[其他]镜面平整度测试仪

权利要求书

1、一种测量物体表面轮廓高差的莫尔轮廓测量装置，其特征在于它具有面光源、带有间隙基准的光栅[5]、测量台[4]及成象系统。

2、根据权利要求1所述的一种测量物体表面轮廓高差的莫尔轮廓测量装置，其特征在于所说的面光源是普通的光源〔1〕和透射的乳白色（或有色）玻璃〔3〕；或是普通光源〔11〕及漫反射表面〔2〕。

3、根据权利要求1所述的一种测量物体表面轮廓高差的莫尔轮廓测量装置，其特征在于所说的带有间隙基准的光栅〔5〕，在其光栅栅线的待测区域外缘，无光栅栅线的一侧面涂上一层反射膜；或在光栅栅线的一侧面粘上一层等厚的玻璃，然后在此玻璃的待测区域外缘涂上一层反射薄膜；或在光栅栅线的待测区域粘上三块等厚的支承小块。

4、根据权利要求1所述的一种测量物体表面轮廓高差的莫尔轮廓测量装置，其特征在于所说的测量台〔4〕上，在光栅栅线面的待测区域外端安置三个可微调并能锁紧的支承凸缘。

5、根据权利要求1所述的一种测量物体表面轮廓高差的莫尔轮廓测量装置，其特征在于所说的成象系统，在其目镜分划板〔7〕上刻有作为测量基准的一簇平行线；或在光路中安置的分划板上刻有一簇作为测量基准的平行线。