[发明专利]氢焰炬

权利要求书

1.一种将两种反应流体混合起来的流体输送系统，其特征在于包括内部流体输送管和外部流体输送管，其中：

a)外管由第一种材料构成，以及

b)内管由第二种材料构成。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于所述外管基本上由第一种材料组成。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于第一种材料为陶瓷材料。

4.如权利要求2所述的系统，其特征在于第一种材料为玻璃。

5.如权利要求2所述的系统，其特征在于第一种材料为熔融石英。

6.如权利要求1所述的系统，其特征在于内管由碳化硅构成。

7.如权利要求1所述的系统，其特征在于内管基本上由碳化硅组成。

8.如权利要求1所述的系统，其特征在于外管为熔融石英而内管包含碳化硅。

9.如权利要求1所述的系统，其特征在于流体输送系统为氢焰炬。

10.如权利要求6所述的系统，其特征在于流体输送系统为氢焰炬。

11.如权利要求8所述的系统，其特征在于流体输送系统为氢焰炬。

12.如权利要求11所述的氢焰炬，其特征在于内管基本上由碳化硅组成。

13.如权利要求9所述的氢焰炬，其特征在于内管基本上由硅浸渍高纯碳化硅、高纯氮化硅、整块CVD碳化硅和CVD碳化硅涂层的高纯碳化硅中的一种材料组成。

14.如权利要求9所述的氢焰炬，其特征在于内管带有第一和第二端口，并且进一步包括与内管第一端口流体连通的第三管。

15.如权利要求14所述的氢焰炬，其特征在于所述第三管为石英管。

16.如权利要求14所述的氢焰炬，其特征在于内管的第一端口带有接头，所述接头可以是球形、插口、圆锥和法兰中的一种。

17.如权利要求14所述的氢焰炬，其特征在于采用逆向球形接头实现流体连通。

18.如权利要求17所述的氢焰炬，其特征在于外管带有第一和第二端口，外管的第一端口与内管第一端口的密封连接，而外管的第二端口适于与工艺管构成流体连通。

19.如权利要求18所述的氢焰炬，其特征在于外管带有第一流体入口而第二石英管带有第二流体入口。

20.如权利要求11所述的氢焰炬，其特征在于内管由陶瓷基体材料和其上的涂层构成。

21.如权利要求20所述的氢焰炬，其特征在于涂层选自氮化硅和碳化硅中的一种。

22.如权利要求20所述的氢焰炬，其特征在于涂层选自氮化硅和氮氧化硅中的一种。

23.一种逆向球形接头，其特征在于包括：

a)第一部件，它包括：

i)带有第一端口的第一管，和

ii)由第一端口向外开口的第一空心半球凸起，以及

b)第二部件，它包括：

i)具有第一端口的第二管，和

ii)由第二管的第一端口56向外开口的第二空心半球凸起，

所述第二管的直径大于第一管并基本上与其同心，第一管装配在第二管内从而使第一凸起的凸面与第二凸起的凹面形成合适的密封配合。

24.如权利要求23所述的逆向球形接头，其特征在于第一和第二部件由不同的材料构成。

25.如权利要求23所述的逆向球形接头，其特征在于第一部件由碳化硅构成。

26.如权利要求23所述的逆向球形接头，其特征在于第二部件由石英构成。

27.如权利要求25所述的逆向球形接头，其特征在于第一基本上由硅化碳化硅组成。

28.如权利要求26所述的逆向球形接头，其特征在于第二部件基本上由石英组成。

29.如权利要求23所述的逆向球形接头，其特征在于第一基本上由硅化碳化硅组成而第二部件基本上由石英组成组成。