[发明专利]多功能激光干涉仪

权利要求书

1.一种多功能激光干涉仪，包括由激光系统构成的超短脉冲发射光源(1)发射的基础光束，由扩束器(3)扩束后，入射到微分时间延迟器(4)上，由微分时间延迟器(4)输出的光束经过聚焦系统(5)后，有分束分成两束光路A和B，在A光路上置有转换元件(7)，在B光路上置有补偿元件(11)，最后有接收处理显示系统(8)，其特征在于置于超短脉冲发射光源(1)与扩束器(3)之间有双脉冲形成装置(2)；在聚焦系统(5)与接收处理显示系统(8)之间是干涉系统(6)，置有转换元件(7)的A光路是干涉系统(6)的一个臂，置有补偿元件(11)的B光路是干涉系统(6)的另一个臂；被测量信号由同步装置(10)控制经被测信号接口(9)加于转换元件(7)上；转换元件(7)接收被测量信号后由折射率变化导致干涉系统(6)的一个臂光程变化，引起干涉条纹产生波动，最后接收处理显示系统(8)显示的波动波形是被测量信号随时间变化的波形。

2.依照权利要求1所述的一种多功能激光干涉仪，其特征在于干涉系统(6)是马赫干涉仪，或者是迈克尔逊干涉仪，或者是剪切干涉仪。

3.依照权利要求1所述的一种多功能激光干涉仪，其特征在于超短脉冲发射光源(1)的激光系统是一锁模激光器带单脉冲选择器，或者是一同步泵浦的染料激光器，或者是带有脉冲压缩装置和激光放大系统的激光系统。

4.依照权利要求1所述的一种多功能激光干涉仪，其特征在于微分时间延迟器(4)是衍射光栅，或者是阶梯光栅，或者是色散棱镜。

5.依照权利要求1所述的一种多功能激光干涉仪，其特征在于置于超短脉冲发射光源(1)和扩束器(3)之间的双脉冲形成装置(2)是由两块半透反射镜和一直角棱镜所构成。