[实用新型]一种气浮隔振装置

说明书

本申请提供了一种气浮隔振装置，包括气撑组件和气撑底座；气撑组件与气撑底座可拆卸连接；气撑组件的远离气撑底座的一端设置有目标支撑位，气浮隔振装置能够通过目标支撑位支撑第一目标对象；气撑组件与气撑底座连接后形成可密封气室，可密封气室内的目标气体能够减缓目标支撑位的运动行程。本申请提供的气浮隔振装置不仅能够减缓目标支撑位的运动行程，进而实现对第一目标对象的气浮隔振，而且能够实现气撑组件与气撑底座的快速安装与拆卸，进而提高气浮隔振装置的维修便利性，同时降低维修成本。

技术领域

本申请涉及隔振技术领域，特别涉及一种气浮隔振装置。

背景技术

气浮隔振装置一般应用于光学平台的支撑场景。通过气浮隔振装置对光学平台的气浮支撑，实现对承载于光学平台上的精密光学仪器隔振。

气浮隔振装置在使用时，气浮隔振装置气室内的气体能够间接的气浮支撑光学平台；为增强气浮隔振装置气室的密封性和简化气浮隔振装置的结构，现有技术通常采用一体式气室，但是一体式气室易引入维修操作复杂和维修成本高等问题。

实用新型内容

本申请提供了一种气浮隔振装置，能够实现气撑组件与气撑底座的快速安装与拆卸，进而提高气浮隔振装置的维修便利性，同时降低维修成本。

本申请提供一种气浮隔振装置，包括气撑组件和气撑底座；

所述气撑组件与所述气撑底座可拆卸连接；

所述气撑组件的远离所述气撑底座的一端设置有目标支撑位，所述气浮隔振装置能够通过所述目标支撑位支撑第一目标对象；

所述气撑组件与所述气撑底座连接后形成可密封气室，所述可密封气室内的目标气体能够减缓所述目标支撑位的运动行程。

进一步的，所述气撑组件包括气撑主体和支撑件；

所述气撑主体与所述气撑底座可拆卸连接；

所述目标支撑位设置于所述支撑件上，所述支撑件能够相对于所述气撑主体限位运动。

进一步的，所述气撑组件还包括限位件，所述限位件与所述气撑主体可拆卸连接，所述限位件与所述支撑件限位连接。

进一步的，所述气撑主体与所述限位件围合形成限位腔，所述支撑件能够在所述限位腔内运动。

进一步的，所述气撑组件还包括弹性支撑件；

所述弹性支撑件与所述气撑主体可拆卸连接，所述弹性支撑件与所述支撑件的远离所述目标支撑位的一端抵接。

进一步的，所述可密封气室包括连通的第一气室和第二气室；

所述弹性支撑件与所述气撑主体围合形成所述第一气室，所述气撑底座与所述气撑主体围合形成所述第二气室；

所述第二气室的体积大于所述第一气室。

进一步的，所述气撑主体设有气室间隔结构；

所述气室间隔结构分隔所述第一气室和所述第二气室；

所述气室间隔结构上设置有多个通气孔，所述第一气室与所述第二气室通过所述多个通气孔连通。

进一步的，所述支撑件上设置有第一限位结构，所述限位件上设置有与所述第一限位结构相匹配的第二限位结构；

所述支撑件与所述限位件通过所述第一限位结构与所述第二限位结构限位连接，所述第一限位结构和所述第二限位结构能够限制所述支撑件的运动行程。

进一步的，所述支撑件朝向所述弹性支撑件的一端的端缘设置有圆角结构。

进一步的，所述气浮隔振装置还包括密封件；