[实用新型]一种氩气回收装置

说明书

本实用新型涉及气体回收方法；提供一种氩气回收装置，包括：氩气压缩机、回热器、电加热器、催化反应器组、水冷却器、氩气预冷纯化系统以及精馏系统；氩气压缩机的出料口与回热器的第一进料口连接，回热器的第一出料口与电加热器的进料口连接；电加热器的出料口与催化反应器组的进料口连接，催化反应器组的出料口与回热器的第二进料口连接；回热器的第二出料口与水冷却器的进料口连接，水冷却器的出料口与氩气预冷纯化系统的进料口连接；氩气预冷纯化系统的出料口与精馏系统的进料口连接；本实用新型通过催化反应器组内催化剂以及吸气剂的设置使得CO和Osubgt;2/subgt;可以同时去除，无需通入氢气等危险气体，提高了精馏效率且简化了流程，降低了运行能耗。

技术领域

本实用新型涉及气体回收方法，尤其涉及一种氩气回收装置。

背景技术

直拉法是生产单晶硅的主要方法，全球70％～80％的单晶硅都是通过直拉法生产的。最常用的直拉法生产单晶硅工艺是采用即像真空工艺又像流动气氛工艺的减压拉晶工艺；减压工艺是在硅单晶拉制过程中，连续等速地向单晶炉炉膛内通入高纯度氩气，同时真空泵不断地从炉膛向外抽送氩气，保持炉膛内真空度稳定在20托左右，这种工艺既有真空工艺的特点又有流动气氛工艺的特点。

减压拉晶工艺的真空泵一般采用滑阀泵，目前减压拉晶工艺的真空泵采用螺杆干式真空泵，真空泵本身不会增加新杂质到氩气中；氩气携带单晶拉制过程中由于高温而会产生硅氧化物和杂质挥发物，并通过真空泵的抽送排放到大气；通过对排放氩气的分析，其主要杂质成分为：氧气、氮气、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等烷烃，因此回收利用这部分氩气有很大现实意义。

因此，本领域的技术人员致力于开发流程更简洁，不使用氢气，无低温运动部件，操作更方便，提取率更高的氩气回收方法。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术中的不足，提供一种氩气回收装置。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案是：

提供一种氩气回收装置，包括：氩气压缩机、回热器、电加热器、催化反应器组、水冷却器、氩气预冷纯化系统以及精馏系统；

其中，所述氩气压缩机的出料口与所述回热器的第一进料口连接，所述回热器的第一出料口与所述电加热器的进料口连接；所述电加热器的出料口与所述催化反应器组的进料口连接，所述催化反应器组的出料口与所述回热器的第二进料口连接；所述回热器的第二出料口与所述水冷却器的进料口连接，所述水冷却器的出料口与所述氩气预冷纯化系统的进料口连接；所述氩气预冷纯化系统的出料口与所述精馏系统的进料口连接；

所述连接均为管路连接。

优选地，所述催化反应器组包括若干串联设置的催化反应器，所述催化反应器内设有催化剂以及吸气剂。

优选地，所述精馏系统包括：换热器、精氩塔、设于所述精氩塔底部的再沸器以及设于所述精氩塔顶部的冷凝蒸发器；

其中，所述氩气预冷纯化系统的出料口与所述换热器的第一进料口连接，所述换热器的第一出料口与所述再沸器的进料口连接，所述再沸器的出料口与所述精氩塔的进料口连接；所述精氩塔底端的第一出料口与所述冷凝蒸发器的第一进料口连接；所述冷凝蒸发器的出料口与所述换热器的第二进料口连接，所述换热器的第二出料口与纯氩气出料口连接；所述精氩塔顶端的第二出料口分别与所述冷凝蒸发器的第二进料口以及所述换热器的第三进料口连接，所述换热器的第三出料口与所述氩气预冷纯化系统的再生气进气口连接；

所述连接均为管路连接。

更优选地，所述再沸器的出料口与所述精氩塔的进料口之间管路连接有粗液氩节流阀。

更优选地，所述精氩塔的第一出料口与所述冷凝蒸发器的第一进料口之间管路连接有纯液氩节流阀。

更优选地，所述冷凝蒸发器的第二进料口连接有液氩输入管道。