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- [发明专利]放射线检测元件及其制造方法-CN200310116107.4有效
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本目卓也;高林敏雄;佐藤宏人
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浜松光子学株式会社
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1998-02-12
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2004-06-02
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G01T1/164
- 提供一种放射线检测元件及其制造方法。该放射线检测元件，包括：受光元件阵列，将多个受光元件在基板上一维或二维排列形成其受光单元，并把各行或各列的所述受光元件电连接的多个焊盘配置在所述受光单元的外部；闪烁器层，其至少在所述受光单元的所述受光元件的有效画面区域上层积形成，并把放射线变换成可见光；以封闭框状形成的由树脂构成的一个或多个树脂框，其把所述受光元件阵列上的形成了闪烁器层的区域和配置了焊盘的区域区分开来；以及放射线可通过的耐湿保护膜，其覆盖所述闪烁器层、所述受光元件的包围所述闪烁器层的表面、以及所述树脂框，至少使所述焊盘露出，其中用所述树脂框把所述耐湿保护膜的边缘与所述受光元件结合起来。
- 放射线检测元件及其制造方法
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