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[发明专利]光电测试装置-CN201410492234.2有效
发明人： 丹尼尔·吉多蒂;薛海韵;张文奇 -专利权人：华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
申请日： 2014-09-23 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种光电测试装置。该装置包括支撑结构、样品承载台、光学显微镜和光电探头，其中，所述光学显微镜的数量为至少两个，与所述支撑结构连接，用于同时观测待测试样品表面的至少两点；所述光电探头的数量为至少两个，与所述支撑结构连接，用于同时对待测试样品表面的至少两点进行测试。本发明实施例提供的光电测试装置，通过至少两个光学显微镜同时观测待测试样品表面的至少两点，并通过至少两个光电探头同时对观测到的点进行测试，能够得到待测试样品表面的多个测试点对应的器件的光学性能和/或电学性能，由于对待测试样品表面的多个测试点同时进行观测并测试，因此能够提高测试效率。
光电测试装置

[发明专利]一种光通信装置及其装配方法-CN201510116332.0有效
发明人： 丹尼尔·吉多蒂;薛海韵;张文奇 -专利权人：华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
申请日： 2015-03-17 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种光通信装置及其装配方法，解决了现有技术中光通信装置结构不够紧凑，制造成本高，光通信传输效率低的问题。该光通信装置包括至少一个激光器(105)、至少一个激光器驱动芯片(116)、至少一个光电探测器(106)、至少一个放大器芯片(115)、透明组件板(145)和至少两个I/O接口(125)；至少一个激光器(105)、至少一个激光器驱动芯片(116)、至少一个光电探测器(106)、至少一个放大器芯片(115)设置于透明组件板(145)上表面；透明组件板(145)上设有导通孔(165)；至少一个激光器驱动芯片(116)和至少一个放大器芯片(115)通过穿过导通孔的传输线(110)分别与一个I/O接口(125)连接。
一种光通信装置及其装配方法

[发明专利]一种具有倾斜角度的光纤装配体及其装配方法-CN201410040038.1有效
发明人： 丹尼尔·吉多蒂;张文奇;薛海韵 -专利权人：华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
申请日： 2014-01-27 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： G02B6/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有倾斜角度的光纤装配体及其装配方法，其中，具有倾斜角度的光纤装配体，包括，承载板，所述承载板具有进入孔和倾斜孔，所述倾斜孔的对称轴与所述承载板的上表面的法线成θ1角度；模板对准板，所述模板对准板设置有止动孔，所述止动孔的对称轴与所述顶部的法线成θ1角度；以及，光纤，所述光纤穿过所述倾斜孔进入所述止动孔中，完成光纤的顺利插入与精确定位。本发明涉及高效率地光交换，通过光栅模式变换装置实现大量单模圆柱形光纤和单模矩形硅波导之间的高效率的光交换，且将大型阵列的光纤装配到大型阵列光栅模式变换装置，满足了精密、量产的生产实践需求。
一种具有倾斜角度光纤装配及其方法

[发明专利]一种高深宽比垂直玻璃通孔的刻蚀方法-CN201310734714.0有效
发明人： 丹尼尔·吉多蒂;靖向萌;张名川 -专利权人：华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
申请日： 2013-12-27 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明公开了一种高密度和深宽比垂直玻璃通孔的刻蚀方法，以及包含上述刻蚀方法在内的一种刻蚀石英玻璃的系统。通过在玻璃晶圆工件沉积一层适当厚度的掩膜，然后进行反应离子刻蚀在整个工件区域的掩膜上开出一组通孔，随后沉积一层钝化层，因为玻璃的刻蚀速率远大于对掩膜的刻蚀速率，就能保证玻璃通孔的垂直度。刻蚀熔融石英玻璃的系统除包括反应腔，射频激励，气体交换系统阀门，反应腔真空控制阀门之外，还包含一个加热装置。加热装置位于反应腔内，通过其内置的加热部件和冷却部件，以及一个可以打开或折叠的小支架实现玻璃工件与加热装置的离合，使得玻璃工件可以在短时间内快速升温和降温。
一种高深垂直玻璃刻蚀方法