[发明专利]臭氧发生方法和臭氧发生装置

权利要求书

1.一种臭氧发生方法，其特征在于：它由氧原子发生工序和臭氧发生工序组成；氧原子发生工序是，采用非平衡放电或热等离子体，在低于1.01325×10⁵(Pa)的预定低压力下使被供给来的氧气分解，生成含有氧原子的第1气体；臭氧发生工序是使在该氧原子发生工序中生成的含有氧原子的上述第1气体与含有氧的第2气体混合，在非放电条件下使它们反应而生成臭氧。

2.如权利要求1所述的臭氧发生方法，其特征在于：第2气体采用的是空气。

3.如权利要求1或2所述的臭氧发生方法，其特征在于：在氧原子发生工序中使氧气分解的措施采用的是非平衡放电。

4.如权利要求1或2所述的臭氧发生方法，其特征在于：在氧原子发生工序中使氧气分解的措施采用的是热等离子体，在臭氧发生工序的第1气体与第2气体混合过程中冷却该混合气体。

5.一种臭氧发生装置，其特征在于：备有氧原子发生部、减压供给机构和臭氧生成室；氧原子发生部在低于1.01325×10⁵(Pa)的预定低压力下使被供给的氧气分解，生成含有氧原子的第1气体；减压供给机构包括注入被加压的第2气体的注入口、喷射由该注入口注入的上述第2气体的喷咀、以及减压室；在该减压室中，通过由上述喷咀喷射出上述第2气体而被减压，由此，将上述氧原子发生部内的压力减压至1.01325×10⁵帕斯卡以下的上述设定的低压力，同时，使上述第1气体维持在减压状态，进行输送；

上述生成室与上述喷嘴相隔一定的空隙，从设在上述喷嘴和上述空隙的附近的上述减压室输送来的上述第1气体和上述第2气体组成混合气体，使该混合气体在非放电下发生反应，生成臭氧。

6.如权利要求5所述的臭氧发生装置，其特征在于：氧原子发生部内的氧气分解装置是非平衡放电装置。

7.如权利要求6所述的臭氧发生装置，其特征在于：非平衡放电装置是辉光放电装置。

8.如权利要求6所述的臭氧发生装置，其特征在于：非平衡放电装置是无声放电装置。

9.如权利要求6所述的臭氧发生装置，其特征在于：非平衡放电装置是微波放电装置。

10.如权利要求5所述的臭氧发生装置，其特征在于：氧原子发生部的氧气分解装置是热等离子体发生装置，在臭氧生成室的第1气体与第2气体混合过程中冷却该混合气体。

11.如权利要求1所述的臭氧发生方法，其特征在于：将臭氧发生工序分为若干次工序，在被加压供给的含有氧的第2气体中，添加第1气体生成臭氧，将上述若干次工序中生成的臭氧累积起来。

12.如权利要求5所述的臭氧发生装置，其特征在于：分别具有减压供给机构和臭氧生成室的多个臭氧发生部串联地配设，把含有在前一级臭氧发生部生成的臭氧的第3气体顺次送到后一级臭氧发生部，使在各臭氧发生部生成的臭氧累积起来。

13.如权利要求12所述的臭氧发生装置，其特征在于：若干个臭氧发生部将各自对应的各减压供给机构的减压室作为氧原子发生部使用，形成为包括氧原子发生部和减压供给机构的一体化构造。

14.如权利要求5所述的臭氧发生装置，其特征在于：臭氧发生部具有在第2气体流动方向上隔开预定距离设置的若干排孔，减压供给机构将第1气体保持在减压状态地从该若干排孔供给到臭氧发生部。