[实用新型]一种存放晶舟料盒的储物盒

说明书

本实用新型涉及一种存放晶舟料盒的储物盒，属于储物设备技术领域。为解决现有技术中采用自由移动机器人进行晶舟料盒移送时，晶圆料盒存在掉落和因落尘造成晶圆污染，且完成移送后，采用人工进行料盒拿取，导致生产效率低，人工成本高的问题。本申请包括储物盒本体和载物台；储物盒本体上转动安装有盒盖，内部为储物空腔；载物台安装于储物空腔内；载物台设有晶舟料盒识别组件和固定组件；晶舟料盒识别组件包括识别标签和标签识别器；固定组件用于固定晶舟料盒。本申请的储物盒在移送晶圆料盒时，料盒稳定性高，能有效防尘，同时在放料时，能配合机器人手臂自动进行晶圆料盒的放料，降低人工成本，生产效率快，自动化程度高。

技术领域

本申请涉及一种存放晶舟料盒的储物盒，属于储物设备技术领域。

背景技术

随着国内半导体行业的发展及集成电路代工厂自动化程度的提高，晶舟自动装载设备在集成电路装备上的使用范围越来越广。对晶舟自动装载设备的自动化性能、速度、可靠性、稳定性、安全性要求越来越高，对成本降低的要求也相应提高。晶舟料盒在半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，其内部可以容纳晶圆，是一种专属于晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器。

在生产过程中，现有技术中一般采用自由移动机器人进行晶舟料盒移送。存在不足之处：晶圆料盒放置于自由移动机器人，在移送过程中存在晃动，甚至发生晶圆料盒掉落或倾倒，导致晶圆损坏的情况。同时由于晶圆料盒多为无盖结构，料盒的上开口为敞开的，在移送时，外部灰尘会进入料盒内，造成晶圆污染。

另外，自由移动机器人将晶圆料盒移送至目标工位后需要进行放料工序，在实际生产中，为了避免晶圆料盒放料错误，一般采用机器人手臂将晶圆料盒放置于存放区，再通过人工进行晶圆料盒的拿取、分类并放置于相应的工位，导致此类方式存在人员工作量大，生产效率低的问题，易造成因人为原因导致拿取错误的情况，因此亟需一种晶圆料盒储物设备以解决上述问题。

实用新型内容

对现有技术中存在的问题与不足，本申请提供一种存放晶舟料盒的储物盒，旨在解决目前存在的技术问题。

为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种存放晶舟料盒的储物盒，包括储物盒本体和载物台；储物盒本体上转动安装有盒盖，内部为储物空腔；载物台安装于储物空腔内；载物台设有晶舟料盒识别组件和固定组件；晶舟料盒识别组件包括识别标签和标签识别器；固定组件用于固定晶舟料盒。

具体的，盒盖设有驱动电机，盒盖一端通过销轴或连接销钉与储物盒本体铰接；驱动电机固定安装于储物盒本体，且其动力端与盒盖固定连接。

具体的，储物盒本体内部设有若干个隔板，将储物盒本体内部空腔分隔成若干个储物空腔；盒盖的数量与储物空腔的数量相同，且盒盖与储物空腔一一对应的安装于储物盒本体。

具体的，晶舟料盒通过固定组件与载物台卡扣连接。

具体的，固定组件包括卡条和卡块；载物台上设有安装通孔，若干个卡条间隔安装于安装通孔内，之间形成与晶舟料盒放置面凸起相适配的卡槽；卡块安装于载物台的底部，卡块的截面为两侧低、中间高的台阶状结构，晶舟料盒放置于载物台时，卡块的中间部分嵌入晶舟料盒底部支腿之间，晶舟料盒的支腿放置于卡块的两侧。

具体的，载物台设有感应组件；感应组件包括在料盒在位传感器、在席传感器和晶圆在位传感器；料盒在位传感器安装于安装通孔内；在席传感器为对射式传感器，且其分别安装于载物台的两侧；晶圆在位传感器安装于载物台的上侧，且其感应端穿过晶圆料盒的上开口。

具体的，识别标签安装于晶圆料盒；标签识别器为RFID感应器。

具体的，载物台相对储物盒本体倾斜安装于储物空腔内。这样设置可实现晶圆料盒放置于载物台时，其上开口呈倾斜向上的姿态放置，提高晶圆的稳定放置，避免在移送过程中，晶圆突出或掉落造成损坏。

具体的，隔板的数量为一个，将储物盒本体内部空腔分隔成两个储物空腔。