[其他]高温过程的低辐射薄膜

权利要求书

1、一种透射性好，辐射性低的能导电加热的制品组成如下：

a.透明的非金属的衬底；

b.由氧化锌沉积在上述衬底表面组成的第一个透明的抗反射金属氧化物薄膜；

c.一种沉积在上述抗反射氧化锌层上面的透明的，红外线反射金属薄膜；

d.一种沉积在上述红外线反射金属膜上面的含金属的底涂层，其中的金属选自钛、锆、铬、锌/锡合金以及它们的混合物；

e.第二个透明的抗反射膜，由沉积在上述含金属底涂层上的氧化锌组成。

2、按照权利要求1的一种制品，其中衬底是玻璃。

3、按照权利要求2的一种制品，其中反射金属膜是银。

4、权利要求3的制品，其中的金属氧化物含由含锌和锡的合金氧化的产物。

5、按照权利要求1的一种制品，其中的底涂料膜含钛。

6、按照权利要求1的一种制品，在上述的第一透明抗反射膜和透明红外线反射金属膜之间还进一步包含一个附加的底涂层。

7、按照权利要求1的一种制品，其中在第一抗反射金属氧化膜上还沉积有含金属的保护层。

8、一种沉积耐高温薄膜的方法，包括的步骤如下：

a.在一种含氧的活性气氛中，溅射一个含锌阴极靶，在衬底的表面上沉积第一层含锌氧化物膜;

b.溅射一个反射金属膜覆盖住上述金属氧化物层;

c.溅射一个含金属的底涂层覆盖在上述反射金属膜上面，这里所说的底涂层金属选自钛，锆，铬，锌/锡合金以及它们的混合物;

d.溅射第二个含锌氧化物膜覆盖在上述底涂层上面。

9、按照权利要求8的一种方法，其中的衬底是玻璃。

10、按权利要求9的方法，其中的金属氧化物膜含有锌和锡的合金的氧化物。

11、按权利要求10的方法，其中的底层含钛。

12、按权利要求8的方法，其中还包括在第二层合金氧化物膜上沉积含金属的保护沉积层。

13、按权利要求8的方法，其中包括使得到的多层涂层制品经高温加工的步骤，由此增加涂层的透明性。

14、按权利要求13的方法，其中所说的高温加工还将涂层制品层压到另一透明板上，涂层在中间，以形成无彩色、导电、可加热的涂层透明制品。

15、制造一种多层低辐射涂层产品的方法，包括的步骤如下：

a.把一种透明的非金属衬底放到溅射室中;

b.在一种含氧的活性气氛中溅射含锌/锡合金的阴极靶，在上述衬底表面上沉积一种透明的金属合金氧化物薄膜;

c.溅射一种钛靶，在上述的氧化膜上沉积一种底涂层;

d.在一种惰性气氛中溅射一种银阴极靶，在上述底层上沉积一种透明银膜;

e溅射钛靶，在上银膜上沉积第二底层;

f.在一种含氧的活性气氛中，溅射锌锡合金阴极靶，在上述底涂层上沉积一层氧化物膜。

16、按照权利要求15的方法，其中衬底是玻璃。

17、按照权利要求16的方法，其中还包括在第二层金属氧化物膜上沉积含金属的保护层。

18、按照权利要求17的方法，其中的底层涂层含钛。