[实用新型]一种高洁净真空波纹管

说明书

本实用新型涉及一种高洁净真空波纹管。它解决了现有波纹管真空度低且结构强度差的技术问题。本高洁净真空波纹管包括：金属波纹管体，沿长度方向具有若干个轴向截面呈径向突出波纹状的波纹筒状部，位于金属波纹管体的两端最外侧的波纹筒状部环切形成焊接平面，所述焊接平面轴向截面长度小于或者等于波纹筒状部的轴向长度的50％；连接环，一端贴合并焊接于所述焊接平面上。本高洁净真空波纹管减少了波纹管体与连接环焊接形成的真空死角，提高真空波纹管的真空度，同时提高管体与焊接点结构强度，而且便于提高连接环双端焊接空间，提升焊接性能。

技术领域

本实用新型属于波纹管领域，涉及一种高洁净真空波纹管。

背景技术

半导体设计其自身需要安装真空波纹管，用于抽真空。

例如中国专利文献公开了一种抽真空系统用真空波纹管[202021450420.7],包括金属可饶性波纹管体，套设在金属可饶性波纹管体上的金属网套，在金属可饶性波纹管体的两端分别设有焊接平面，以及通过焊接固定在各自焊接平面上的加强环。该波纹管在焊接时先将金属可饶性波纹管体的两端端面被压平形成焊接平面，此时的圆环体靠近波纹管焊接连接部一端的一环形平面服帖在金属可饶性波纹管体一端的焊接平面上，利用焊枪使得金属可饶性波纹管体和波纹管焊接连接部之间周向焊接(两者的服帖面外缘周向处焊接),在此过程中，金属可饶性波纹管体两端最外侧的两端端面在压平后形成真空死角，导致后期抽真空时，管内真空度达不到需求，而且金属可饶性波纹管体两端最外侧的两端端面在压平受力后，波峰位置管面内外壁容易产生裂纹裂缝，甚至碎屑残留的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术存在的上述问题，提供一种高洁净真空波纹管。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：

所述高洁净真空波纹管包括：

金属波纹管体，沿长度方向具有若干个轴向截面呈径向突出波纹状的波纹筒状部，位于金属波纹管体的两端最外侧的波纹筒状部环切形成焊接平面，所述焊接平面轴向截面长度小于或者等于波纹筒状部的轴向长度的50％；

连接环，一端贴合并焊接于所述焊接平面上。

进一步地，所述连接环靠近焊接平面的一端的外径等于所述焊接平面的外径。

进一步地，所述连接环为外径一致的筒状部。

进一步地，所述连接环为外径沿轴向向外逐渐增大的阶梯柱结构。

进一步地，所述连接环的外壁设有环形切槽。

进一步地，所述环形切槽包括V形槽或者U形槽中的任意一种。

进一步地，两个连接环套接有金属网套，所述金属网套的两端内壁抵接在连接环远离焊接平面的一端。

进一步地，所述连接环远离焊接平面的一端外壁套设有压网环。

与现有技术相比，本高洁净真空波纹管采用波纹筒状部环切后的结构作为焊接平面，减少了波纹管体与连接环焊接形成的真空死角，提高真空波纹管的真空度，同时避免了波纹管体的波峰位置压平受力产生的裂纹裂缝问题，提高管体与焊接点结构强度，而且可将连接环外壁设置阶梯式结构延长波纹管体的完整波纹筒状部端面与连接环之间的直线轴向距离，便于提高双端焊接空间，提升焊接性能。

附图说明

图1为现有技术中真空波纹管的结构示意图。

图2为本实用新型提供的一种高洁净真空波纹管的示意图。

图3为图2的高洁净真空波纹管带金属网套的结构示意图。

图4为图2的高洁净真空波纹管所具有的实施例二示意图。

图5为图2的高洁净真空波纹管所具有的实施例三示意图。