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[实用新型]一种新型单晶炉热场加热器脚板-CN202123192170.9有效
发明人：杨昊;鲍军;牛立东 -专利权人：弘元新材料（包头）有限公司
申请日： 2021-12-19 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型单晶炉热场加热器脚板，涉及单晶炉技术领域。本实用新型包括加热圈，加热圈下端的两侧均装配有底加热器脚板，两个底加热器脚板的下端安装有主加热器脚板，主加热器脚板内部的两侧和两个底加热器脚板的内部均开设有腰孔，腰孔的截面由矩形和两个半圆形组成。本实用新型通过设置腰孔能够有效的降低主加热器脚板和底加热器脚板因形变而导致的损坏率，延长使用寿命，降低石墨件使用成本，通过旋转传动帽头调节两个移动推板之间的间距，能够大大的提升装置的适用范围，通过各个配件的配合让两个移动推板始终和螺钉接触，避免主加热器脚板和底加热器脚板发生晃动，从而大大的提升装置的稳定性。
一种新型单晶炉热场加热器脚板

[实用新型]一种单晶炉加热装置和单晶炉-CN202220190193.1有效
发明人：吴文华;杨树荣;杨思琪;匡志宗;郑宇哲;王德涛;甫雨芊;刘锦章;胡永娇;杨开刚 -专利权人：保山隆基硅材料有限公司
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型公开一种单晶炉加热装置和单晶炉，涉及单晶炉技术领域，以解决现有技术第二发热环形状不均匀而容易断裂的问题。所述单晶炉加热装置包括用于套设在单晶炉的坩埚外部的发热环，发热环轴向方向的两侧分别为第一侧和第二侧；发热环由多个U形条沿圆周方向间隔排布连接而成，多个U形条的槽口端位于发热环的同一侧且平齐连接，相邻两个U形条之间形成间隔槽；U形条包括多个第一U形条和多个第二U形条，第一U形条和第二U形条的材质和导通截面均相同，第一U形条的高度大于第二U形条的高度。所述单晶炉包括上述技术方案所提的单晶炉加热装置。本实用新型提供的单晶炉加热装置用于对单晶炉的坩埚进行加热。
一种单晶炉加热装置

[发明专利]一种适用于提拉法的线圈可移动式温场结构与单晶生长方法-CN201910631648.1有效
发明人：丁雨憧 -专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请日： 2019-07-12 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于提拉法的线圈可移动式温场结构与单晶生长方法，温场结构包括由保温材料构成的生长腔室，在生长腔室内设有坩埚，在生长腔室外部环设有感应线圈，还包括后加热筒、支撑架和升降装置，后加热筒设置在生长腔室内并位于坩埚上方，后加热筒可在感应线圈作用下发热，支撑架设置在升降装置上，感应线圈放在支撑架上，升降装置通过支撑架可带动感应线圈升降。本发明通过移动感应线圈的相对位置来调节坩埚与后加热筒的发热量，既可以保证在晶体生长阶段能在固液界面处构置较大的温度梯度，又可以在降温阶段对晶体的头部和尾部同时进行热量补偿，减弱了晶体尾部与头部的温度差异，达到抑制晶体开裂的目的。
一种适用于提拉法线圈移动式结构生长方法

[发明专利]加热器组件和单晶炉-CN202210705520.7在审
发明人：毛勤虎 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种加热器组件和单晶炉，所述单晶炉包括炉体，所述炉体内设置有坩埚，所述坩埚的底部通过支撑结构支撑，所述支撑结构包括支撑轴，所述坩埚能够在所述支撑轴的带动下旋转，所述加热器组件包括：包覆在所述坩埚的外表面上的加热部，所述加热部能够与所述坩埚同步旋转，所述加热部包括多个连接电极；设置于所述支撑轴上的导电部，所述导电部包括与所述连接电极一一对应连接的多个环形导电件，以及与多个环形导电件一一对应连接的外接电极，所述连接电极可沿着所述环形导电件旋转，所述外接电极与外部电源连接。
加热器组件单晶炉

[发明专利]一种加热器和单晶炉-CN202210588892.6在审
发明人：杨文武 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司
申请日： 2022-05-26 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本发明提供一种加热器和单晶炉。所述加热器包括加热本体；所述加热本体呈碗状且底部具有开口；所述加热本体在周向上划分为第一加热区和第二加热区，第一加热区包括第一主加热区，第二加热区包括第二主加热区，第一主加热区和第二主加热区位于加热本体的轴向的不同高度。本发明实施例中，通过将加热本体的形状设置为与坩埚外形相适配的碗状，并且第一加热区包括的第一主加热区和第二加热区包括的第二主加热区位于加热本体的轴向的不同高度，即呈现出不对称性，从而有利于晶棒中心的轴向温度差与晶棒边缘的轴向温度差的差值变小，有利于无缺陷晶棒的生长，同时控制氧含量的有效析出，提高晶棒轴向和径向的氧含量均一性。
一种加热器单晶炉

[实用新型]一种新型中心对称底加热器-CN202220702590.2有效
发明人：郭嘉伟 -专利权人：乌海市京运通新材料科技有限公司
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型中心对称底加热器，包括加热器本体和两个电极，所述的加热器本体分别与两个电极连接，所述的加热器本体包括第一加热条、第二加热条及第三加热条，所述的第一加热条和第三加热条分别与一个电极连接，所述的第二加热条为两组加热条并联的结构形式，所述的第一加热条、第三加热条分别与第二加热条串联。本实用新型的优点在于：本技术方案解决了由于功率限制了电阻的范围从而导致发热区面积小的问题，通过采用串联、并联组合的形式构成加热器，串联可以使电阻达到最大的阻值，并联可以使电阻达到最小的阻值，从而解决了加热器发热区面积不足的问题。
一种新型中心对称加热器

[实用新型]一种可调式单晶炉石墨中轴盖-CN202220900448.9有效
发明人：赵永超;高尊庆;张成玖 -专利权人：山东祥烁新型材料有限公司
申请日： 2022-04-19 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本申请公开一种可调式单晶炉石墨中轴盖，包括：支撑机构和调节机构，所述支撑机构的底部与调节机构的顶部固定连接；所述调节机构包括丝杆，所述丝杆的底部固定连接有挡板，所述丝杆的外壁螺纹连接有活动板，所述活动板的顶部固定连接有内筒，所述内筒的外壁滑动连接有外筒，所述活动板的外壁固定连接有第一支撑杆，所述第一支撑杆的内部活动连接有第一固定杆，所述第一固定杆的外壁活动连接有第一电动推杆，所述第一支撑杆的内部固定连接有第二固定杆，所述第三固定杆的外壁固定连接有固定块。该可调式单晶炉石墨中轴盖，具备方便对中轴盖从炉体的顶部和内部压紧安装，提高压紧效果和中轴盖的密封性等优点。
一种调式单晶炉石墨中轴

[实用新型]一种加热器连接脚、加热器和单晶炉-CN202220007053.6有效
发明人：赵领航;成路;姚宏;段滨;杜路路;黄志鹏;高攀红;孙文强 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2022-01-04 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型公开一种加热器连接脚、加热器和单晶炉，涉及单晶制造设备技术领域，用于有效降低加热器连接脚生产过程中的废料产出，减少加热器连接脚库存的同时，避免整体更换加热器连接脚，节约成本。加热器连接脚包括第一连接部和第二连接部。第一连接部具有相对的第一端和第二端，第一端用于连接加热器的加热部。第二连接部具有相对的第三端和第四端，第三端用于连接电极，第二连接部的第四端与第一连接部的第二端分体组合连接，且第二连接部与第一连接部之间形成夹角α，0°＜α＜180°。加热器包括加热部和上述的加热器连接脚，加热器连接脚紧固连接于加热部。单晶炉包括保温筒和加热器，加热器套设在保温筒内。
一种加热器连接单晶炉

[发明专利]能够提高重掺磷低电阻整棒率的方法-CN202210460897.0在审
发明人：伊冉;徐慶晧;王黎光;闫龙 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种能够提高重掺磷低电阻整棒率的方法，包括：提供单晶炉；提供安装在上述单晶炉内的分体式加热器；在单晶拉制过程中，主加热器和辅助加热器以预设比例功率进行加热。采用主加热器和辅助加热器的上下分体结构、以及以上述预设比例功率进行加热的方法，在拉晶过程中随着坩埚逐渐抬升，通过辅助加热器的发热量来加大对坩埚内一边减少一边逐渐随坩埚逐渐抬升的熔体液面的辐射，更重要的是对固液界面附近的辐射，改善熔体对流，从而增大掺杂剂在硅熔体中的扩散，避免分凝作用产生的组分过冷现象，使晶体生长界面变得稳定，利于单晶生长,使拉晶的整棒率得以提升。
能够提高重掺磷低电阻整棒率方法

[实用新型]一种半导体单晶炉底部加热器安装防形变装置-CN202123436655.8有效
发明人：潘清跃;姜宏伟;李亚南;王维川 -专利权人：南京晶能半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体单晶炉底部加热器安装防形变装置，包括：具有两个应力缓冲槽的单晶炉底部加热器；所述单晶炉底部加热器包括加热板、两个腿部；加热板及腿部的顶面均设有螺纹孔，螺栓穿过加热板的螺纹孔与腿部的螺纹孔螺纹连接；加热板包括若干首尾相连的U形板；还包括横板、分别固定于横板两端底部的两过渡板、固定于过渡板底部的支撑件以及配合件；所述的底部支撑件插入的应力缓冲槽内，且底部支撑件的两侧面分别与应力缓冲槽的内侧面相接触；配合件贯穿横板和过渡板，将过渡板与单晶炉底部加热器顶面抵紧。本实用新型能够防止半导体单晶炉底部加热器在安装固定螺栓时产生变形，避免了对底部加热器的对中安装产生不利影响。
一种半导体单晶炉底部加热器安装形变装置

[实用新型]加热器和单晶炉-CN202220229646.7有效
发明人：郑贤君;何丽珠;白枭龙 -专利权人：晶科能源股份有限公司;浙江晶科能源有限公司
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了加热器和单晶炉，包括加热本体和电极腿；加热本体具有加热连接部，加热本体上开设有沿周向交替布设的上开槽和下开槽，上开槽和下开槽将加热本体分成多根依次串联的加热条，与加热连接部相连接的加热条为第一加热条，其余加热条为第二加热条，沿圆周方向第一加热条的宽度大于第二加热条的宽度；电极腿包括第一电极腿部和第二电极腿部，第二电极腿部包括第一子电极腿和第二子电极腿，第一子电极腿与第一电极腿部相连接，第一电极腿部与加热连接部相连接，第二电极腿部的横截面积大于第一电极腿部的横截面积，通过变截面式电极腿，能够在保证晶体正常生长的同时可以降低电极腿的功率损耗，从而达到降低成本的目的。
加热器单晶炉

[实用新型]加热器和单晶炉-CN202220232710.7有效
发明人：郑贤君;何丽珠;白枭龙 -专利权人：晶科能源股份有限公司;浙江晶科能源有限公司
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种加热器和单晶炉，加热器包括多个加热条、第一电极件和第二电极件；加热条包括依次串联的第一加热条、第二加热条、第三加热条、第四加热条和第五加热条，每个加热条均包括两个并联设置的子加热条，每个加热条中的两个子加热条的长度相等；沿第一电极件的延伸方向上，第一加热条、第二加热条和第三加热条依次排布，且第一加热条、第二加热条和第三加热条中的子加热条的长度逐渐降低，沿第一电极件的延伸方向上，第五加热条、第四加热条和第三加热条依次排布，且第五加热条、第四加热条和第三加热条中的子加热条的长度逐渐降低。通过调节加热条的长度可以实现温度梯度变化，改善热场，有利于降低晶棒氧含量。
加热器单晶炉

[实用新型]一种单晶炉用热场-CN202122514136.2有效
发明人：王培业;吴超慧 -专利权人：宇泽半导体（云南）有限公司
申请日： 2021-10-19 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉用热场，属于单晶生产设备技术领域。它包括上盖；保温筒，其连接于上盖下方，保温筒自上而下依次包括上保温筒、中保温筒和下保温筒，中保温筒和下保温筒外径相同；炉底，其连接于保温筒下方；保温筒内设有埚帮；中保温筒与埚帮间设有加热器圈；还包括中保支撑环，其设于中保温筒与下保温筒之间，中保支撑环的外侧壁直径与中保温筒外径相同，中保支撑环的内侧壁直径与加热器圈内径相同。本实用新型中保支撑环的结构设置能在单晶发生打火导致加热器脚断裂时，对掉落的加热器圈提供有效支撑，避免其掉落损坏及砸坏单晶其他热场，减少热场在事故中的损耗，增加热场的使用寿命，具有结构简单、设计合理、易于制造的优点。
一种单晶炉用热场

[实用新型]一种加热结构和加热器-CN202122348134.0有效
发明人：陈永国;周嘉浩;李维军;吉祥;王强 -专利权人：银川隆基硅材料有限公司
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型公开一种加热结构和加热器，涉及晶体生长技术领域，以解决晶棒中含氧量过高，影响电池片的光电转换效率的问题。沿加热结构的高度方向，加热结构具有相对的第一端和第二端。上述加热结构包括：第一发热件和第二发热件。第一发热件靠近加热结构的第一端，第二发热件靠近加热结构的第二端。第一发热件与第二发热件首尾连接，以围合形成第一端和第二端具有豁口的环形加热壁。本实用新型还提供了一种加热器，所述加热器包括脚板和上述技术方案所述的加热结构。
一种加热结构加热器

[发明专利]一种用于磷化铟晶体生产工艺中温场控制装置及方法-CN202210094550.9在审
发明人：潘功寰 -专利权人：苏州中砥半导体材料有限公司
申请日： 2022-01-26 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于磷化铟晶体生产工艺中温场控制装置及方法，包括反应炉体、温场控制组件以及冷热交换组件，所述反应炉体底部设置有旋转机构，所述旋转机构上配合连接有埚杆，所述埚杆的顶部固定连接坩埚，所述旋转机构能够带动所述坩埚旋转，所述坩埚的埚口处设置有导流盖，所述导流盖上端设置有籽晶杆，所述籽晶杆的底端贯穿所述导流盖与所述坩埚相连通，通过温场控制流道将反应炉体形成不同梯度的温场，通过温场间隔环将反应炉体分隔成高温熔融区与低温结晶区，高温熔融区用于熔解原料，低温结晶区用于晶体提拉生长，并且温场的温度逐步增加，使得制备单晶体结晶速度更快、生长周期短、成品率高。
一种用于磷化晶体生产工艺中温场控制装置方法