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[发明专利]快照红外传感器-CN202080054407.6有效
发明人：帕特里克·罗伯特 -专利权人： 丽瑞德公司
申请日： 2020-06-26 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01J5/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种红外传感器，包括按行和按列并置的像素(11)的组装件，各像素集成成像用微测辐射热计(Rac)和积分器组装件，该积分器组装件包括：晶体管(N4)，其被组装为放大器；以及电容器(Cint)，其在输出节点(No)和积分节点(Ne)之间以反馈形式组装在所述晶体管上；所述积分节点连接到略读晶体管(P1)，所述略读晶体管(P1)与偏移到所述像素(11)外部的略读控制晶体管(P1b)作为电流镜进行操作，根据至少一个热化微测辐射热计的温度来控制流经所述略读控制晶体管的略读电流(Icm)，所述电流镜组装件使得能够将流经所述略读控制晶体管的所述略读电流发送到所述积分节点上，以使得所述电容器对流经所述成像用微测辐射热计的电流(Iac)与所述略读电流之间的差进行积分。
快照红外传感器

[发明专利]红外成像微测辐射热计及相关形成方法-CN202180047887.8在审
发明人：威利·卢杜尔卡兹克;马克·纪劳蒙特 -专利权人： 丽瑞德公司
申请日： 2021-07-27 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： G01J5/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种红外成像微测辐射热计(10a)，其集成了借助于附接到锚钉(14)的支撑臂悬在基板(11)上方的膜，所述膜包括：支撑层(13)，其穿过锚钉(14)的上端；吸收体或电极(16)，其沉积在支撑层(13)上和锚钉(14)上，具有形成至少两个电极的图案；介电层(15)，其沉积在吸收体或电极(16)上和支撑层(13)上；至少两个导电通路(20)，其形成为贯穿介电层(15)而与所述至少两个电极接触；以及测温或热阻材料(21)，其配置于形成在导电通路(20)的上端处的平坦表面上。
红外成像辐射热相关形成方法

[发明专利]微机电系统及其制造方法-CN202180025464.6在审
发明人： S·莱梅特 -专利权人： 丽瑞德公司
申请日： 2021-04-08 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机电系统(10)的制造方法，其包括以下步骤：#在基板(13)上形成(30)机电元件(11)；#制备(31)封装包装(18)，以形成集成所述机电元件(11)的密封腔室(12)，所述密封腔室(12)具有小于10mm3的体积；#在所述基板(13)上或在所述封装包装(18)的壁(17)上物理气相沉积(32)吸气剂膜(15)，使得所述吸气剂膜(15)具有小于8m2/g的比吸收表面积；以及#借助于具有能够活化所述吸气剂膜(15)的温度的热密封循环将所述封装包装(18)密封(33)在所述基板(13)上。
微机系统及其制造方法

[发明专利]低热容量微辐射热计及相关制造方法-CN202080039554.6在审
发明人： N·布杜;S·科蒂埃尔 -专利权人： 丽瑞德公司
申请日： 2020-05-11 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种红外成像微辐射热计(10a)，其集成有通过支撑臂(14a‑14h)以在基底上悬架的方式组装的膜(11a)。该膜(11a)包括：能够捕获红外辐射的吸收材料(13a)；连接到吸收材料(13a)并能够对由吸收材料(13a)捕获的红外辐射进行转换的测温材料(12)；测温材料(12)被配置于小于膜(11a)的表面积0.4倍的表面积上，并且至少一个中央介电层被配置在吸收材料(13a)和测温材料(12)之间。在膜(11a)的没有测温材料(12)的部分中，在吸收材料(13a)中和在至少一个介电层中形成凹部(20)。
低热容量辐射热相关制造方法

[发明专利]包括吸气剂的气密壳体、并入这样的气密壳体的光电部件或MEMS装置、以及相关的制造方法-CN201980064548.3在审
发明人： S·莱梅特;D·比内尔;J·莫林;A·博塞博夫 -专利权人： 丽瑞德公司;巴黎萨克雷大学;法国国家科学研究中心
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及光电部件(11)或MEMS装置用的气密壳体(10a)，其配置为形成其中低压或真空为主的腔室(12)，所述气密壳体包括：对感兴趣的至少一个波长(λ)透明的光学窗口(14)；和吸气剂材料层(15a)，其配置为捕获存在于该腔室中的气体并沉积在与腔室相对的光学窗口上。该吸气剂材料的厚度(et)大于60纳米，孔隙率(P)在10至70％的范围，从而满足以下关系：式(I)，其中λ对应于所述感兴趣的至少一个波长，k对应于所述光学窗口的所述感兴趣的至少一个波长用的所述吸气剂材料层的材料的消光系数，
包括吸气气密壳体并入这样光电部件 mems 装置以及相关制造方法

[发明专利]红外检测器制造方法和相关红外检测器-CN201980064803.4在审
发明人： S·科蒂埃尔 -专利权人： 丽瑞德公司
申请日： 2019-11-26 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： G01J5/02 文献下载
摘要：本发明涉及红外检测器(9)的制造方法，包括以下步骤：‑将检测芯片(10)混合接合到第二芯片(13)；通过两种芯片(10、13)的触点(17、23)和绝缘层(11、46)的粘附进行所述混合接合的步骤；‑从所述检测芯片(10)去除基板(80)至到达深氧化物层(45)；‑形成透过所述深氧化物层(45)以到达存在于半导体层(42)中的晶体管(40)的导电焊盘(50)；‑形成悬在所述深氧化物层(45)上方并电连接到所述导电焊盘(50)的微辐射热测定器(41)。
红外检测器制造方法相关

[发明专利]包括吸气剂的气密封装体、包括这种气密封装体的部件及相关制造方法-CN201980045498.4在审
发明人： S·莱梅特;D·比内尔 -专利权人： 丽瑞德公司
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种形成腔室(12)的气密封装体(10)，所述腔室(12)内的压力低或存在真空，所述气密封装体(10)容纳至少一个作为成像测辐射热计形式的部件(11)并且包括能够从所述腔室(12)内捕获气体的单片吸气剂材料层(15)，所述吸气剂材料层(15)的厚度为20～200纳米。
包括吸气气密封装这种部件相关制造方法

[发明专利]用于对电流进行积分的高动态装置-CN201980010353.0在审
发明人： R·皮提妮;帕特里克·罗伯特 -专利权人： 丽瑞德公司
申请日： 2019-02-27 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： H03F3/00 文献下载
摘要：一种电流积分装置(100a)，用于对在积分节点(E)上接收到的电流(I)进行积分，所述装置(100a)包括：运算放大器(62)；积分电容器(64)；修改电路(105a)，用于修改运算放大器的输出电压(VOUT)，该修改电路(105a)由电荷转移电路形成，该电荷转移电路被配置成连接在积分节点上并将电荷转移到积分电容器中；比较电路(74)，其被配置为在积分持续时间(Tint)期间触发修改电路至少一次；以及存储电路，其被配置为存储在该积分持续时间期间已经发生的触发次数。所接收到的电流是根据输出电压以及与修改电路引起的该输出电压的修改相乘的触发次数而计算出的。
用于电流进行积分动态装置