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[发明专利]锍盐、光产酸剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物-CN201980088473.2有效
发明人：中尾拓人 -专利权人： 三亚普罗股份有限公司
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C07C309/04 文献下载
摘要：本发明提供一种对g射线或h射线具有高感光性的新的锍盐以及包含锍盐的新的光产酸剂等，所述锍盐对g射线或h射线具有高感光性，并且在溶剂和环氧化合物等阳离子聚合性化合物中的溶解性高，在其混配物中储藏稳定性优异。本发明涉及一种由下述通式(1)所示的锍盐和特征在于含有该锍盐的光产酸剂等。
锍盐光产酸剂固化组合抗蚀剂

[发明专利]产酸剂、包含所述产酸剂的固化性组合物及其固化物-CN202211148896.9在审
发明人：赤泽庆彦;木津智仁;高桥竜辅;木村秀基 -专利权人： 三亚普罗股份有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： C07F9/52 文献下载
摘要：本发明提供一种阳离子聚合引发能力优异、并且在树脂中的溶解性优异的新型的产酸剂。本发明的产酸剂包含鎓阳离子(a)与以下述式(I‑1)表示的阴离子的盐(1)和鎓阳离子(a)与以下述式(I‑2)表示的阴离子的盐(2)。(式(I‑1)中，R1表示氟原子或全氟烷基，s、t相同或不同地表示1以上的整数。其中，s+t＝6)(式(I‑2)中，R1、s与上述相同。R2表示氟原子或氢原子，t1、t2相同或不同地表示1以上的整数。其中，s+t1+t2＝6)。[(R1CF2)tPFs]‑(I‑1)；[(R1CHR2)t1(R1CF2)t2PFs]‑(I‑2)。
产酸剂包含述产酸剂固化组合及其

[发明专利]负型感光性树脂组合物、图案形成方法及层叠薄膜-CN202180046897.X在审
发明人：中尾拓人;柴垣智幸;中村友治;山形宪一;近藤崇弘;增岛正宏;今井洋文 -专利权人： 三亚普罗股份有限公司;东京应化工业株式会社
申请日： 2021-06-02 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明采用含有含环氧基树脂与阳离子聚合引发剂的负型感光性树脂组合物，包含以下述通式(I0)表示的锍盐。式(I0)中，R1及R2表示芳基、杂环式烃基或烷基。R3～R5为烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、酰氧基、芳硫基、烷硫基、芳基、杂环式烃基、芳氧基、羟基(聚)亚烷氧基或卤素原子。k为0～4的整数，m为0～3的整数，n为1～4的整数。A是以‑S‑、‑O‑、‑SO‑、‑SO2‑或‑CO‑表示的基团。X‑表示一价的多原子阴离子。
感光性树脂组合图案形成方法层叠薄膜

[发明专利]锍盐、光酸产生剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物-CN201980011857.4有效
发明人：中尾拓人;高嶋祐作 -专利权人： 三亚普罗股份有限公司
申请日： 2019-04-09 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C07C381/12 文献下载
摘要：本发明提供一种新的锍盐以及新的光酸产生剂等，所述锍盐对i射线具有高感光性，所述光酸产生剂是含有锍盐而成的，所述锍盐对i射线具有高感光性，且与环氧化合物等阳离子聚合性化合物的相容性高，在其配合物中储存稳定性优异。本发明是一种由下述通式(1)表示的锍盐以及以含有该锍盐为特征的光酸产生剂等。[式(1)中，R表示烷基或芳基，取代基R1～R5相互独立地表示烷基、羟基、烷氧基、芳基、芳氧基、羟基(聚)亚烷基氧基或卤素原子，R6～R9相互独立地表示烷基、芳基或氢原子。m1～m5各自表示R1～R5的个数，m1和m4表示0～3的整数，m2和m5表示0～4的整数，m3表示0～5的整数，X－表示一价的多原子阴离子]
锍盐产生固化组合抗蚀剂

[发明专利]锍盐、光酸产生剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物-CN202180007534.5在审
发明人：中尾拓人;中村友治 -专利权人： 三亚普罗股份有限公司
申请日： 2021-01-04 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C07C381/12 文献下载
摘要：本发明提供一种新的锍盐和新的光酸产生剂等，上述锍盐对活性能量射线、特别是i射线或h射线具有高光感应性，上述光酸产生剂是含有锍盐而成的，上述锍盐对i射线或h射线具有高光感应性，且向溶剂和环氧化合物等阳离子聚合性化合物的溶解性高，在其配合物中储存稳定性优异。本发明是一种由下述通式(1)表示的锍盐和以含有该锍盐为特征的光酸产生剂等。
锍盐产生固化组合抗蚀剂

[发明专利]光学部件形成用感光性组合物、及固化物、微透镜、微透镜图案的制造方法、及微透镜-CN202111357295.4在审
发明人：矶部信吾;井上朋之;中村友治;中尾拓人 -专利权人：东京应化工业株式会社;三亚普罗股份有限公司
申请日： 2021-11-16 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及光学部件形成用感光性组合物、固化物的制造方法、微透镜的制造方法、微透镜图案的制造方法、及微透镜。提供能够形成光线透过率高的微透镜等光学部件的光学部件形成用感光性组合物、使用上述的光学部件形成用感光性组合物的固化物的制造方法、使用上述的光学部件形成用感光性组合物的微透镜的制造方法、使用上述的光学部件形成用感光性组合物的微透镜图案的制造方法、和微透镜。使用下述感光性组合物，其包含光阳离子固化剂(A)、丙烯酸树脂(B)、和不属于丙烯酸树脂(B)的交联剂(C)，光阳离子固化剂(A)为包含特定结构的阴离子部的鎓盐，丙烯酸树脂(B)为具备具有阳离子聚合基团的结构单元(b1)的丙烯酸树脂。
光学部件形成感光性组合固化透镜图案制造方法

[发明专利]新型鎓盐和光产酸剂-CN202180005314.9在审
发明人：赤泽庆彦;木津智仁;高桥龙辅;中村友治;木村秀基 -专利权人： 三亚普罗股份有限公司
申请日： 2021-05-07 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： C07F9/535 文献下载
摘要：本发明作为光产酸剂发挥功能，进而该光产酸剂通过与下述成分等组合提供一种化学增幅型光致抗蚀剂组合物，该成分是在通过照射光或电子射线等活性能量射线所产生的酸的作用下对碱的溶解性增大的树脂。本发明涉及一种鎓盐，其为通式(1)所示的鎓盐，其中，在阴离子结构的面式体和经式体这2种异构体中，面式体的比例为15.0重量％以下。[(R2)n+1‑E]+[(R1)3(F)3P]‑(1)。
新型光产酸剂

[发明专利]光产酸剂-CN202180005348.8在审
发明人：木村秀基;白石笃志 -专利权人： 三亚普罗股份有限公司
申请日： 2021-06-28 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G03F7/038 文献下载
摘要：本发明提供在光固化性组合物、化学增幅型负型光致抗蚀剂组合物中有用的光产酸剂，其是对这些组合物的耐黄变性有用的有用的光产酸剂。本发明的光产酸剂的特征在于，其含有下述通式(1)所表示的锍盐(CA)和通式(2)所表示的化合物(S)，在设利用高效液相色谱(HPLC)测定锍盐(CA)和化合物(S)的总量时的锍盐(CA)和化合物(S)的总面积为100时，化合物(S)的面积比为0.02以上3.0以下。
光产酸剂

[发明专利]锍盐、光酸产生剂、光固化性组合物及其固化体-CN201780020164.2有效
发明人：福长祝也;高嵨祐作 -专利权人： 三亚普罗股份有限公司
申请日： 2017-06-12 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： C07F5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种锍盐、以含有该锍盐为特征的光酸产生剂以及利用了阳离子聚合引发剂(酸产生剂)的能量线固化性组合物和固化体，所述锍盐不含毒性金属，具有四(五氟苯基)硼酸盐以上的阳离子聚合性能、交联反应性能，使用上述光酸产生剂的固化物特别是在耐热试验后不残留强酸，因此没有构件的腐蚀，没有因树脂的劣化而透明性降低的问题。本发明是锍盐、以含有锍盐为特征的光酸产生剂、以及含有该酸产生剂和阳离子聚合性化合物而成的能量线固化性组合物和将它们固化而成的固化体，该锍盐由选自下述通式(1)、(2)和(3)表示的组中的锍阳离子和式(a)表示的镓酸根阴离子构成。
锍盐产生光固化组合及其固化

[发明专利]锍盐、热或光酸产生剂、热或光固化性组合物以及其固化体-CN201780036456.5有效
发明人：福长祝也;高嵨祐作 -专利权人： 三亚普罗股份有限公司
申请日： 2017-07-06 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： C07F5/00 文献下载
摘要：本发明提供锍盐、以含有该锍盐为特征的热或光酸产生剂以及利用了阳离子聚合引发剂(酸产生剂)的能量线固化性组合物和固化体，所述锍盐不含毒性金属、具有四(五氟苯基)硼酸盐以上的阳离子聚合性能、交联反应性能，使用上述热或光酸产生剂的固化物特别是在耐热试验后不残留强酸，因此没有构件的腐蚀，没有因树脂的劣化而透明性降低的问题。本发明是锍盐、以含有该锍盐为特征的热或光酸产生剂以及含有该酸产生剂和阳离子聚合性化合物而成的热或能量线固化性组合物以及将它们固化而成的固化体，所述锍盐由选自下述通式(1)、(9)、(10)和(11)表示的组中的锍阳离子与式(a)表示的镓酸根阴离子构成。
锍盐产生光固化组合及其固化

[发明专利]光酸产生剂和光刻用树脂组合物-CN201980067796.3在审
发明人：柴垣智幸 -专利权人： 三亚普罗股份有限公司
申请日： 2019-10-25 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： C07D221/14 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供对i线具有高感光度、在抗蚀剂溶液中的相容性和溶解性优异且耐热稳定性优异的非离子系光酸产生剂。本发明是一种非离子系光酸产生剂(A)，其特征在于，由下述通式(1)表示。[式(1)中，X表示氧原子或者硫原子，R1表示氢原子或者可具有羧酸基的碳原子数1～12的烷基，R2表示氢原子或者碳原子数1～12的烷基，Rf表示氢的一部分或全部被氟取代的碳原子数1～12的烃基。]
产生光刻树脂组合

[发明专利]磺酸酯化合物、光酸产生剂及光刻用树脂组合物-CN201580054732.1有效
发明人：冈昌明;中村友治 -专利权人： 三亚普罗股份有限公司
申请日： 2015-10-13 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： C07C309/64 文献下载
摘要：本发明提供含有对i射线具有高的光灵敏度、耐热稳定性优异、在疏水性材料中的溶解性优异的磺酸酯化合物的非离子系光酸产生剂及含有该非离子系光酸产生剂的光刻用树脂组合物，本发明为一种磺酸酯化合物，其特征在于，由通式(1)表示。[式(1)中，R1表示碳原子数6～18的芳基或碳原子数4～20的杂环式烃基。R2表示氢原子、碳原子数1～18的烷基、碳原子数2～18的烯基、碳原子数2～18的炔基、或碳原子数6～18的芳基。R3表示碳原子数1～18的烃基(氢的一部分或全部可以被氟取代)]
酯化产生光刻树脂组合

[发明专利]固化性组合物和使用其的固化体-CN201680037918.0有效
发明人：福长祝也;高嵨祐作;池田卓也;清家英雄 -专利权人： 三亚普罗股份有限公司
申请日： 2016-08-05 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： C08G59/68 文献下载
摘要：本发明提供含有具有特定的结构的镓酸盐、要求光学特性的构件用的热或能量线固化性组合物以及使其固化而得到的固化体。本发明是含有包含下述通式(1)表示的镓酸盐的酸产生剂和阳离子聚合性化合物而成的热或能量线固化性组合物。[式(1)中，R1～R4相互独立地为碳原子数1～18的烷基或Ar，其中，至少一个为Ar，Ar为碳原子数6～14(不包含以下的取代基的碳原子数)的芳基，芳基中的氢原子的一部分可以被碳原子数1～18的烷基等取代，E表示VA族～VIIA族(IUPAC记载)的化合价n的元素，n为1～3的整数，R5为与E键合的有机基团。]
固化组合使用

[发明专利]环氧树脂固化促进剂-CN201580056299.5有效
发明人：陈礼翼;柴垣智幸 -专利权人： 三亚普罗股份有限公司
申请日： 2015-11-24 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： C08G59/68 文献下载
摘要：本发明提供一种在模具填充时流动性优异且催化活性高、固化性优异的环氧树脂固化促进剂。本发明为一种环氧树脂固化促进剂(Q)，其特征在于，含有由通式(1)所示的季(A)和通式(2)所示的有机羧酸(B)的阴离子构成的盐(S)以及通式(3)所示的有机酚化合物(C)。[式(1)中，R1～R3表示碳原子数6～12的芳基，R4表示碳原子数1～8的烷基或碳原子数6～12的芳基。式(2)中，R5～R7相同或不同，各自表示羟基、羧基、氢或碳原子数1～4的烷基，R8表示羟基或羧基。式(3)中，R9～R11相同或不同，各自表示羟基、羧基、氢或者碳原子数1～4的烷基。]
环氧树脂固化促进剂

[发明专利]光酸产生剂及光刻用树脂组合物-CN201780007927.X在审
发明人：中村友治;柴垣智幸 -专利权人： 三亚普罗股份有限公司
申请日： 2017-02-23 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种对i射线具有高感光度、耐热稳定性优异、对疏水性材料的溶解性及碱性显影性优异的非离子系光酸产生剂。本发明是非离子系光酸产生剂(A)以及含有该非离子系光酸产生剂(A)的光刻用树脂组合物(Q)，该非离子系光酸产生剂(A)的特征在于由下述通式(1)表示。[式(1)中，X为二价的有机基团，Y为具有活性氢的官能团，R表示碳原子数1～18的烃基(氢的一部分或全部可被氟取代)。]。
光酸产生剂式( 1 )非离子树脂组合物光刻碱性显影性耐热稳定性疏水性材料高感光度碳原子数有机基团氟取代活性氢离子系二价烃基

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