[其他]光接收元件

权利要求书

1、一种光接收元件，其特征在于，该元件包括基片和光接收层，该光接收层具有由含硅原子和锗原子或锡原子中至少一种的非晶材料组成的光敏层，以及一个表面层，该表面层为多层结构，至少具有最外层的防磨层和内部的防反射层，所说的基片具有由球形凹痕形成的不平面，每个球形凹痕都具有内面，内面上有更微小的不平面。

2、权利要求1定义的光接收元件，其中表面层由含硅原子和氧原子、碳原子、氮原子中的至少一种的非晶材料构成。

3、权利要求1定义的光接收元件，其中表面层由无机氟化物、无机氧化物、无机硫化物中的至少一种组成。

4、权利要求1定义的光接收元件，其中光敏层含氧原子、碳原子、氮原子中的至少一种。

5、权利要求1定义的光接收元件，其中光敏层含控制电导率物质。

6、权利要求1定义的光接收元件，其中光敏层是多层结构。

7、权利要求4定义的光接收元件，其中光敏层有电荷注入抑制层作为其若干构层中的一层，该电荷注入抑制层含控制电导率物质。

8、权利要求4定义的光接收元件，其中光敏层有一阻挡层，作为其若干构层中的一层。

9、权利要求1定义的光接收元件，其中基片上的不平面由许多具有相同曲率半径的球形凹痕组成。

10、如权利要求1所定义的光接收元件，其中基底上的不平面是由许多具有相同曲率半径和相同宽度的球形凹痕构成的。

11、如权利要求1所定义的光接收元件，其中基底上的不平面是由许多具有更微小的不平面的刚球自由地下落在基底表面上形成的。

12、如权利要求11所定义的光接收元件，其中基底上的不平面是由许多直径几乎相同的刚球从几乎相同的高度自由地下落在基底表面上形成的。

13、如权利要求1所定义的光接收元件，其中球形凹痕的曲率半径R和宽度D满足下式：

0.035≤ (D)/(R) ≤0.5

14、如权利要求13所定义的光接收元件，其中球形凹痕的宽度D满足下式：

D≤0.5mm

15、如权利要求1所定义的光接收元件，其中更微小的不平面的高度h满足下式：

0.5μm≤h≤20μm

16、如权利要求1所定义的光接收元件，其中基底是一个金属件。