[实用新型]一种保护螺丝用螺母

说明书

本实用新型公开了一种保护螺丝用螺母，属于镀膜辅助结构技术领域，解决了现有的镀膜设备内衬板上的螺丝容易被镀上金属的技术问题。一种保护螺丝用螺母，包括螺母本体和挡片，螺母本体上设置有内螺纹孔，挡片设置于螺母本体的一端以遮挡内螺纹孔的一端。本申请能够减少了螺母的损耗且提高了拆装螺母的速度。

技术领域

本实用新型属于镀膜辅助结构技术领域，尤其涉及一种保护螺丝用螺母。

背景技术

化合物半导体领域利用晶圆片制作金属电极，镀膜设备进行金属电极生产作业时，镀膜设备腔室内的衬板会被镀上金属薄膜，衬板通过螺丝螺母固定在镀膜设备内，如图1所示，满产条件下螺丝顶端的螺纹容易被镀上金属，导致在维护保养衬板时螺丝拆卸困难易滑丝，进而造成维护时间过长影响产能。

实用新型内容

本申请旨在至少能够在一定程度上解决现有的镀膜设备内衬板上的螺丝容易被镀上金属的技术问题，为此，本申请提供了一种保护螺丝用螺母。

本申请的技术方案如下：

一种保护螺丝用螺母，包括螺母本体和挡片，所述螺母本体上设置有内螺纹孔，所述螺母本体呈棱柱状，所述螺母本体的轴线与套筒内螺纹孔的轴线位于同一直线上；所述螺母本体的侧壁设置有至少两个弧形凹槽，至少两个弧形凹槽间隔设置；所述挡片设置于所述螺母本体的一端以遮挡内螺纹孔的一端。

在一些实施方式中，所述螺母本体呈六棱柱状。

在一些实施方式中，所述弧形凹槽的边缘不与螺母本体的棱线相接。

在一些实施方式中，所述螺母的顶面设置有两个相互平行的滑槽，两个所述滑槽的分别位于内螺纹孔的两侧，所述挡片底端设置有两个滑块，两个所述滑块分别与一个所述滑槽滑动配合。

在一些实施方式中，所述滑槽为半通槽。

在一些实施方式中，所述滑块呈圆柱状，所述滑块的轴线平行于内螺纹的轴线。

在一些实施方式中，所述挡片还包括延长部，所述延长部呈筒状，所述延长部的内径不小于所述内螺纹孔的内径，两个所述滑块设置于所述延长部的底端。

在一些实施方式中，所述螺母本体与所述挡片一体成型。

本申请实施例至少具有如下有益效果：

由上述技术方案可知，本申请公开的螺母通过设置挡片避免螺丝的顶端的螺纹被喷涂上金属薄膜，进而避免金属薄膜增加螺丝顶端直径导致螺母取出困难、耗时长甚至加速螺母滑丝的问题，减少了螺母的损耗且提高了拆装螺母的速度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1示出了背景技术中现有螺母的使用示意图；

图2示出了本申请实施例中螺母的结构及安装示意图；

图3示出了本申请实施例中螺母的一种结构示意图；

图4示出了图3中的螺母本体的俯视结构示意图；

图5示出了本申请实施例中螺母的另一种结构示意图；

图中标记：1-螺母本体，11-内螺纹孔，12-滑槽，13-弧形凹槽，2-挡片，21-滑块，22-延长部，3-螺丝，4-衬板。

具体实施方式