[实用新型]除尘装置

权利要求书

1．一种除尘装置，其特征在于，它包括：一承载盘；一壳罩，具有一外表面及一内表面，所述外表面及内表面的交界位置形成一接合开口部，所述壳罩上形成一进气口及一排气口，所述壳罩藉由所述接合开口部以可分离方式覆盖于所述承载盘上而形成一封闭空间，所述封闭空间内收纳欲清洁的工件；一进/排气装置，分别连接于所述进气口与排气口，对所述封闭空间进行进气及排气动作，并在所述封闭空间内形成气流。

2．如权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，藉由排气动作，所述壳罩内部的气压值低于壳罩外部的气压，所述壳罩吸附于所述承载盘上，所述壳罩的内、外侧气密隔绝。

3．如权利要求1所述的除尘装置，其特征在于还包括一衬垫，设置于所述接合开口部。

4．如权利要求1所述的除尘装置，其特征在于还包括一具有数个穿孔的管路，其设置于所述壳罩内部，且连接所述进气口而将气体吹送至所述工件之上。

5．如权利要求4所述的除尘装置，其特征在于还包括数个软管，设置于所述管路的数个穿孔上，其以扭动来调整所述进气口的进气方向角度。

6．如权利要求1所述的除尘装置，其特征在于还包括：一传动装置；一导引装置，所述传动装置推动所述壳罩沿着所述导引装置移动而覆盖于所述承载盘上。

7．如权利要求1所述的除尘装置，其特征在于还包括一输送装置，运送所述承载盘。