[其他]光导纤维母材的制造装置

说明书

本发明涉及内附CVD方式的光导纤维母材的制造装置。

光导纤维母材的制造装置之一为传统的内附CVD（以下称为MCVD）法。该方法是，向旋转的反应管内供应玻璃原料，并通过在上述反应管的轴向作往复运动的喷灯等加热器对它进行加热，使上述玻璃原料在反应管内堆积，形成所希望的折射率分布。

然而，该传统的MCVD法有如下的缺点。这就是，由石英管等构成的上述反应管一旦被加热器加热而软化，即会由于自身的表面张力而逐渐收缩，其结果便存在不能在反应管的内面形成所需厚度的均匀的玻璃堆积层，或由于上述的软化使反应管发生变形、反应管的长度方向剖面变得不均匀之类的问题。

于是为了解决该问题有人提出了如下方法，即在上述玻璃层在反应管内堆积起来的时间内，使反应管的内压高于外压。具体方法如日本专利公告昭57-37536号所记载的那样，把反应管的外径值反馈到设在反应管的另一端的内压调整部，以调整反应管的内压。但是，因为该方法是想通过反应管外径这一间接性数据来控制随所供给的玻璃原料的流量及反应管内径而时时刻刻在变化着的反应管内压的，所以不能作精密的控制。又如前所述，反应管的外径在长度方向变动的可能性也很大，因此，测定点的选择方法也是问题。

作为上述方法的改良方法，本案申请人先提出了如下的方案（日本专利申请昭58-243360）。该方法如下;在上述反应管的另一端设置包括压力测定器、排气口和气体导入口的气体压控制室，并在上述排气口配备排气量调整阀，以上述压力测定器的值来控制该阀的开关度。该方法在直接测定反应管的内压并把它反馈到排气量调整阀这一点上与前述的方法相比，具有能精密地进行压力调整的优点。但由于它仅靠调整阀的开关来调整压力，所以存在响应性差的问题。

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种能更精密且响应性更好地控制反应管内压的光导纤维母材的制造装置。

为达到上述目的，本发明的光导纤维母材的制造装置，包括把支承管能自由转动地支承着的支承部，从上述反应管的一端向该反应管内部供应玻璃原料的原料供应部以及在上述反应管的轴向作往复移动以加热上述反应管的加热器，其特征在于，在上述反应管的另一端设置包括压力测定器、气体导入口及排气口的气体压控制室的同时，在上述气体导入口设置能通过上述压力测定器的测定值来控制导入气体压的鼓风机。

参照附图详细说明本发明的实施例。第1图图示本发明的光导纤维母材的制造装置的一个实施例。如本图所示，本发明的光导纤维母材的制造装置，包括把由石英玻璃等构成的反应管1能自由转动地支承着的支承部2，把与氧气之类一起供给的、自四氯化硅、四氯化锗等构成的玻璃原料从上述反应管1的一端供应给该反应管内部的未图示的原料供应部（符号3是从原料供应部供应玻璃原料的供应口），在上述反应管1的轴向作往复移动以加热上述反应管1的喷灯等的加热器4，其特征是，在上述反应管1的另一端设置包括压力测定器7、气体导入口8和排气口9的气体压控制室6，与此同时，在上述气体导入口8设置能通过上述压力测定器7的测定值来控制导入的气体量、并以此控制导入气体压的鼓风机10。在此作为上述的鼓风机10，由于通过转速能调整导入的气体量的转速控制方式能更精密地控制导入气体压，所以较合适。另外，在上述鼓风机10与压力测定器7之间作为控制系统，设有带设定器13的运算器12及驱动鼓风机10的驱动部11，根据上述设定器13与压力测定器7间的差压来控制鼓风机10的转速，经气体导入口8控制送入的导入气体压。

又，上述气体压控制室6如第1图所示，还具有对未附着在反应管1内的玻璃微粒进行集尘的功能，但当该气体压控制室6较小时，上述被集尘的玻璃微粒有可能因为由鼓风机10导入的气体而向上飞扬。在该场合可以如第2图所示把气体导入口8连接在排气口9的中途。这样做还能防止玻璃微粒向排气口9内的附着，是令人满意的。

以下显示本发明的一个具体例子。

作为反应管1使用外径为26mm、内径为22mm的石英管，一边用加热器4进行加热，一边在上述反应管1内使形成90层的玻璃堆积层。这时，设定器13设定为比外界气压高约10mm水柱，一边控制鼓风机的转速，使其与上述设定值和压力测定器7的测定值间的差压成比例，一边调整反应管1的内压。结果，上述90层的玻璃堆积层形成后的反应管1的最终外径的轴向变动为±0.1mm以下，能获得极良好的光导纤维母材。而根据前述的日本专利申请昭58-243360号的通过调整阀的开关进行控制的装置，局部性变动甚至有高达±0.7mm的。