[实用新型]一种用于检测铁铬铝合金塌陷性能的测试系统

说明书

本实用新型公开了一种用于检测铁铬铝合金塌陷性能的测试系统，所述测试系统包括：测试装置、电源、测距仪以及温度检测装置，测试装置包括样品夹具；样品夹具用于将待测铁铬铝合金横向悬空夹住，样品夹具与电源连接，电源用于向样品夹具通电，对待测铁铬铝合金进行加热；温度检测装置用于检测待测铁铬铝合金的温度，测距仪用于测量待测铁铬铝合金的下垂量。本申请通过设计出能模拟合金在使用条件下的塌陷情况的系统，通过该系统实现对合金的抗塌陷性能的测试，有利于对合金进行针对性优化，进而提高炉体使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及金属加工测试技术领域，尤其涉及一种用于检测铁铬铝合金塌陷性能的测试系统。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。其炉体加热系统中的加热部件，通常采用铁铬铝大规格钢丝(φ6-8mm)绕制成大圈径螺旋(φ350mm以上)进行通电发热，使用温度一般在600-1200℃。在使用中，因螺旋圈径较大，加热螺旋会产生一定程度的变形，如果设计、使用不合理，会造成加热部件塌陷严重，造成内衬石英管碎裂，或因加热丝变形导致加热螺旋匝间搭接打弧甚至烧毁，严重影响扩散炉的使用寿命，甚至因此造成被加热材料报废，产生较大的经济损失。

为了能给用户在设计时提供更有针对性的参考依据，使得设计的炉体能够与使用需求进行更好地结合，最大限度提高炉体使用寿命，通过模拟使用条件设计了抗塌陷性能的测试系统，对典型材料的抗塌陷性能进行了测试。

实用新型内容

本申请实施例通过提供了一种用于检测铁铬铝合金塌陷性能的测试系统，通过设计出能模拟合金在使用条件下的塌陷情况的系统，通过该系统实现对合金的抗塌陷性能的测试，有利于对合金进行针对性优化，进而提高炉体使用寿命。

本实用新型通过本实用新型的一实施例提供如下技术方案：

一种用于检测铁铬铝合金塌陷性能的测试系统，包括：

测试装置、电源、测距仪以及温度检测装置，所述测试装置包括样品夹具；所述样品夹具用于将待测铁铬铝合金横向悬空夹住，所述样品夹具与所述电源连接，所述电源用于向所述样品夹具通电，对所述待测铁铬铝合金进行加热；所述温度检测装置用于检测所述待测铁铬铝合金的温度，所述测距仪用于测量所述待测铁铬铝合金的下垂量。

优选地，所述测试装置还包括：绝缘柱、支撑架以及操作平台，所述样品夹具通过所述绝缘柱与所述支撑架连接，所述支撑架设置在所述操作平台上；所述绝缘柱用于隔绝开所述样品夹具与所述操作平台，所述支撑架用于支撑所述样品夹具与所述绝缘柱。

优选地，所述支撑架为可伸缩支撑架。

优选地，所述样品夹具包括两个相对设置的样品夹，所述支撑架包括两个相对设置的支撑杆；每个样品夹均通过单独的绝缘柱与各自的支撑杆连接，所述待测铁铬铝合金横向固定在两个相对设置的样品夹之间，两个支撑杆的底部均通过固定螺栓设置在所述操作平台上，松开所述固定螺栓能够使得所述两个支撑杆之间的距离增大或减小。

优选地，所述两个支撑杆的底部均设置有滑块，操作平台上设置有直线导轨，所述滑块与所述直线导轨配合连接。

优选地，所述测试系统还包括：铜线排以及接线端，所述样品夹具与所述铜线排的一端连接，所述铜线排的另一端与所述接线端连接，所述接线端与所述电源连接。

优选地，所述测试系统还包括：散热风扇，所述散热风扇靠近所述铜线排设置，用于对所述铜线排进行降温。

优选地，所述温度检测装置包括非接触式温度传感器，所述非接触式温度传感器对准所述待测铁铬铝合金。

优选地，所述电源为弧焊电源。

优选地，所述电源为电流发生器。