[其他]枪式磁控溅射源

权利要求书

1、一种枪式磁控溅射源，由磁场源、阴极靶、中心阳极、屏蔽罩及水冷器构成，其特征在于：

-磁场源由环形磁钢12、环形上极靴9及环形下极靴13构成;

-阴极靶4为等厚盘状，设置于中心阳极的上部并与上极靴9相接;

-中心阳极用导磁材料制成，分为阳极头1和阳极体3，其上设置有气体通道;

-水冷器设置于磁钢12与中心阳极之间。

2、按照权利要求1所述的磁控溅射源，其特征在于：所述的阳极头1上开有多个斜向孔和一个轴向通孔，所述的阳极体3上端设有水冷槽、轴心处开有一个上部设有内螺纹下部设有辐向孔的中心通孔，阳极头1和阳极体3通过一个在螺纹处开有两个竖向凹槽的螺钉2相连接。

3、按照权利要求1和2所述的磁控溅射源，其特征在于：工作气体自进气管5引入阳极体3的中心通孔内，其一部份通过螺钉2的凹槽和阳极头1的斜向孔喷出，另一部份通过阳极体3下部若干个辐向孔后，分别由中心阳极外侧间隙和屏蔽罩6内侧间隙从阴极靶4内侧和四周喷向靶面。

4、按照权利要求1所述的磁控溅射源，其特征在于：冷却水通过铜质的进水管7进入由一个铜质的外胆8、上极靴9、一个同阴极靶4的外侧和底部相接触的铜质的内胆10构成的水冷套，自铜质的出水管11引出。

5、按照权利要求1所述的磁控溅射源，其特征在于：所述的上极靴9在其内圆处开有环形沉隔。

6、按照权利要求1所述的磁控溅射源，其特征在于：当移去阳极头1和螺钉2时，可放置一个没有内孔的等厚的圆形阴极靶4′。