[发明专利]在有机聚合物膜上形成图案的方法

权利要求书

1.一种在有机聚合物膜上形成图案的方法，其特征在于，它包括以下步骤：

(a)在基片上施加一层包含有机聚合粘合剂(a1)、烯属不饱和单体(a2)和光引发体系(a3)的未形成图案的感光性的第一层；

(b)在感光性的第一层上施加形成图案的第二层，它包含防止光化射线通过的对射线不透明材料(b1)和能改变感光材料在预定的冲洗液中的分散能力的扩散剂(b2)；

(c)将感光性的第一层暴露于光化射线中，使该感光性的第一层中那些未被形成图案的第二层覆盖的部分发生光固化；

(d)使扩散剂按图案扩散到埋于其下的感光性的第一层中；和

(e)用预定的冲洗剂洗涤，除去感光性的第一层中的在该冲洗剂中可分散的部分；步骤(c)是在步骤(d)之前、之后或同时进行的。

2.如权利要求1的方法，其特征在于，其中扩散剂(b2)是能增大有机聚合粘合剂(a1)的塑性的增塑剂。

3.如权利要求1的方法，其特征在于，其中有机聚合粘合剂(a1)含酸基团，扩散剂(b2)是碱。

4.如权利要求3的方法，其特征在于，其中有机聚合粘合剂是烯属不饱和酸的共聚物而所述的碱是胺类，烯属不饱和酸含量为共聚物重量的至少10％。

5.如权利要求4的方法，其特征在于，其中烯属不饱和酸选自丙烯酸和甲基丙烯酸。

6.如权利要求1的方法，其特征在于，其中有机聚合粘合剂(a1)包括可酸降解的基团，扩散剂(b2)是酸。

7.如权利要求1的方法，其特征在于，其中扩散剂(b2)是能分散有机聚合粘合剂(a1)的洗涤剂。

8.如权利要求1的方法，其特征在于，其中扩散剂(b2)是使有机粘合剂(a1)分解的催化剂。

9.如权利要求1的方法，其特征在于，其中对射线不透明材料(b1)是颜料。

10.如权利要求1的方法，其特征在于，步骤(d)是通过加热所述的层实现的。

11.如权利要求1的方法，其特征在于，其中步骤(e)是通过用一种溶剂洗涤所述各层来实现的，该溶剂既能分散(i)埋在下面的感光性的第一层中扩散剂已扩散进入的区域，也能分散(ii)形成图案的第二层，洗涤时可同时除去形成图案的第二层和埋在下面的感光性的第一层中已形成图案的区域。

12.如权利要求1的方法，其特征在于，其中感光性的第一层还包括电子功能固体的细分颗粒(a4)。

13.如权利要求12的方法，它还包括步骤：

(f)加热基片和经过步骤(e)而余下的第一层中的聚合的区域至足以使有机组分挥发和使无机组分烧结的温度。

14.如权利要求13的方法，其特征在于，其中感光性的第一层还包括软化点在550到750℃的无机粘合剂的细分颗粒(a5)。

15.如权利要求14的方法，其特征在于，其中感光层以薄膜的形式施加到基片上，细分颗粒(a4)和细份颗粒(a5)的总量对有机聚合粘合剂(a1)、不饱和单体(a2)和光引发剂(a3)的总量之重量比为2.0到6.0。

16.如权利要求14的方法，其特征在于，其中感光层以厚膜糊的形式施加到基片上，细分颗粒(a4)和细份颗粒(a5)的总量对有机聚合粘合剂(a1)、不饱和单体(a2)和光引发剂(a3)的总量之重量比为为1.0到9.0。

17.如权利要求1的方法，其特征在于，其中形成图案的第二层还包括细分的无机固体(b3)。

18.如权利要求17的方法，其特征在于，其中无机固体是氧化铝。