[实用新型]一种用于激光雷达的稳波长边发射激光器

权利要求书

1.一种用于激光雷达的稳波长边发射激光器，其特征在于：包括衬底以及设置于衬底上方的外延层和体光栅；所述外延层包括由下至上依次设置的缓冲层、有源区和帽层，且外延层沿其x方向的两端分别为出光端和背光端；所述外延层在其出光端或者背光端刻蚀有一让位台阶，该让位台阶的深度由所述帽层延伸至有源区以下；所述体光栅的高折射材料和低折射率材料沿x方向交替设置于所述让位台阶处。

2.如权利要求1所述的一种用于激光雷达的稳波长边发射激光器，其特征在于：所述衬底沿x方向的长度为L₁，所述体光栅沿x方向的长度为L₂，L₁与L₂的取值关系为：300µm＜L₁-L₂＜8000µm。

3.如权利要求1或2所述的一种用于激光雷达的稳波长边发射激光器，其特征在于：所述体光栅沿x方向的长度 ，其中：m表示体光栅的周期数；n表示光栅阶数；λ表示边发射激光器的激射波长，n_eff表示光栅的有效折射率。

4.如权利要求3所述的一种用于激光雷达的稳波长边发射激光器，其特征在于：所述光栅阶数n的取值范围为：1＜n＜100。

5.如权利要求1所述的一种用于激光雷达的稳波长边发射激光器，其特征在于：所述体光栅的高折射率材料/低折射率材料为GaAs/Al_xGa_1-xAs、GaAs/SiN_x、Al_xGa_1-xAs/Al_yGa_1-yAs、GaAs/InGaAsP、InGaAsP/InGaAsP、GaAs/InGaP或者InGaP/ Al_xGa_1-xAs。

6.如权利要求1所述的一种用于激光雷达的稳波长边发射激光器，其特征在于：所述有源区的激射波长为λ，所述体光栅对于λ的光波长的反射率带宽小于5nm；当体光栅设置于背光端时，体光栅对于λ的光波长的反射率为85%以上；当体光栅设置于出光端时，体光栅对于λ的光波长的反射率为0.5%-20%。

7.如权利要求1所述的一种用于激光雷达的稳波长边发射激光器，其特征在于：所述有源区包括若干个上下堆叠的子有源区，且各所述子有源区之间均设有隧穿结。

8.如权利要求7所述的一种用于激光雷达的稳波长边发射激光器，其特征在于：各所述子有源区的由下至上包括n-限制层、下波导层、量子阱层、上波导层和p-限制层。

9.如权利要求7所述的一种用于激光雷达的稳波长边发射激光器，其特征在于：所述隧穿结由下至上包括P型重掺层和N型重掺层，所述P型重掺层为GaAs、AlGaAs或者GaInP，所述N型重掺层为GaAs、AlGaAs或者InGaP。

10.如权利要求9所述的一种用于激光雷达的稳波长边发射激光器，其特征在于：所述P型重掺层的厚度范围为8-50nm，所述N型重掺层的厚度范围为10-50nm。