[实用新型]一种检测装置有效
申请号: | 202320620140.3 | 申请日: | 2023-03-14 |
公开(公告)号: | CN219608750U | 公开(公告)日: | 2023-08-29 |
发明(设计)人: | 庞芝亮;陈鲁 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/892 |
代理公司: | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人: | 廖金晖;彭家恩 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华区观澜*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 检测 装置 | ||
1.一种检测装置,其特征在于,包括:
基座(1);
设置于所述基座(1)的承载机构(2),所述承载机构(2)包括承载面(21),所述承载面(21)用于承载待测件(6),所述承载机构(2)用于带动所述待测件(6)相对所述承载面(21)沿第一方向移动;
设置于所述基座(1)的第一检测机构(3),所述第一检测机构(3)位于远离所述承载机构(2)的所述承载面(21)的一侧,且所述第一检测机构(3)能够相对所述承载面(21)沿第二方向移动,所述第一检测机构用于检测所述待测件(6)的第一面,所述第二方向与所述第一方向相交;以及
设置于所述基座(1)的第二检测机构(4),所述第二检测机构(4)位于靠近所述承载机构的所述承载面(21)的一侧,且所述第二检测机构(4)能够相对所述承载面(21)沿第一方向移动,所述第二检测机构用于检测所述待测件(6)的第二面,所述第一面与所述第二面相对设置。
2.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述第一检测机构(3)包括第一运动组件(31)和第一检测件(32),所述第一运动组件(31)设置于所述基座(1),所述第一检测件(32)设置于所述第一运动组件(31),所述第一运动组件(31)用于带动所述第一检测件(32)沿第二方向移动。
3.如权利要求2所述的检测装置,其特征在于,所述第一检测机构(3)包括至少两个所述第一检测件(32),所述第一运动组件(31)还用于带动所述第一检测件(32)沿所述第一方向移动,以调节至少两个所述第一检测件(32)之间的间距。
4.如权利要求2所述的检测装置,其特征在于,所述第一运动组件(31)还用于带动所述第一检测件(32)相对所述承载面(21)沿第三方向移动,所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。
5.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述第一检测机构(3)包括第一检测件(32)和第二检测件(33),所述第一检测件(32)和所述第二检测件(33)沿所述第二方向并排设置,所述第二检测件(33)用于检测第一检测件(32)与所述待测件(6)的第一面之间的高度差。
6.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述第二检测机构(4)用于检测所述待测件(6)的第二面上的标记物,以获取所述待测件相对所述承载面(21)的位置。
7.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述第二检测机构(4)包括第二运动组件(41)和第三检测件(42),所述第二运动组件(41)设置于所述基座(1),所述第三检测件(42)设置于所述第二运动组件(41),所述第二运动组件(41)用于带动所述第三检测件(42)沿第一方向移动。
8.如权利要求7所述的检测装置,其特征在于,所述第二检测机构(4)包括至少两个所述第三检测件(42),所述第二运动组件(41)还带动所述第三检测件(42)沿第二方向移动,以调节至少两个所述第三检测件(42)之间的间距。
9.如权利要求7所述的检测装置,其特征在于,所述第二运动组件(41)包括龙门结构,所述第二运动组件(41)沿所述第二方向横跨所述承载机构(2)。
10.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述承载面(21)上设有镂空的检测区(211),所述检测区(211)沿所述第二方向分布,所述第一检测机构(3)通过所述检测区(211)检测所述待测件(6)的第一面。
11.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述承载面(21)上设有真空吸附孔(212),所述承载面(21)用于吸附固定所述待测件(6)。
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