[发明专利]红外辐射热测量计

权利要求书

1.一种三层红外辐射热测量计，该辐射热测量计包括：

一有源矩阵层，该有源矩阵层包括一衬底和至少一对连接端子，其中该对连接端子形成于所述衬底的顶部；

一提供至少一对桥的支撑层，其中每个桥包括一导线，该导线的一端电连接至相应的连接端子；

一个吸收层，该吸收层包括一吸收器，一由该吸收器包围的辐射热测量元件，一位于该吸收器顶部的薄膜，以及一在该薄膜顶部形成的红外吸收器涂层，该红外吸收器涂层具有多个孔和粗糙的上表面；以及至少一对接线柱，每个接线柱位于所述吸收层和支撑层之间并且包括一由绝缘材料包围的电导管，所述吸收层的辐射热测量元件的每一端通过相应的电导管和相应的导线而电连接至相应的连接端子。

2.根据权利要求1的辐射热测量计，其中所述薄膜由钛制成，并且所述红外吸收器涂层由氮氧化硅(SiO_xN_y)制成。

3.根据权利要求1的辐射热测量计，其中每个桥设有一个簧片部分，腿部分和提升部分，所述簧片部分包括一通孔，通过该孔，所述导线的一端电连接至所述连接端子。

4.根据权利要求1的辐射热测量计，其中所述导线位于所述桥的顶部。

5.根据权利要求1的辐射热测量计，其中所述电导管的顶端被电连接至所述辐射热测量元件的一端，而该电导管的底端被电连接至所述导线的另一端。

6.根据权利要求1的辐射热测量计，其中所述导线、电导管和辐射热测量元件由相同的金属制成。

7.根据权利要求6的辐射热测量计，其中所述导线、电导管和辐射热测量元件由钛制成。