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- [发明专利]长工作距干涉显微镜系统-CN200610082957.0有效
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段俐;康琦;胡良;阿燕;于泳
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中国科学院力学研究所
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2006-06-21
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2006-11-15
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G01B9/04
- 本发明公开了一种长工作距干涉显微镜系统，包括：起偏器、分束器、长工作距显微镜和由两个光轴互相垂直的双折射直角棱镜粘合而成的渥拉斯顿棱镜，光源经过所述起偏器形成线偏振光，并经所述分束器反射后再通过所述渥拉斯顿棱镜，将入射线偏振光分成两束具有微小夹角并且振动方向互相垂直的线偏振光，该两束光投射到被测量样品上，从被测量样品表面反射回的两束正交线偏振光经原路返回，由所述渥拉斯顿棱镜重新复合共线，并经过一四分之一波片形成椭圆偏振光，再经过一检偏器后形成偏振方向相同的线偏振光。本发明对机械振动、空气扰动、以及温度变化等外界环境不敏感，其垂直测量分辨率达到50个纳米量级，具有50mm以上的工作距离。
- 工作干涉显微镜系统
- [实用新型]微型电控光学平台-CN200520029241.5无效
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顾小丰;张立军;王大一
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长春迪瑞实业有限公司
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2005-09-28
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2006-11-01
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G01B9/04
- 本实用新型涉及一种微型电控光学平台，属于光学显微检测的光学平台部件。可调光源固定连接在底座上，X方向运行直线电机固定连接在底座上，X方向直线导轨座固定连接在后壁上，X方向直线导轨固定连接在X方向直线导轨座上，X方向直线运行平台与X方向直线导轨滑动连接，Y方向运行直线电机与X方向直线运行平台固定连接，Y方向直线导轨与X方向直线运行平台固定连接，载物台与Y方向直线导轨滑动连接，载物台与Y方向运行直线电机顶接，优点在于：结构新颖，简单实用，通过直线步进电机实现平台X、Y方向运动，来进行光学显微检测。具有体积小、易于控制的特点。
- 微型光学平台
- [发明专利]镜片偏芯测定方法及其系统-CN200510051380.2无效
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赵圣瑞
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亚洲光学股份有限公司
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2005-03-08
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2006-09-13
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G01B9/04
- 本发明是在提供一种镜片偏芯测定方法及其系统，包含：一、准备一具有一缺口的安装基座、一可安置于该缺口的镜片、一具有一拨动头的压电致动器、一控制单元、一显微镜单元、一电子拍摄单元、一中央处理单元、一角度感测单元，及一显示单元，该显微镜单元具有一第一、二标计，二、使该控制单元驱使该拨动头推动该镜片产生转动，三、使该电子拍摄单元将拍摄的该第一、二标计传送至该中央处理单元，以计算该第一、二标计间的相对距离，并使该角度感测单元将该镜片的转动角度传送至该中央处理单元，四、使该中央处理单元将该第一、二标计的影像、该第一、二标计间的相对距离与该镜片的转动角度传送至该显示单元显示。
- 镜片测定方法及其系统
- [发明专利]阵列垂直腔面发射激光器共焦显微系统-CN200610065712.7无效
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林德教;刘音;闫聚群;李岩;殷纯永
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清华大学
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2006-03-14
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2006-08-09
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G01B9/04
- 本发明公开了属于表面形貌测量技术领域的一种阵列垂直腔面发射激光器共焦显微系统。包括光源、测量和信号处理三个部分组成，光源部分是一个垂直腔面发射激光器阵列，实现对工件表面相对应各测点的特征提取，信号处理部分由光学信号的接收器件和工控计算机组成；测量部分包括扩束准直透镜，分光镜和一个长筒显微物镜。系统以光学扫描方法部分取代了传统仪器中工作台的机械式扫描，从而减少振动等带来的干扰并显著提高测量速度。通过增加垂直腔面发射激光器线性调频、相位检测手段，可实现绝对距离测量以增大仪器的测量范围。该系统广泛应用于各种自由曲面、微机械MEMS器件、微电子掩膜板、生物芯片等微观精密表面的测量。
- 阵列垂直发射激光器显微系统
- [发明专利]三差动共焦显微成像方法与装置-CN200410073652.4有效
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赵维谦;谭久彬;邱丽荣
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哈尔滨工业大学
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2004-09-02
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2005-03-02
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G01B9/04
- 本发明属于显微成像及微观测量技术领域，涉及一种轴向超分辨成像的三差动共焦显微成像方法与装置，该装置包括光源(1)，依次放在光源(1)发射端的空间滤波针孔(26)、测量显微物镜(5)，其特征在于还包括放置在光源(1)发射端的扩束器(2)、偏振分光镜(3)、放置在偏振分光镜(3)透射光路上的四分之一波片(4)、以及将偏振分光镜(3)反射后的测量光束第一次分为两束测量光的分光镜(10)、将分光镜(10)透射的光束再次分为两束测量光束的分光镜(12)，分别汇聚三束测量光的三个聚光镜(17)、(6)和(13)，依次位于三个聚光镜焦前位置、焦面位置和焦后位置的三个针孔(18)、(7)和(14)，以及分别贴近三个针孔后面的三个光电探测器(19)、(8)和(15)。
- 差动显微成像方法装置
- [发明专利]多自由度定位刀具角度测量显微镜-CN03145025.3无效
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唐晓;唐崇淹
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唐晓;唐崇淹
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2003-06-19
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2005-01-19
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G01B9/04
- 多自由度定位刀具角度测量显微镜，涉及机械工具测量装置，特别适用于木工圆盘刀具的角度测量。它是由机身、横向、纵向、垂直向导轨及行走升降机构、刀具安装台组成。刀具安装台纵向芯轴上活套着“L”形支架，支架另一边固定着横向芯轴，其特征在于纵横向芯轴上都开有台阶孔，孔内安装着灯泡及“田”字形、“丰”字形刻线的分划玻璃块，两刻线平面都与横向导轨垂直，所有刻线间等距离，垂直向、横向刻线都互为垂直，“田”字形中线与纵向芯轴轴心线处于同一水平面，横向芯轴轴芯线过“丰”字形中横线与竖划线的交点且垂直于“丰”字形划线平面。其优点在“L”形支架旋转测量时，能准确进行基准定位，测量快捷方便。
- 自由度定位刀具角度测量显微镜
- [发明专利]刀具角度测量显微镜-CN03149218.5无效
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唐崇淹;唐晓
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唐崇淹;唐晓
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2003-06-17
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2005-01-19
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G01B9/04
- 刀具角度测量显微镜，涉及机械工具测量装置，特别适用于木工圆盘刀具的测量，其特征在于固定于导轨上方的刀具安装台侧面上固定一个突出侧面的与纵向导轨平行的纵向芯轴，另有一个两边互相垂直的“L”形支架。“L”形支架的横向边上有一圆孔活套在纵向芯轴外端的台阶轴上，并用螺母压紧固定在纵向芯轴上；“L”形支架纵向边上有一圆孔，此圆孔中心线与支架横向边上孔轴心线互相垂直，且圆孔内固定一个横向芯轴，横向芯轴突出“L”形支架纵向边呈台阶轴状，台阶轴端部套合着螺母。“L”形支架可将刀具绕纵向芯轴作整体空间位移旋转，多了一个自由度的测量符合国际标准和我国标准对木工圆盘刀具测量的要求，操作简捷。
- 刀具角度测量显微镜
- [发明专利]共光路双频外差共焦显微测量装置-CN200410003475.2有效
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孟永钢;柳忠尧;阎聚群;张蕊;林德教;殷纯永
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清华大学
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2004-03-30
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2005-01-12
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G01B9/04
- 共光路双频外差共焦显微测量装置，属于表面形貌测量技术领域。为了在提高分辨率和量程的同时保证系统有高的稳定性，本发明公开了一种共光路双频外差共焦显微测量装置，包括横向塞曼双频激光器，依次设置在激光器发射端轴线上的分光镜、第一会聚透镜、第一针孔、第一胶合透镜、第一半透半反镜、双折射透镜组和显微物镜，以及设置在分光镜反射光路上的第一光电探测器；还包括设置在第一半透半反镜的反射光路上的第二半透半反镜，以及分别设置在第二半透半反镜反射光路上的格兰棱镜、第二胶合透镜、第二针孔、第二光电探测器，和设置在透射光路上的光阑、第二会聚透镜、第三光电探测器。本发明具有低漂移和抗振动干扰能力强的特点，且成本较低。
- 共光路双频外差显微测量装置
- [实用新型]刀具角度测量显微镜-CN03243733.1无效
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唐崇淹;唐晓
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唐崇淹;唐晓
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2003-04-11
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2004-05-12
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G01B9/04
- 刀具角度测量显微镜，涉及机械工具测量装置，特别适用于木工圆盘刀具的测量，其特征在于固定于导轨上方的刀具安装台侧面上固定一个突出侧面的与纵向导轨平行的纵向芯轴，另有一个两边互相垂直的“L”形支架。“L”形支架的横向边上有一圆孔活套在纵向芯轴外端的台阶轴上，并用螺母压紧固定在纵向芯轴上；“L”形支架纵向边上有一圆孔，此圆孔中心线与支架横向边上孔轴心线互相垂直，且圆孔内固定一个横向芯轴，横向芯轴突出“L”形支架纵向边呈台阶轴状，台阶轴端部套合着螺母。“L”形支架可将刀具绕纵向芯轴作整体空间位移旋转，多了一个自由度的测量符合国际标准和我国标准对木工圆盘刀具测量的要求，操作简捷。
- 刀具角度测量显微镜
- [实用新型]光学座标定位仪的分划板-CN00245634.6无效
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孟宪章
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孟宪章
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2000-08-01
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2001-08-29
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G01B9/04
- 本实用新型是一种光学座标定位仪的分划板。光学座标定位仪包括目镜,分划板部件,连接杆,折射棱镜主体,物镜,可调球形灯炮座,可旋转360°任意定位照射光源主体,镜筒。本实用新型在原光学座标定位仪的基础上,将原只刻有十字中心线,圆线的分划板改为既有十字中心线,圆线,又有角度刻线的分划板,使光学座标定位仪增加了测量角度的功能。
- 光学座标定位分划板
- [实用新型]激光扫描力显微镜-CN98247446.6无效
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卓永模;牟旭东;杨甬英;游艺锋
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浙江大学现代光学仪器研究所
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1998-12-27
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1999-12-29
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G01B9/04
- 一种激光扫描力显微镜，其特征是该激光扫描力显微镜由光源1、准直扩束器2、半反半透镜3、显微物镜4、聚焦物镜5、带有光电二极管的前置放大器6、锁相放大器7、压电叠堆8、微探针9、压电扫描台10、带有A/D及D/A转换器的计算机11构成，光源1采用半导体激光器，入射平行激光束通过的显微物镜会聚在微探针的微悬臂端部上，形成反射光和衍射光共路干涉，通过信号处理测得样品表面微细结构数据。同现有技术比较，本方案具有结构简单紧凑，性能稳定可靠，有利于实现小型化等优点，纵向分辨率为0.01nm横向分辨率为5nm。
- 激光扫描显微镜
- [发明专利]激光扫描力显微镜-CN98122886.0无效
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卓永模;牟旭东;杨甬英;游艺锋
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浙江大学现代光学仪器研究所
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1998-12-27
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1999-07-14
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G01B9/04
- 一种激光扫描力显微镜,其特征是该激光扫描力显微镜由光源1、准直扩束器2、半反半透镜3、显微物镜4、聚焦物镜5、带有光电二极管的前置放大器6、锁相放大器7、压电叠堆8、微探针9、压电扫描台10、带有A/D及D/A转换器的计算机11构成,光源1采用半导体激光器,入射平行激光束通过的显微物镜会聚在微探针的微悬臂端部上,形成反射光和衍射光共路干涉,通过信号处理测得样品表面微细结构数据。同现有技术比较,本方案具有结构简单紧凑,性能稳定可靠,有利于实现小型化等优点,纵向分辨率为0.01nm横向分辨率为5nm。
- 激光扫描显微镜
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