[发明专利]抛光方法和抛光装置

说明书

本发明涉及一种湿式抛光方法，一种喷镀方法，一种工件抛光方法，一种工件抛光装置，一种筒式抛光装置，一种工件表面处理方法，一种筒式抛光装置的工件支承组件，以及一种抛光介质。特别是，对于喷镀方法，本发明适用于在工件抛光后进行喷镀的方法。此外，对于工件抛光装置，本发明适用于在工件抛光装置上安装抛光轮的方法。

第一个常规技术及其缺点：

常规湿式抛光方法的例子有：采用酸性抛光介质以提高抛光效率的方法和采用碱性抛光介质以光滑地抛光工件的方法。

然而，对于上述常规抛光方法，在类似前者常规抛光法中采用酸性抛光介质情形下，抛光效率可提高，但产生很难光滑抛光每个工件的缺点。另一方面，在类似后者常规抛光法中采用碱性抛光介质情形下，每个工件可光滑地抛光，但工件上的氧化膜或类似残留物难以除去。因而，出现很难用常规抛光方法来提高抛光效率的缺点。

第二个常规技术及其缺点：

在工件抛光后要进行喷镀操作的情形下，常规的镀层工艺是按照至今应用的以下方式之一来实施，至今应用的一个方法是：在完成干式抛光操作后进行喷镀，至今应用的另一个方法是：在完成湿式抛光操作后进行喷镀。

然而，对于前者常规抛光方法，由于采用干式抛光作为抛光手段，可缩短抛光时间，但工件的最后抛光面具有光洁度降低的较差表面粗糙度。因而，产生了需要增加喷镀层厚度的缺点。此外，对工件的每个喷镀操作，实际上难以提高工作效率。另一方面，对于后者常规抛光方法，由于采用湿式抛光作为抛光手段，在完成每个抛光操作后，常规抛光方法达到的表面粗糙度质量可改进提高。结果是喷镀厚度可减少，但完成每个抛光操作所需的时间不得不延长。由此，产生了与上述相同的缺点：对于每个抛光工件实际上难以提高喷镀达到的工作效率。

第三个常规技术及其缺点：

在常规的工件抛光方法中，有一种湿式抛光法是这样实施的：借助于抛光轮对工件作干抛光，然后工件的干抛光表面经受湿抛光。

然而，当采用上述常规抛光方法来抛光每个工件时，工件仅在酸性清洁液中作湿抛光。由此，产生较难去除工件表面上外来脏物的缺点，此外，由于在酸性清洁液中工件被大大强化，实际上难以从工件表面除去氧化膜。

第四个常规技术及其缺点：

采用常规湿式抛光法时，待抛光工件的表面采用抛光轮来作湿式抛光，同时在待抛光工件表面和转动抛光轮之间送进抛光液。

然而，当采用上述常规抛光方法时，在抛光操作中待抛光工件表面被氧化，在工件上易于形成氧化膜。由此，产生实际上难以提高每个抛光操作质量的缺点。

第五个常规技术及其缺点：

对于常规的工件抛光装置，如图3所示，一个固定的嵌入件530安放在抛光轮520内与轴510相配，一个紧固螺母540在抛光轮520外侧螺接，它可沿轴510移动，使抛光轮520紧固在轴510的前端部分。当保持该状态时，绕轴510的轴线转动抛光轮520，使工件W(例如，车辆之类所用的轮子)经受抛光。

然而，当采用上述常规抛光装置时，由于装在抛光轮520的轴510上的紧固螺母540沿轴510的前端部分移动，使轴510的前端部分伸出抛光轮520外表面一个距离，它等于紧固螺母540厚度加上紧固距离。由此，轴510的伸出部分成为用抛光轮520进行抛光操作的一种障碍。因此，产生难以提高抛光操作所达到的工作效率的缺点。特另是，当一对抛光轮520相互相对地装在轴510上，使单个工件W经受如图3的抛光时将产生的缺点是：自抛光轮520伸出的轴510的前端部分成为阻止抛光轮520移动的一种障碍，造成对工件W中心部分进行每个抛光操作(工件W绕每个轴510的轴线的转动操作)有一定难度。

此外，对于以上述方式构成的常规抛光装置，由于抛光轮520以内表面作为基准固定安装在轴510上，随着每个抛光轮520的厚度不同，抛光轮520前端表面呈现的位置将引起改变。由此将产生的缺点是：实际上难以确定相对于工件W的每个抛光轮520呈现的位置。

第六个常规技术及其缺点：

对于常规的筒式抛光装置，每个工件经受抛光时，使抛光介质流入抛光介质容纳器，而工件安放在抛光介质容纳器中。