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[实用新型]一种方向不变可调高度支撑架-CN202020741448.X有效
发明人：王晓伟;李虎;韩鹏飞 -专利权人： 上海利方达真空技术有限公司
申请日： 2020-05-08 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种方向不变可调高度支撑架。该支撑架主要由上固定板、螺母、压板、支撑柱及底板等组成。上固定板是本支撑架的上方固定连接板，其形状可根据所支撑物体进行改变。螺母固定于支撑柱上，是固定支撑柱与上固定板的重要零件。压板的作用是在完成高度调节后对上固定板进行固定。支撑柱的上端与上固定板连接，下端通过螺纹与底板连接，可通过螺纹结构进行高度调节。底板是整个支撑架与地面的连接件，可将整体支撑架固定在地面上。
一种方向不变可调高度支撑架

[实用新型]低真空系统持续充入工作气体时的动态压力精确控制系统-CN202020798672.2有效
发明人：王晓伟;阚存东;李虎 -专利权人： 上海利方达真空技术有限公司
申请日： 2020-05-14 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： F04C28/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了低真空系统持续充入工作气体时的动态压力精确控制系统，包括真空室、真空泵组、真空抽气管道阀门组件、工作气体输入单元、调节气体输入单元、压力测量单元和电气控制单元，真空泵组通过真空抽气管道对真空室抽取真空。工作气体输入单元包括电磁阀Ⅰ、质量流量控制器Ⅰ及工作气体管路，向真空室充入工作气体。调节气体输入单元包括电磁阀Ⅱ、质量流量控制器Ⅱ及调节气体管路，向真空泵组抽气口充入大气。电气控制单元采用PLC控制真空泵组和电磁阀的开/关、设定工作气体充气流量、设定真空室目标压力值，根据压力测量单元反馈的真空室动态压力值，对调节气体充气流量进行PID调整，实现对真空室动态压力的精确控制。
真空系统持续工作气体动态压力精确控制系统

[实用新型]一种热真空试验用立体导热平台-CN202020721497.7有效
发明人：王晓伟;李虎;韩鹏飞 -专利权人： 上海利方达真空技术有限公司
申请日： 2020-05-06 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： G01M99/00 文献下载
摘要：本实用新型属于热真空试验技术领域，公开了一种热真空试验用立体导热平台。包括：导热平台主体、导热面、进液管路、出液管路和若干工质流道；所述导热平台主体为长方体结构，所述导热平台主体的中部为中空结构，所述导热平台主体的后上方设有出液管路，所述出液管路的右端为出液接口，所述导热平台主体的前下方设有进液管路，所述进液管路的左端为进液接口，所述导热平台主体的前后上下四个面均为导热面，若干工质流道在出液管路和进液管路之间并联设置。该热真空试验用立体导热平台具有4个导热面，立体的工质流道可实现4个导热面的温度同步变化。在实施试验的时候，可在4个导热面上同时安装试验工件，实现所有试验部件同时进行试验。
一种真空试验立体导热平台

[发明专利]采用非蒸散型吸气剂泵的激光空间滤波器-CN202010465180.6在审
发明人：王侠;王晓伟;赵凯 -专利权人： 上海利方达真空技术有限公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： G01L21/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用非蒸散型吸气剂泵的激光空间滤波器，它由入光真空管道(1)、出光真空管道(2)、滤波小孔组件(3)、入光透镜(4)、出光透镜(5)组成一个密闭的真空腔体，在入光真空管道和出光真空管道的法兰上分别安装吸气剂泵(7)和分体式真空阀(6)、冷阴极电离规(8)。使用时将干泵分子泵机组(9)和分体式真空阀(6)连接，对腔体抽取真空，真空度达到1E‑3Pa后，对吸气剂泵(7)通电加热激活后关闭加热电源和分体式真空阀(6)，此时激光空间滤波器由吸气剂泵(7)维持真空，进入正常工作状态。当真空度不满足要求时，对吸气剂泵(7)进行激活，操作过程和初次建立真空过程相同。
采用蒸散吸气激光空间滤波器

[发明专利]低真空系统持续充入工作气体时的动态压力精确控制系统-CN202010407037.1在审
发明人：王晓伟;阚存东;李虎 -专利权人： 上海利方达真空技术有限公司
申请日： 2020-05-14 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： F04C28/24 文献下载
摘要：本发明公开了低真空系统持续充入工作气体时的动态压力精确控制系统，包括真空室、真空泵组、真空抽气管道阀门组件、工作气体输入单元、调节气体输入单元、压力测量单元和电气控制单元，真空泵组通过真空抽气管道对真空室抽取真空。工作气体输入单元包括电磁阀Ⅰ、质量流量控制器Ⅰ及工作气体管路，向真空室充入工作气体。调节气体输入单元包括电磁阀Ⅱ、质量流量控制器Ⅱ及调节气体管路，向真空泵组抽气口充入大气。电气控制单元采用PLC控制真空泵组和电磁阀的开/关、设定工作气体充气流量、设定真空室目标压力值，根据压力测量单元反馈的真空室动态压力值，对调节气体充气流量进行PID调整，实现对真空室动态压力的精确控制。
真空系统持续工作气体动态压力精确控制系统

[实用新型]一种硅集成电路的铟层镀膜机构-CN201821841328.6有效
发明人：王晓伟 -专利权人： 上海利方达真空技术有限公司
申请日： 2018-11-09 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本实用新型为一种硅集成电路的铟层镀膜机构，包括真空室、蒸发源、基片架和中心隔板；真空室的顶端上方设有驱动机构，驱动机构通过传动轴穿入真空室内与基片架连接；真空室的后侧壁上设有主抽气口，主抽气口上设有冷阱，中心隔板的四周通过螺钉固定在真空室的中部内侧壁上，中心隔板的中心开有孔，孔的大小保证束流的入射角度在80°以上；蒸发源包括坩埚、加热丝、热屏蔽罩、不锈钢冷却水套和不锈钢法兰；坩埚的外部设有加热丝，加热丝的外部设有热屏蔽罩，热屏蔽罩的外部设有不锈钢冷却水套，不锈钢冷却水套通过杆件与不锈钢法兰焊接，坩埚的上部设有喷口，蒸发源通过不锈钢法兰设置在真空室内的底部，保证蒸发源中心与基片架中心处于同一直线。
真空室蒸发源不锈钢法兰冷却水套热屏蔽罩中心隔板基片架加热丝坩埚不锈钢硅集成电路驱动机构主抽气口镀膜铟层外部室内本实用新型螺钉固定同一直线传动轴后侧壁内侧壁入射角穿入杆件冷阱喷口束流焊接保证

[实用新型]可调节真空密封运动装置-CN201821738535.9有效
发明人：张利锋 -专利权人： 上海利方达真空技术有限公司
申请日： 2018-10-25 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： F16L5/02 文献下载
摘要：本实用新型属于真空元器件技术领域，涉及一种可调节真空密封运动装置，包括：密封法兰、调节杆、波纹管和支撑法兰；真空管依次穿过密封法兰和波纹管；密封法兰下端与波纹管上端用密封焊固连，波纹管下端与真空管外壁用密封焊固连；真空管下端穿入支撑法兰，并与支撑法兰固连；密封法兰用调节杆与支撑法兰连接。本实用新型结构设计合理，在使用过程中，实用性强，结构紧凑，制造成本低，尤其适用于真空器件在安装后，需二次调整位置时，通过调节杆进行移位即可，极大地提高了工作效率，应用范围广泛，可克服现有真空管路硬连接不可调整，导致二次加工修改、工艺繁琐的问题，解决了真空器件在真空状态下的位置调整问题。
密封法兰支撑法兰波纹管调节杆固连下端真空管本实用新型运动装置真空密封真空器件可调节密封焊元器件技术真空管外壁二次调整二次加工工作效率位置调整真空管路真空状态制造成本上端硬连接移位穿入穿过应用

[实用新型]一种平台高度调整机构-CN201821705587.6有效
发明人：翟智峰 -专利权人： 上海利方达真空技术有限公司
申请日： 2018-10-22 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本实用新型属于光学实验真空设备技术领域，公开了一种平台高度调整机构。通过在真空箱体内部设置螺杆‑螺母机构，实现调整光学平台的支撑高度，调整合适后，锁紧高度调整螺杆，并安装压盖。所述平台高度调整机构在设备使用过程中，也可在真空箱体内部调整光学平台的高度和水平度。本实用新型所述平台高度调整机构的高度调整范围相对于在真空箱体外部调整光学平台高度的调整机构的调整范围大。
高度调整机构光学平台真空箱体本实用新型高度调整螺杆设备使用过程调整机构高度调整光学实验螺母机构内部设置外部调整真空设备水平度螺杆锁紧压盖支撑

[实用新型]一种多基片与多磁控靶之间的位置控制电路-CN201821708736.4有效
发明人：邓树洁 -专利权人： 上海利方达真空技术有限公司
申请日： 2018-10-22 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种多基片与多磁控靶之间的位置控制电路，包括：光电开关K1‑K16，若干二极管D1、若干稳压二极管D2、若干电阻R1、若干电阻R2和若干三极管Q；本实用新型提供的多基片多磁控靶位置控制电路，可以完成特定基片对应特定磁控靶的位置控制，电路简单易实施。所用元器件普通便于采购，且价格低廉。是一种简单易行、设计合理的控制电路。
磁控靶位置控制电路本实用新型电阻稳压二极管二极管光电开关控制电路位置控制三极管元器件电路采购

[实用新型]一种真空全金属快速锁紧密封装置-CN201821738575.3有效
发明人：张利锋 -专利权人： 上海利方达真空技术有限公司
申请日： 2018-10-25 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： F16L19/028 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空全金属快速锁紧密封装置，包括：金属管、金属管胀口、螺帽、法兰刀口和法兰座；金属管末端设有金属管胀口，法兰座上端设有法兰刀口，金属管胀口通过螺帽将其与法兰刀口快速锁紧，实现金属管与法兰座在真空环境下的快速密封。金属管和金属管胀口一体成型。法兰座与法兰刀口一体成型。法兰刀口直径小于金属管胀口末端直径。真空全金属快速锁紧密封装置，结构设计合理，在使用过程中，实用性强，结构紧凑，制造成本低，尤其是可适用于批量生产器件的快速安装，极大的提高工作效率，可克服现有真空连接繁琐，安装工装效率低的缺陷，解决了生产器件快速安装和可靠的真空密封问题。
金属管刀口法兰胀口法兰座快速锁全金属螺帽快速安装一体成型直径小于金属本实用新型安装工装工作效率快速密封快速锁紧真空环境真空连接真空密封制造成本上端生产

[实用新型]一种多维度可调地脚-CN201821671711.1有效
发明人：李虎 -专利权人： 上海利方达真空技术有限公司
申请日： 2018-10-16 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： F16M7/00 文献下载
摘要：本实用新型为多维度可调地脚，包括支撑杆和支座；支撑杆与支座通过球面副连接；支撑杆包括调节螺杆、锁紧螺母和球头支杆；支座包括压板、可动支撑座、调节螺栓和固定底座；调节螺杆通过螺纹副与平台类设备连接，锁紧螺母与调节螺杆通过螺纹连接，用于锁紧平台类设备，球头支杆与调节螺杆固定连接；可动支撑座通过球面副与球头支杆连接，固定底座是一个顶面开口，其余五面封闭的长方体，可动支撑座放置在固定底座内，调节螺栓通过螺纹安装在固定底座的四个侧面，调节螺栓的端部顶在可动支撑座的侧面，压板设有槽，槽的一端开口，槽的另一端呈圆弧形，圆弧的中心与压板的中心重合，压板安装在固定底座的顶端，使支撑杆的轴线与圆弧的中心重合。
固定底座可动支撑座调节螺杆支撑杆压板螺栓球头支杆锁紧螺母中心重合多维度球面球面副连接侧面顶面开口可调地脚螺纹安装螺纹连接设备连接一端开口面封闭圆弧形脚本螺纹可调锁紧

[实用新型]一种真空箱体上盖侧开式机构-CN201821705560.7有效
发明人：翟智峰 -专利权人： 上海利方达真空技术有限公司
申请日： 2018-10-22 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： B65D81/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空箱体上盖侧开式机构，包括机架、开盖机构、静滑轮固定连接件、钢丝绳固定连接件、电动推杆固定连接件；开盖机构包括电动推杆、滑轮组和钢丝绳，所述滑轮组包括一个静滑轮和一个动滑轮。真空箱体上盖侧开式机构使箱体上盖绕一条边旋转打开，避免了箱体上盖垂直向上打开开盖行程大，安全性不够高的问题。采用一根钢丝绳对折双股绕绳，将对折点固定在机架上的绕绳方式，提高了开盖的安全性。真空箱体上盖侧开式机构结构简单，安全性高，操作方便。
真空箱体侧开式上盖固定连接件钢丝绳电动推杆开盖机构箱体上盖滑轮组静滑轮开盖绕绳本实用新型对折垂直向上机构结构旋转打开动滑轮对折点双股条边

[实用新型]气体室排气充气控制系统-CN201821664391.7有效
发明人：邓树洁 -专利权人： 上海利方达真空技术有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种气体室排气充气控制系统，包括：质量流量计、气体泄漏探头、泵、阀、报警器、模拟量模块、数字量模块、真空计和上位机；所述质量流量计与模拟量模块连接，所述气体泄漏探头与模拟量模块连接，所述泵与数字量模块连接，所述阀与数字量模块连接，所述报警器与数字量模块连接，所述模拟量模块、数字量模块和真空计均与上位机连接。
数字量模块模拟量模块充气控制系统质量流量计报警器气体泄漏气体室上位机真空计探头排气本实用新型

[发明专利]一种硅集成电路的铟层镀膜机构-CN201811330043.0在审
发明人：王晓伟 -专利权人： 上海利方达真空技术有限公司
申请日： 2018-11-09 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本发明为一种硅集成电路的铟层镀膜机构，包括真空室、蒸发源、基片架和中心隔板；真空室的顶端上方设有驱动机构，驱动机构通过传动轴穿入真空室内与基片架连接；真空室的后侧壁上设有主抽气口，主抽气口上设有冷阱，中心隔板的四周通过螺钉固定在真空室的中部内侧壁上，中心隔板的中心开有孔，孔的大小保证束流的入射角度在80°以上；蒸发源包括坩埚、加热丝、热屏蔽罩、不锈钢冷却水套和不锈钢法兰；坩埚的外部设有加热丝，加热丝的外部设有热屏蔽罩，热屏蔽罩的外部设有不锈钢冷却水套，不锈钢冷却水套通过杆件与不锈钢法兰焊接，坩埚的上部设有喷口，蒸发源通过不锈钢法兰设置在真空室内的底部，保证蒸发源的中心与基片架的中心处于同一直线。
真空室蒸发源不锈钢法兰冷却水套热屏蔽罩中心隔板基片架加热丝坩埚不锈钢硅集成电路驱动机构主抽气口镀膜铟层外部室内螺钉固定同一直线传动轴后侧壁内侧壁入射角穿入杆件冷阱喷口束流焊接保证

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