[实用新型]一种具备水冷降温功能的激光加工台面及其转盘装置

说明书

本实用新型涉及激光加工台领域，具体涉及一种具备水冷降温功能的激光加工台面及其转盘装置。本实用新型提供了一种具备水冷降温功能的激光加工台面，包括：台面固定件和安装在台面固定件端部的台面主体；所述台面主体的一侧开设有两通水口，所述台面主体内部开设有冷水通道；以及所述冷水通道两端分别与两通水口连接且连通。重新设计了台面本体，以使台面本体具备水冷通道，通过在台面中间层的水冷通道能有效降低加工承载面的温度，避免影响精度。

技术领域

本实用新型涉及激光加工台领域，具体涉及一种具备水冷降温功能的激光加工台面及其转盘装置。

背景技术

在光伏电池加工领域中，产能的要求越来越高，电池片生产厂家对于在线工艺的要求也越来越高。例如在电池片激光加工领域，激光加工台面的结构是机台稳定运行和提高产能的关键因素之一。由于激光加工台面与转盘连接件需要锁紧螺丝，转盘连接件对激光加工台面锁紧方式是螺丝从下方向上锁紧，这样做的好处是台面上方没有大的螺丝孔位，可以分布更多更规律的真空气孔，减少碎片残留的概率。由于使用高功率红光加工晶圆，在长时间激光加工过程中，固定晶圆的金属台面会随着加工时间的增加逐渐升温，无法自主降温，金属热胀冷缩之后容易发生蠕变、断裂和应力松驰等变性过程，影响台面平整度，导致精度变差，加工效果的稳定性变差。因此，设计一种具备水冷降温功能的激光加工台面及其转盘装置是必要的。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具备水冷降温功能的激光加工台面及其转盘装置，以解决上述问题。

为了实现上述目的，本实用新型实施例提供了一种具备水冷降温功能的激光加工台面，包括：台面固定件和安装在台面固定件端部的台面主体；

所述台面主体的一侧开设有两通水口，所述台面主体内部开设有冷水通道；以及

所述冷水通道两端分别与两通水口连接且连通。

进一步地，所述冷水通道呈“匚”字形，且所述冷水通道环绕所述台面主体的周向设置。

进一步地，所述通水口内适于安装通水接头。

进一步地，所述通水口内开设有螺纹，所述通水接头适于与所述通水口螺纹连接。

进一步地，所述台面主体上表面开设有若干真空槽，所述真空槽沿所述台面主体径向向外依次排布；

所述真空槽包括环槽和十字槽，所述环槽环绕所述台面主体设置，且所述环槽轴心与所述台面主体轴心重合；

所述十字槽设置在所述环槽内侧，且所述环槽与所述十字槽连接。

进一步地，所述台面主体上表面还开设有若干真空孔，所述真空孔设置在所述十字槽中心以及所述十字槽与所述环槽连接处。

进一步地，所述台面主体轴心沿轴向开设有通气槽；

所述通气槽一端与所述真空槽连通，所述通气槽另一端适于安装进气接头。

进一步地，所述台面主体下表面周向开设有若干减重槽。

此外，本实用新型还提供了一种激光加工转盘装置，包括上述的一种具备水冷降温功能的激光加工台面，转台、设置在所述转台上的转动件和若干设置在所述转动件两端的激光加工台面。

进一步地，所述转动件一端向两侧镜像设置有两激光加工台面。

相对于现有技术，本实用新型实施例具有以下有益效果：重新设计了台面本体，以使台面本体具备水冷通道，通过在台面中间层的水冷通道能有效降低加工承载面的温度，避免影响精度。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1示出了本实用新型的一种具备水冷降温功能的激光加工台面的主视图；