动表面。第一磁性构件置于该内部空腔内并邻近与该外部驱动表面直接相对的该内部空腔的表面。驱动机构置于该内部空腔内并与该第一磁性构件相关联，并被配置为使该第一磁性构件在该内部空腔内沿着该驱动轨道的该长度移动从而该第一磁性构件保持直接对着该外部驱动表面。该第一磁性构件被配置为通过该外部驱动表面磁性耦合于邻近该外部驱动表面配置的晶圆载具。该第一磁性构件在该内部空腔内沿着该驱动轨道的移动带来该晶圆载具沿着该外部驱动表面的相应移动。
晶圆载具驱动装置及其操作方法

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