[实用新型]一种直拉单晶炉的取晶装置有效

专利信息
申请号: 202320564007.0 申请日: 2023-03-22
公开(公告)号: CN219526865U 公开(公告)日: 2023-08-15
发明(设计)人: 贡梦涛 申请(专利权)人: 常州益群新能源科技有限公司
主分类号: C30B15/30 分类号: C30B15/30;C30B15/32;C30B29/06
代理公司: 北京索睿邦知识产权代理有限公司 11679 代理人: 张菡
地址: 213000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 直拉单晶炉 装置
【说明书】:

本实用新型涉及拉直单晶炉取晶装置技术领域,具体是一种直拉单晶炉的取晶装置,包括驱动组件、升降组件、旋转组件、伸缩组件、夹持组件和保护组件;所述伸缩组件包括伸缩套管,所述伸缩套管两端的开口内均设置有伸缩杆,所述立板侧面安装有二号液压缸,所述二号液压杆另一端倒设有倾斜面,两个所述固定轴上均转动安装有夹爪,两个所述夹爪之间安装有弹簧,伸缩杆伸缩时会调整两组夹持组件之间的间距,二号液压杆端部的倾斜面会向两侧推挤辊轮,两个辊轮会因为推挤向两侧分开,而夹爪的另一端则会向内侧夹持,配合达到了适用多种直径的自适应夹持,实现了对不同直径长度的夹持取出,相比较传统的直拉单晶炉的取晶装置适用性更高。

技术领域

本实用新型涉及拉直单晶炉取晶装置技术领域,具体是一种直拉单晶炉的取晶装置。

背景技术

直拉单晶炉是一种将多晶硅通过石墨电极片通电形成电阻热,利用石墨电极片所产生的电阻热将多晶硅从固体熔化成流体状态,再通过液面上方的单晶籽晶从流体液面向上提拉,溶硅随着籽晶的提拉上升按照籽晶的晶向生长出单晶硅硅棒,单晶硅硅棒制作完成后需要用取晶装置将制作好的硅棒从单晶炉的副炉室内取出。

现有的拉直单晶炉取晶装置一般由夹持组件、旋转组件、升降组件和平移组件组成,通过将夹持组件安装在旋转组件上,旋转组件安装在升降组件上,升降组件安装在平移组件上,通过平移组件将夹持组件移动到单晶炉炉室内,再由夹持组件夹住制作好的单晶硅棒,夹持好后由旋转组件调整放平单晶硅棒,最后平移组件移动带动单晶硅棒取出。

而由于现有的拉直单晶炉取晶装置是固定尺寸夹持,当制作单晶硅棒长或直径有所调整时,无法适用多种尺寸的单晶硅棒夹持;由于刚取出的单晶硅棒处于高温状态,现有的拉直单晶炉取晶装置不方便输送移动,且高温易导致工作人员烫伤;因此,针对上述问题提出一种直拉单晶炉的取晶装置。

发明内容

为了弥补现有技术的不足,针对现有技术中存在的问题,本实用新型提出一种直拉单晶炉的取晶装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:本实用新型所述的一种直拉单晶炉的取晶装置,包括驱动组件、升降组件、旋转组件、伸缩组件、夹持组件和保护组件;所述伸缩组件包括伸缩套管,所述伸缩套管两端的开口内均设置有伸缩杆,两个所述伸缩杆另一端端部均安装有安装板,所述伸缩套管侧面安装有一号双向液压缸,所述一号双向液压缸的两个作用端内均安装有一号液压杆,所述安装板上安装有夹持组件,所述夹持组件包括立板,所述立板侧面安装有二号液压缸,所述二号液压缸的作用端设置有二号液压杆,所述二号液压杆另一端倒设有倾斜面,所述安装板上安装有两个固定轴,两个所述固定轴上均转动安装有夹爪,两个所述夹爪之间安装有弹簧,两个所述夹爪端部均通过销轴转动安装有辊轮,配合达到了适用多种直径的自适应夹持,实现了对不同直径长度的夹持取出,相比较传统的直拉单晶炉的取晶装置适用性更高。

所述保护组件包括支撑架,所述支撑架上通过销轴转动安装有外层保护壳,所述外层保护壳内设置有卡槽,卡槽内卡设有内层保护壳,所述内层保护壳上安装有三号双向液压缸,所述三号双向液压缸的两个作用端内均设置有三号液压杆,两个所述三号液压杆的另一端均连接在内层保护壳上,所述支撑架之间安装有固定板,所述固定板上通过销轴转动安装有四号液压缸,所述四号液压缸的作用端内安装有四号液压杆,所述四号液压杆的另一端通过销轴转动安装在外层保护壳侧面,配合达到了隔离的作用,实现了方便运输的作用,有效避免了高温单晶硅棒直接接触到工人,防止烫伤工作人员。

优选的,所述伸缩套管与一号双向液压缸互相平行,且两个所述一号液压杆的另一端分别连接在两个安装板上,所述二号液压缸位于安装板上,且与安装板互相平行,两个所述安装板上均安装有夹持组件,配合达到了能够适用多种长度的单晶硅棒的夹持的作用,使夹持更方便、更高效。

优选的,两个所述固定轴对称设置在二号液压杆倾斜面两侧,两个所述辊轮可配合在二号液压杆倾斜面滚动,所述弹簧位于两个夹爪端部,所述夹爪另一端位于支撑架正上方,配合达到了针对夹爪的夹持动作运转的作用,能够实现自适应夹持的目的。

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