[其他]阶梯衬底内条形激光器无效

专利信息
申请号: 87103851 申请日: 1987-05-24
公开(公告)号: CN87103851A 公开(公告)日: 1988-12-14
发明(设计)人: 杜国同 申请(专利权)人: 吉林大学
主分类号: H01S3/19 分类号: H01S3/19
代理公司: 吉林大学专利事务所 代理人: 崔丽娟
地址: 吉林省*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 阶梯 衬底 条形 激光器
【权利要求书】:

1、一种内条形半导体双异质结激光器,其特征在于电流隔离层和双异质结构一次液相外延完成生长,电流通路在外延生长过程中自然形成。

2、一种按照权项1所述的激光器,其特征在于外延前衬底腐蚀成倒梯形阶梯。

3、一种按照权项2所述的激光器,其特征在于采用P型GaAs衬底,电流隔离层只需生长0.5~1μm。

4、一种按照权项3所述的激光器,其特征在于电流隔离层生长时要控制0~6℃过冷度,生长时很短(1~15秒)。

5、一种按照权项3、4所述的激光器,其特征在于有源区生长成含Al的AlyGa1-yAs材料,y值可在0.05~0.3之间变化,上下限制层的Al含量x值也适当提高。

6、一种按照权项1所述的激光器,其特征在于外延前衬底腐蚀成倒梯形窄台阶。

7、一种按照权项1所述的激光器,其特征在于外延前衬底分段腐蚀成倒梯形阶梯和窄台阶。

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