[发明专利]光学信息记录媒体及其制造方法

权利要求书

1.一种光学信息记录媒体，具有光学特性可逆变化的信息层、以GeXN和GeXON中选出的任一种为主要成分的含Ge层，其特征在于所述X由从下述元素中选出的至少一种元素构成：IIIa族元素、IVa族元素、Va族元素、VIa族元素、VIIa族元素、VIII族元素、Ib族元素、IIb族元素和C。

2.根据权利要求1的光学信息记录媒体，其特征在于含Ge层接在信息层的至少一面。

3.根据权利要求1的光学信息记录媒体，其特征在于含Ge层接在信息层的两面。

4.根据权利要求3的光学信息记录媒体，其特征在于信息层两面上的含Ge层中的X含有率不同。

5.根据权利要求3的光学信息记录媒体，其特征在于从信息层方向看，位于激光入射侧的含Ge层具有用(Ge_1-mX_m)_aO_bN_c(0＜m＜1、a＞0、b≥0、c＞0、a+b+c＝100)表示的组成；位于与所述激光入射侧相反的侧的含Ge层具有用(Ge_1-nX_n)_dO_eN_f(0＜n＜1、d＞0、e≥0、f＞0、d+e+f＝100)表示的组成；且满足m＜n的关系。

6.根据权利要求1的光学信息记录媒体，其特征在于含Ge层中的Ge和X的组成比用Ge_1-kX_k(0＜k≤0.5)表示。

7.根据权利要求1的光学信息记录媒体，其特征在于含Ge层中的(GeX)、O和N的组成比处在(GeX)、O、N三元组成图中的组成点A((GeX)_90.0O_0.0N_10.0)、B((GeX)_83.4O_13.3N₃₃)、C((GeX)_35.0O_0.0N_65.0)、D((GeX)_31.1O_55.1N_13.8)围成的范围内。

8.根据权利要求7的光学信息记录媒体，其特征在于含Ge层中包含的Ge和X的组成比用Ge_1-pX_P(0＜P≤0.5)表示。

9.根据权利要求1的光学信息记录媒体，其特征在于含Ge层的膜厚大于1nm。

10.根据权利要求1的光学信息记录媒体，其特征在于X包含从Cr、Mo和Mr中选出的至少一种元素。

11.根据权利要求1的光学信息记录媒体，其特征在于X包含从Ti、Zr、Nb和Ta中选出的至少一种元素。

12.根据权利要求1的光学信息记录媒体，其特征在于X包含从Fe、Co和Ni中选出的至少一种元素。

13.根据权利要求1的光学信息记录媒体，其特征在于X包含从Y和La中选出的至少一种元素。

14.根据权利要求1的光学信息记录媒体，其特征在于信息层是从Te、Se和Sb中选出的某一种元素为主要成分的相变材料。

15.根据权利要求1的光学信息记录媒体，其特征在于信息层是以Te、Sb和Ge三种元素为主要成分的相变材料。

16.一种光学信息记录媒体的制造方法，具有光学特性可逆变化的信息层的成膜步骤和以GeXN和GeXON中选出的某一种材料为主要成分的含Ge层的成膜步骤，其特征在于用至少含Ge和X的靶，在含有稀有气体和氮气的混合气体中，用反应性溅射法来制造所述含Ge层；其中所述X是从IIIa族元素、IVa族元素、Va族元素、VIa族元素、VIIa族元素、VII族元素、Ib族元素、IIb族元素和C中选出的至少一种元素。

17.根据权利要求16的光学信息记录媒体的制造方法，其特征在于混合气体还包含氧气。