[其他]监控光学镀膜厚度的双光束光学系统

权利要求书

1.一种监控光学镀膜厚度的双光束光学系统， 由光源、双孔光栏、调制器、透镜、监控片及接收 器组成，其特征是：调制器为双排孔调制扇〔5〕， 在光源〔2〕与等双孔光栏〔4〕之间置有角可变滤光 片〔3〕，双排孔调制扇〔5〕、透镜〔6〕、监控片〔8〕 及接收器〔10〕与光轴垂直依次置于等双孔光栏〔4〕 之后，监控片〔8〕置于真空室中，与等双孔光栏〔4〕 中通过测量光束的孔处在透镜〔6〕的共轭像面位置 上。

2.按权利要求1所述的一种监控光学镀膜厚 度的双光束光学系统，其特征在于等双孔光栏〔4〕 的两个矩形孔的公共中心线与角可变滤光片〔3〕的 光轴垂直相交，矩形孔长为L，两孔中心距为C。

3.按权利要求1所述的一种监控光学镀膜厚 度的双光束光学系统，其特征在于双排孔调制扇〔5〕 的旋转轴线与等双孔光栏〔4〕的公共中心线垂直相 交，扇形孔分别均布在以D±C为直径的两个圆的 圆周上。一个圆周上的扇形孔处在另一个圆的圆周 上相邻两扇形孔所构成的中心角分线上，直边分别 在调制扇的直径上，弧边分别在以D和D±2C为 直径的三个圆的圆周上。