[实用新型]宽域高真空强力油蒸汽流泵

说明书

本实用新型是一种真空获得设备，特别是一种宽域高真空强力油蒸汽流泵，包括油扩散泵和油增压泵。

现在已有的高真空油蒸汽流泵中，一般选用直筒式、锥形泵壳或四段凸腔式泵壳，泵芯选用三级或四级喷嘴，扩压道皆为圆形截面，功率是固定不变的。这种油蒸汽流泵由于结构所限，只能在较窄的工作压力范围内具有抽气能力，油扩散泵的工作压力范围仅在3×10^-3-7×10^-2Pa，而油增压泵的工作压力仅在1.3×10^-1-1.3Pa。因此，其应用范围受到限制，在生产使用中效率较低，影响产品质量的提高，增加前级泵的容量，耗能较大，从而影响真空工业的发展。

本实用新型的目的是提供一种新型的宽域高真空油蒸汽流泵，它可以克服现有技术中所存在的缺点，在较宽工作压力范围内具有较大的抽气能力，从而提高工作效率，提高产品的质量。

本实用新型的目的是这样实现的：它包括锅炉、泵体、喷嘴、扩压道，其特征是泵体采用三段凸腔式，锅炉的蒸发面积大于主泵体进气口的面积，喷嘴至少选用五级，锅炉内设有由分馏环或由分馏环与分馏板组成的分馏装置。

另外，本实用新型的扩压道可以选用扁形截面，其中包括扁圆形、矩形及多边扁形，在扩压道内的喷射喷嘴由多个小喷嘴组成；主泵体与锅炉为分体式，锅炉的加热功率为可调式。

本实用新型由于采用了以上的结构，所以使高真空油扩散泵除保持原有的全部性能之外，在1.3×10^-1Pa有较大的抽速，在1.3×10^-1-1.3Pa间仍有稳定的可测抽速，使油增压泵在基本保持全部原有性能的基础上，其极限压力可达到1.3×10^-3Pa左右，此外，由于采用了上述结构，提高了抽速和极限真空度，也大大地提高了热效率，缩短了加热时间，节省了能源，提高了工作效率。

下面结合实施例及其附图对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型的一种具体实施例的结构示意图。

图2是图1中的A向视图。

图3是图1中的分馏装置的俯视图。

如图1所示，本实施例的主泵体采用凸腔式结构，由图中1、2、3三段组成，锅炉4与泵体之间通过法兰相联，并装有绝热耐高温密封圈5，由图可见，锅炉的蒸发面积大于泵入口的面积，本实施例中的喷嘴选用六级，其中包括四级伞形喷嘴6和两级喷射喷嘴7，扩压道8的截面形状如图2所示，采用扁圆形，在扩压道中的喷嘴由三个小喷嘴组成，锅炉中的分馏装置如图3所示，它包括分馏环9和分馏板10，锅炉中加热器的功率可以采用分流的方式或者其它通用的方式进行功率的改变，以便在主泵正常工作时减小加热器的功率，以节省能源。图中11是油蒸汽流泵的中间体。