[其他]机加光电工艺

说明书

1、机加光电工艺属电真空工艺。

2、光刻、玻璃模版溅靶电镀或拷贝电镀工艺对此工艺进行理解，检索，审查有参考作用。如1951年的2805986号专利和以后的2529086号专利。

3、本工艺的目的：

用精密机械加工，光电，化学等工艺和一般的物质条件代替必须有高精密照像制版机和高精密长线条玻璃刻线机以及其整一套高物质条件的光刻和玻璃模版溅靶电镀或拷贝电镀工艺制取电子束管一系列各种不同面积、线数、透明度和金属的方孔靶网。

4、发明的内容：

1）原理：用精密机械加工两支螺杆，平行装成方框架，将丝绕进道道螺纹制成直线丝架，拷贝制出方孔底版代光刻工艺的照像制底版和玻璃模版溅靶电镀工艺的刻制玻璃模版;用拷贝电镀工艺制网代光刻工艺的晒象腐蚀制网和玻璃模版溅靶电镀制网。并用螺纹的道数和两次曝光时用平行移位模调整距离使线数倍增来控制线数;用螺杆的长度来控制面积，用丝料的直径控制线条的粗细和网的透明度。用电镀不同的金属控制金属。则可制出各种不同线数、透明度、面积和金属的方孔靶网。

2）工艺：

（1）精密机械加工两支一级精度，100线/cm，140cm长的不锈钢螺杆，使其平行装成正方形框架。螺纹的深度使丝绕好后约有三分之一在螺纹外。如示意图。

（2）选择眼力好、细心，耐心和有事业心的人，在适当强而柔和的灯光下，固定稳丝料，试验训练将12μ金属丝绕进道道螺纹，制成直线丝架。

（3）在细微粒罗甸干片上用直线丝架拷贝，将100W的灯泡装上长圆形筒，距离约2～3米，曝光约5分钟，制成直线底版。

（4）用直线底版和同样干片，两次正交曝光，拷贝制成方孔底版。

（5）同样干片和直线底版，在两次曝光时用平行移位模调整线间距离，使线数成倍增加，以提高线数。

（6）罗甸干片的制取：

①选用特选平玻璃，切成所需大小的正方形。

②洗净后在带水的情况下，用1%的蛋白液上一层极薄的蛋白，凉干。

③在蛋白片上涂上一层碘化棉胶液。其配方是：在1.5%的白罗甸100毫升中加6～8毫升的由碘化镉18.76克;碘化铵8.54克;溴化铵3.2克;蒸馏水33毫升;酒精200毫升配成的红碘液。

④待胶液半干时，浸入10%的硝酸银液中，待光敏层（卤素银盐）均匀后取出。

⑤在自来水中冲100～120分钟。

⑥用蒸馏水洗后，再于蒸馏水中浸3分钟。

⑦在用丹柠酸100克;柠檬酸5克;蒸馏水1000毫升配成的增感液浸3分钟。取出在空气中凉干，即成罗甸干片。

（7）拷贝电镀：

①如（3）用罗甸干片及方孔底版曝光。

②用1分1%的硝酸银液加3分由柠檬酸0.5克;对苯二酚10克;蒸馏水100毫升配成的溶液的显影液显影。

③在一般的硫代硫酸钠液中定影。

④如需要加厚、用显影液加厚。

⑤需要减薄，用3分25%的硫代硫酸液加1分25%的铁氰化钾液，再加4分蒸馏水的减薄液。

⑥将拷贝出的方孔网线版，检查线条合格，导电性能好后，装好导电性能好的挂具，在一般和脉冲或反向电镀槽内进行电镀，得网。

5、发明与已有工艺相比的优点及积极效果：

1）本工艺比光刻和玻璃模溅靶电镀或拷贝电镀工艺都简短。只要加工成一个直线丝架就能拷贝出大生产所需的大量底版;除加工丝架外，全部工艺只有拷贝和拷贝电镀;只要有合格底版，15～30分钟就能拷贝电镀出一片网。这比光刻有了合格底版晒象腐蚀网和有玻璃模版后溅靶电镀网都能缩短1～多倍时间。

2）本工艺制直线丝架不需要如光刻和玻璃模版溅靶电镀所需的大面积恒温湿，高真空卫生的工作间，也不需要专门的高精密机器，和其整一套附属设备及其所需的昂贵优质的金属箔或光学玻璃，金刚石刀具及其磨料等。只要委托精密机械加工部门加工一个框架。用手工绕上丝，在一般的暗房和电镀间，搞好真空卫生，用一般的化工和金属材料就能出与已有工艺相同的产品-网。这不但适合大生产，尤其适合物质条件差的单位生产。

3）光刻工艺由于照像制底的放大图或模型不易精密，照像时又易失真和招灰，腐蚀工艺又不易控制质量，成品率最低。玻璃模版刻制工艺长，成品率约为45%左右。一块玻璃模版溅靶电镀100次左右就得报废，而且所出的网也有一定的报废。本工艺制的原大直线丝架比放大图和模型都精密，拷贝又不易失真和招灰，故制出的底版质量高。同理拷贝电镀网的质量也高。