[其他]用恒温直线电机驱动的位移控制装置

权利要求书

1、一种用直线电机驱动的可调速直线位移控制装置，其特征是直线电机内带有恒温控制装置，并具有测速反馈，位置检测控制，电磁制动定位。

2、如权利要求项1规定的直线位移控制装置，其特征是所说的恒温控制装置是采用把制冷元件嵌入直线电机的转子，定子的附近，来冷却电机与导轨，并装有温度检测元件，通过反馈来进行恒温控制。

3、如权利要求项1或2规定的直线位移控制装置，其特征是所说的直线电机是一种同时带有测速绕组，并利用位置检测信号控制换向的多极无电刷直流直线电机。

4、如权利要求项1或2规定的直线位移控制装置，其特征是所说的直线电机是一种由直流直线电机和微进给直线步进电机组合在一起的直流与微步进的组合式直线电机，利用直流直线电机进行快慢速进给，利用微进给直线步进电机进行微量进给，其中微进给直线步进电机可以是利用压电陶瓷的磁致伸缩原理制成，其中直流直线电机是同时带有测速绕组并利用位置检测信号控制换向的多极无电刷直流直线电机。

5、如权利要求项1至4任一个规定的直线位移控制装置，其特征是其中的移动导轨是一种利用直线电机的定子，转子兼作导轨副的磁垫导轨，并且气隙间装有间隙测量元件，通过反馈来控制直线电机的励磁电流来获得平衡的气隙。

6、如权利要求项1至5任一个规定的直线位移控制装置，其特征是通过位置检测元件检测到的位移信号，必须通过电子线路进一步细分，以提高分辨率，同时利用微型计算机的软件控制，设定多点进行定点补偿，以提高检测精度。