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[发明专利]一种高灵敏度压阻敏感单元及其制造方法-CN202210357554.1有效
发明人：王任鑫;张文栋;刘国昌;谭皓宇;李皓璇;乔庆宇;张国军;杨玉华;何常德;崔建功 -专利权人：中北大学
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明属于传感器技术领域，涉及敏感单元及其制备，具体为一种高灵敏度敏感单元及其制造方法，其包括半导体衬底、N阱和至少一块LDD超浅结，半导体衬底向上延伸有外延层，外延层进行轻的P型杂质掺杂，N阱位于外延层上，LDD超浅结位于N阱上，LDD超浅结的两端设有p+有源区，外延层表面覆盖有氧化层，氧化层上开有暴露p+有源区的窗口，窗口处暴露的p+有源区通过合金层连接有金属引线。本发明所述方法采用CMOS工艺中的超浅结漏注入方式在压阻区进行低能离子注入，使之产生LDD超浅结硅纳米膜；利用硅纳米膜的巨压阻效应敏感机制，可以大幅提高传感器的灵敏度。
一种灵敏度敏感单元及其制造方法

[发明专利]MEMS同振型三维组合水听器-CN202211028088.9在审
发明人：王任鑫;张文栋;武淑峰;乔庆宇;张国军;何常德;杨玉华;崔建功 -专利权人：中北大学
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G01H11/06 文献下载
摘要：本发明为一种MEMS同振型三维组合水听器，属于水声传感器技术领域。该水听器包括圆球状封装舱，圆球状封装舱内设有控制电路板，控制电路板上集成有一支构成矢量通道的MEMS电容式三轴加速度计以及一支构成声压通道的MEMS电容式全向性麦克风，控制电路板上连接有输出信号缆和输入信号缆，圆球状封装舱内还设有上下对称设置的气体密封腔。该水听器集成了一款MEMS电容式三轴加速度计作为矢量通道、集成了一款MEMES全向性麦克风作为声压通道，大大减小了MEMS同振型三维组合水听器的体积，增加了MEMS同振型三维组合水听器的灵敏度。
mems 三维组合水听器

[发明专利]一种MEMS尾流探测传感器-CN202210357558.X在审
发明人：王任鑫;张文栋;乔庆宇;孔祥正;武淑峰;刘国昌;杨沙沙;张国军;杨玉华;何常德;崔建功 -专利权人：中北大学
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本发明属于尾流探测技术领域，具体为一种MEMS尾流探测传感器，解决了背景技术中的技术问题，其包括纤毛式MEMS矢量水听器、中间连接体、仿鱼类侧线保护罩和保护筒体；仿鱼类侧线保护罩将纤毛式MEMS矢量水听器罩设其中且与中间连接体的顶端固定连接；仿鱼类侧线保护罩的顶部开有四个侧线孔；保护筒体由内到外依次包括固定连接的内筒体、减振橡胶套筒和外筒体，保护筒体的顶端与中间连接体的底端密封连接。本申请将仿鱼类侧线系统和纤毛式MEMS矢量水听器结合，组合成了能够测量湍流尾流的传感器，仿鱼类侧线保护罩减少了纤毛‑十字梁换能微结构被异物碰撞的几率，同时降低了海水冲击的影响，提高了传感器探测尾流信号的准确性。
一种 mems 探测传感器