[发明专利]测试微区腐蚀电位电流密度分布的扫描装置无效
| 申请号： | 86103043.5 | 申请日： | 1986-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN1003808B | 公开（公告）日： | 1989-04-05 |
| 发明（设计）人： | 田昭武;林昌健;卓向东 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26;G01R19/08 |
| 代理公司： | 厦门大学专利事务所 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测试 腐蚀 电位 电流密度 分布 扫描 装置 | ||
【权利要求书】：
1、测试微区腐蚀电位电流密度分布的扫描装置，由自动平面扫描机械装置、X-Y扫描信号控制电路和驱动电路组成，设有两个微参比电极，采用两台微型步进电机通过给定的脉冲，分别控制样品和微参比电极，X-Y扫描信号控制电路由脉冲发生器、计数器、触发器和门电路组成，驱动电路由环形分配器CH250和功放级组成，其特征是
（a）两根微参比电极固定在一起，其尖端位于垂直于样品表面的同一直线上，距离为300～600微米，尖端离被测样品小于30微米;
（b）自动扫描过程由微计算机中的CPU通过可编程并行I/O接口PPI控制，PPI的输出控制信号控制CTC向x、y轴两步进电机提供脉冲信号的分配。
2、如权利要求1所述的扫描装置，其特征是两根微参比电极的尖端距离为350～450微米，尖端离被测样品小于10微米。
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